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1、ESD各项测试验证作业指导书(SOP) 1.目的建立公司内部各项静电防护项目的测试规范，统一防静电测试方法与判定标准。 2.范围适用于本公司静电防护项目的检测，如接地系统、防静电地板（地垫）、防静电工作台（桌垫）、周转箱、包装袋、防静电手环、人体静电防护用品、离子风机、烙铁等辅助工具。 3.内容3.1静电手环3.1.1测试仪器静电手环测试仪3.1.2测试方法图1-1静电手环测试示意图3.1.2.1来料检验时进行抽样测试，并记录于静电手环测试记录表。 3.1.2.2静电手环由IQC进行抽样测试。 3.1.2.3必须将腕带扣反面金属接触到手腕时，才能进行测试。 3.1.2.4测试时，腕带扣住一只手
2、，另一端香蕉头插入测试器上的测试端子。 3.1.2.5测试者用手指按下导通器上金属键，看导通器上灯号显示，如图1-1?绿灯GOOD亮OK，且BUZZER长鸣。 ?黄灯LOW、红灯HIGH亮失败，BUZZER无声（需更换腕带或腕带线再测试）。 3.1.2.6且于测试中增加摆动手腕的动作，以确认是否有接触不良。 3.1.2.7测试中若发生有两个灯号同时亮时（绿、黄灯亮或绿、红灯亮），应更换新品或其他良品腕带（腕带或腕带线）再测。 （a）若灯号显示正常，则确认腕带部份不良应更换。 （b）若灯号依然显示两个灯亮，或者时好时坏，判定可能测试器为不良品，应立即通知组长处理，将该测试器重新校验或送修。 3.
3、1.3测量频率来料检验（抽样）3.1.4记录表单静电手环测试记录表QC-BD-074静电手环测试仪黄灯、红灯亮亮NG亮绿灯亮OK3.2人体综合电阻测量3.2.1测试仪器人体综合电阻测试仪3.2.2操作方法3.2.2.1作业员需标准着装（静电帽、静电衣、静电鞋、静电手环等）（如图1-2）后，站立于人体综合测试仪上。 说明头发压入防静电帽中；静电衣袖子不允许挽起；穿静电鞋时，光脚或穿纯棉袜，保证导通性。 如果工作岗位要戴防静电手套或者手指套的，也需穿戴完整。 图1-2着装与测试示意图3.2.2.2选择需要测试的项目（WRIST、FOOT、WRIST&FOOT）（如图1-3）,将开关打到对应的位置，
4、然后再按下测试仪上按钮，仪器上三个显示灯为绿色“PASS”后,将结果记录在人体综合电阻记录表后，方可进入EPA区开始作业。 图1-3测试项目按键示意图3.2.3说明3.2.3.1每日上午、下午、加班前进行测试，测试结果记录在人体综合电阻测试记录表中。 3.2.3.3必须由使用者本人测试并记录，不得交由他人代测或代填。 3.2.3.4测试者用手指按下导通器上金属键，看导通器上灯号显示（如果有戴防静电手套或手指套，需使用戴手套或手指套的手按下金属键）?绿灯“PASS”灯亮OK。 ?黄灯“LOW”、红灯“HIGH”灯亮NG。 测试结果NG，应立即通知组长处理。 3.2.4测量频率每日2-3次（上午、
5、下午、加班）WRIST:静电手环FOOT:静电鞋WRIST&FOOT静电鞋&手环3.2.5记录表单人体综合电阻测试记录表PD-BD-0433.2.6合格标准750K1.0*1083.3防静电衣3.3.1测试仪器重锤式电极、数显兆欧表（如图1-4）图1-4重锤式电极、数显兆欧表组件3.3.2防静电衣袖对袖、点对点电阻测试步骤3.3.2.1将两重锤式电极通过配备的连接线连接到数显兆欧表上，如图1-5；3.3.2.2将被测的防静电衣平铺在一块面积足够大的绝缘台面上，确保无重叠部分；3.3.2.3袖对袖测试将两个电极分别放在衣服的两个袖子上，如图1-6；点对点测试将一个电极放在袖子上，另一个电极放置在
6、衣服的任意一个点上，如图1-73.3.2.4选取数显兆欧表的100V量程进行测试，如图1-8；3.3.2.5按下数显兆欧表测试按钮，等待数显兆欧表读数显示。 并记录在防静电衣/静电帽/静电鞋电阻测试记录表中。 图1-5数显兆欧表与重锤式电极连接示意图兆欧表图1-6袖对袖电阻测试示意图图1-7点对点电阻测试示意图图1-8数显兆欧表量程选择3.3.3注意事项 (1)为保证测量结果的精确度，注意测试过程中不要触碰探头、引线和被测物体，不要使两条引线交迭； (2)当联机一端的香蕉头插入数显兆欧表右上角的3.5毫米插孔中时，数显兆欧表背面的平行电极处于失效状态； (3)使用外置重锤式电极测量时，尽管仪器
7、屏幕显示单位为ohms/m2，但实际单位应为“ohms”。 3.3.4测量频率来料检验（抽样）、发放使用前及每半年一次（全检）3.3.5记录表单防静电衣/静电帽/静电鞋电阻测试记录表EN-BD-0933.3.6合格标准1*10113.4防静电工作表面（台）和固定货架3.4.1防静电桌垫表面电阻测试3.4.1.1测试仪器EFM-022静电场测试仪，如图1-9数显兆欧表，如图1-10测量防静电衣袖对袖电阻时，需将档位调至100V处图1-9数显兆欧表图1-10EFM-022静电场测试仪3.4.1.2测试步骤:将测试器开启后放置防静电桌垫上(上层绿色部分)，测量点选择磨损最严重以及经常被使用的较易受磨
8、损的地方进行测试，并观察防静电桌垫静电耗散部分材质的表面电阻是否符合规定值1*1093.4.1.3说明 (1)量测原则当静电桌垫在工作使用中有静电安全顾虑时须依规定测试。 (2)其他防静电材料的表面电阻测量方法与防静电桌垫相同，判定指标如规范中表五。 3.4.1.4量测频率来料检验、每季度一次3.4.1.5记录表单电阻测试记录表EN-BD-084。 3.4.1.6合格标准1*1093.4.2防静电工作桌、货架对地电阻测试3.4.2.1测试仪器重锤式电极、数显兆欧表3.4.2.2测试步骤(a)如果工作表面（台）上有导电材料和交流电源的设备，而这些设备有与工作表面（台）相互独立的接地途径，那么在测
9、试时，保持导电材料和交流电源设备的接地状态不变；(b)将一条联机的一端插入数显兆欧表右上角的插孔中，另一端与一个重锤式电极相联，并将电极放在防静电工作表面（台）的中间位置，如图1-11。 另外一条联机的一端插入数显兆欧表右上角插孔中，另一端接上鳄鱼夹，夹到防静电工作表面（台）的接地点上；图1-11防静电桌垫对地电阻测试示意图(c)将数显兆欧表拨到10V档位，如图1-12；图1-12数显兆欧表档位示意图(d)按下测量按钮直至电阻（单位为）、相对湿度、温度值显示在显示屏上，如图1-13；图1-13读值示意图测量时，首先将兆欧表拨到10V檔位另一条联机连接兆欧表和ESD接地线一条联机连接兆欧表和重锤
10、式电极重锤式电极放置在被测工作台面中央按下测试按钮约5-10秒钟。 温度显示湿度显示表面电阻显示如果显示值1106ohms，将兆欧表调节至100V档位，重新测量(e)如果显示的电阻等于或大于1*106，将数显兆欧表调节至100V档位，重新测量，如图1-13；3.4.2.3注意事项1为保证测量结果的精确度，注意测试过程中不要触碰探头、引线和被测物体，不要使两条引线交迭；2当联机一端的香蕉头插入数显兆欧表右上角的插孔中时，数显兆欧表背面的平行电极处于失效状态；3使用外置重锤式电极测量时，尽管仪器屏幕显示单位为ohms/m2，但实际单位应为“ohms”。 4如果货架为金属材质，且本身有牢固接地，那么
11、其上铺的防静电桌垫绿色层如能与货架金属表面接触良好，形成二级接地以释放静电荷，则防静电桌垫不需另外接上接地扣，也不需测量表面地阻和对地电阻等两个项目，但需要确认货架的接地导通，测试方法和记录见本文章节3.7。 3.4.2.4测量频率来料检验、每季度一次3.4.2.5记录表单电阻测试记录表EN-BD-0843.4.2.6合格标准1*1093.5周转车（推车、rack架等移动设备）3.5.1表面电阻测试3.5.1.1与防静电工作台表面的电阻测试方法、标准相同，请参考本文3.4章节进行测试并将结果记录在电阻测试记录表中。 3.5.2对地电阻测试3.5.2.1目的验证周转车接地系统（通过导电车轮或接地
12、链和防静电地板接触泄放静电的周转车）的对地电阻是否在规定范围内，是否符合ESD防护要求。 注通过接地扣和接地线（非使用接地链通过防静电地板接地的周转车）的周转车对地电阻测试与货架、工作台的要求相同，具体测试参照本文“章节3.4防静电工作表面（台）和固定货架”。 3.5.2.2测试仪器重锤式电极、数显兆欧表、金属板3.5.2.3测试步骤(a)将周转车放置在防静电地板上；(b)移除周转车上所有ESD敏感元器件；(c)将数显兆欧表分别与两个重锤式电极相联，如果是多层手推车或RACK架，将其中一个电极放在最上层中间位置；另一个电极放在金属板上（金属板压在推车其中一个轮子下面）如图1-14；(d)层与层
13、电阻使用表面电阻测试仪测试，测试方法为将两个电极分别放置在推车或货架上的第一层和第二层，连接电极与测试仪主机上的导线，开机读数，读数在小于1x106即为合格。 第一层到第三层之层间电阻依照同样的方法测试?注意所有使用接地链通过防静电地板接地的周转车，均需使用焊接或铆接方式保证接地链牢固，并保持台车接地链清洁，以确保接地导通效果良好。 图1-14多层手推车、RACK架测试示意图(e)将数显兆欧表拨到10V档位，如图1-12；(f)按下测量按钮直至电阻（单位为）、相对湿度、温度值显示在显示屏上，如图1-14；(g)如果显示的电阻等于或大于1*106，将数显兆欧表调节至100V档位，重新测量，如图1
14、-13。 3.5.2.4注意事项 (1)为保证测量结果的精确度，注意测试过程中不要触碰探头、引线和被测物体，不要使两条引线交迭。 (2)当联机一端的香蕉头插入数显兆欧表右上角的插孔中时，数显兆欧表背面的平行电极处于失效状态； (3)当发现台车接地线遗失或断裂时，应停止使用该台车。 待修复完成后才可使用。 (4)有防静电地板处如果台车为金属，均需在台车底层加金属链拖地，与大地接地导通。 如果台车为木质或其他非导体材质，则需将台车上静电皮连上接地扣并接金属链拖地，与大地接地导通。 接地链与地面接触部分长度需58cm，需打磨接线处后，采取焊接或铆接方式，确保导通性。 无防静电地板处如果台车为金属，增
15、加接地线与防静电接地系统支线相连接，确保接地良好。 如果台车为木质或其他非导体材质，则需将台车上静电皮连上接地扣与防静电接地系统支线相连接，确保接地良好。 (5)无论台车为金属还是木质材质，如在台车上操作和存放静电敏感对象时，该台车需铺设防静电桌垫，并接地（与加金属链不同）。 3.5.2.5测量频率来料检验、每季度一次3.5.2.6记录表单电阻测试记录表EN-BD-0843.5.2.7合格标准1*1093.6防静电地板3.6.1表面电阻测试3.6.1.1测试仪器重锤式电极、数显兆欧表（如图1-4）3.6.1.2操作说明a.将重锤式数显兆欧表的两个电极放置于静电地板上（如图1-15），按下测试按钮，读取数显兆欧表上读值。 b.每500平方米至少取5个测试点，且需涵盖磨损严重、经常使用处，观察测试值是否符合规定值1*109。 若测试值等于或大于1*109代表超出规格外，请立即通知领班或ESD协调人员处理。 图1-15防静电地板表面电阻测试示意图3.6.1.3注意事项 (1)为保证测量结果的精确度，注
