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1、在线在线8500TMAH8500TMAH浓度测量技术方案浓度测量技术方案1.TMAH浓度测量的需求。2.目前 TMAH浓度测量。3.TMAH浓度测量采用在线式测量方式的好处4.在线8500 TMAH分析仪测量方法5.安装示意图南京普来森仪器有限公司 1.8500TMAH1.8500TMAH浓度测量需求浓度测量需求根据工艺要求，例如需要将现存的浓度为20%的TMAH洁净溶液稀释到目标浓度2.48%， 需要在线仪表提供准确TMAH浓度测量，以达到精确配置目标浓度显影液的目的。南京普来森仪器有限公司 2. 2. 目前目前 TMAHTMAH浓度测量浓度测量目前国内某企业采用的是Titrolyzer A
2、DI 2016的在线采样采样系统测量TMAH的浓度，该测量系统在收到控制系统的采样和测量指令后，对初步配比的TMAH溶液进行测量，然后将测量结果反馈到控制系统，前后需要20分钟的时间，如果浓度符合要求，配比槽达到目标浓度停止配比，将目标浓度的显影液输入存储罐。缺点：不具备实时性，过程管道的浓度变化无法及时监测到，调控滞后。南京普来森仪器有限公司 3.8500TMAH3.8500TMAH浓度测量采用在线式测量方式的浓度测量采用在线式测量方式的 好处好处为了提高生产量，显影液的配对效率需要提高，缩短 配比的时间，需要在线实时的对TMAH的浓度进行监控， 完善目前工艺控制要求。在线TMAH分析仪能够
3、实时准确的测量TMAH浓度。4.85004.8500超声波在线分析仪的测量方法：超声波在线分析仪的测量方法：4.1 在线分析仪的测量原理 4.2 在LCD行业的应用 4.3 超声波速度的测量方式 4.4 超声波速度与浓度计算的回归方程 4.5 超声波的速度与浓度的关系图南京普来森仪器有限公司 4.1 8500在线分析仪测量原理采用的是超声波的速度来测量溶液的浓度的。 测量的对象是单一溶液组分浓度测量。 液体浓度 例如：water（水），HF（氟化氢），ethanol （乙醇）等 酸或碱的水溶液 例如： HCL，NAOH，TMAH 盐的水溶液 例如：Nacl 油水混合液 例如：oil in wa
4、ter（水中油的浓度），water in oil （油中水的浓度）南京普来森仪器有限公司 4.2 8500在LCD行业的应用 显影剂，包括水溶液，KOH，NaoH和其他 拨离剂 溶媒 蚀刻液，如HF，NH4F等 洗涤剂，表面活化剂等 用于CMP的各种浆液TMAH测量范围有0-5%，精确等级是+/-0.002%南京普来森仪器有限公司 发射-反射-接收反 射 面液体距离发 射 接 收 点距离发射-接收 压电材料 压电材料液体发 射 点接 收 点4.3 超声波速度测量方式南京普来森仪器有限公司 超声波在反射端被反射回Echos信号通过液体被接受到再次接受回声puls小部分被发射1 echoeTime
5、 of Flight + Dead timeToF2 echoeToF3 echoeWater316LTransducer11%1,5%87,5%12,5%9,6%1,4%100%南京普来森仪器有限公司 50,00mmWater 20癈C =DistanceTime of FlightC =100mm67,5 祍C = 1481,5 m/s南京普来森仪器有限公司 200050180055,5160062,5140071,4120083,3Sound Speed (m/s)ToF (礢)Speed of sound声速南京普来森仪器有限公司 南京普来森仪器有限公司 给已知浓度的液体分配具体的超声
6、波速度需要: 已知浓度的样品，不同温度下.利用探头测量得出关系方程 速度=f(温度T， 浓度C)反推，得出浓度=f(温度T, 浓度C)回归方程南京普来森仪器有限公司 声 音 的 速 度TMAH的浓度Y轴：X轴：声速与浓度线性关系图声速与浓度南京普来森仪器有限公司 5.仪器安装示意图Pump 3Pump 4V27V26V28V252.484%DEV20%D IV21V22V24V23MIX TANK15%24V dc power （24 VDC电源）4-20 mA Output to DCS8500 transmitter (仪表显示 变送器）8500 sensor （测量探头）输出到DCS南京普来森仪器有限公司 总结： 8500在线分析仪表能够提供，实时准确的在线 TMAH浓度测量，相比传统的采样式测量有很多 优点，不仅节省了系统重复配置的时间，提高 了系统的效率，而且可以让控制人员实时的看 到TMAH浓度在配置过程中的变化，具有很重要 的参考价值，在TMAH具有非常广泛的应用。南京普来森仪器有限公司
