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1、液氩气化安全使用技术培训课件 化学品及企业标识化学品中文名称 氩气 液氩 氩分子式 Ar化学品俗名或商品名 纯氩 高纯氩 液氩 工业氩化学品英文名称 argonLiquidargon地址 邮编 电子邮件地址 电话 传真号码 企业应急电话 化学品推荐用途和限制用途 应用在气体配置 工业氩主要用于金属焊接 高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体 可用作系统清洗 屏蔽和增压用的惰性气体 危险性概述主要物化危险性 压缩气体 不支持燃烧 钢瓶容器受热易超压 有爆炸危险 低温液体易导致冻伤 GHS危险性类别 压力下气体 压缩气体 GB20580 压力下气体 液化气体 GB20580 液氩 防
2、范说明 远离热源 火源 避免野蛮作业 佩戴好安全附件 在运输中钢瓶上要加装安全帽和防震橡皮圈 使用液氩时要穿防护服和戴手套 危险信息 压缩气体 遇热超压可能会引起爆炸 气体大量泄漏可导致人员窒息 低温液体 身体直接接触易导致冻伤 警示词 警告内含高压气体 遇热可能爆炸 侵入途径 吸入健康危害主要症状 常气压下无毒 高浓度时 使氧分压降低而发生窒息 氩浓度达50 以上 引起严重症状 75 以上时 可在数分钟内死亡 当空气中氩浓度增高时 先出现呼吸加速 注意力不集中 共济失调 继之 疲倦乏力 烦躁不安 恶心 呕吐 昏迷 抽搐 以至死亡 液态氩可致皮肤冻伤 眼部接触可引起炎症 应急综述 万一发生吸入
3、性事故 将患者移入新鲜空气出并保持安静 如呼吸停止 进行人工呼吸 如呼吸困难 给输氧 环境危害 该物质对环境无危害 燃爆危险 不燃 但容器受热有爆炸危险 成分 组成信息 纯品 混合物化学品名称 氩气 液氩分子式 Ar有害物无组分浓度无CASNo 7440 37 1 急救措施皮肤接触 若有皮肤冻伤 先用温水洗浴 再涂抹冻伤软膏 用消毒纱布包扎 眼睛接触 立即翻开上下眼睑 用流动清水或生理盐水冲洗 就医 吸入 简单窒息 氩无毒 但可能由于取代了空气中的氧而导致窒息 缺氧会引起系列伤害或死亡 迅速撤离现场到空气新鲜处 如呼吸停止 进行人工呼吸 如呼吸困难 给输氧 食入 无资料 消防措施危险特性 受热
4、后瓶内压力增大 有爆炸危险 有害燃烧产物 无意义 灭火方法及灭火剂 无意义 灭火注意事项 无意义 泄漏应急处理作业人员防护措施 防护装备 大量泄漏时应急处理人员戴自给式呼吸器 穿工作服 低温液体泄漏时应做好自身防护 处置程序 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处 并隔离直至气体散尽 切断气源 通风对流 稀释扩散 液氩泄漏时 须穿戴防护用具进入现场 保证现场通风 让泄漏氮自行挥发 泄漏容器不能再用 及时返回厂家 消除方法 切断气源 抽排 室内 或强力通风 室外 如有可能 将漏出气用排风机送至空旷地方 液体泄露设法关闭泄漏源 自行挥发 做好现场通风 环境保护措施 无污染 操作处置与储存操作处置注意事项
5、密闭操作 提供良好的自然通风条件 通风不足的情况下 应带适当的呼吸装置 一般不需特殊防护 穿工作服 液体时要戴防护手套 避免高浓度吸入 进入罐或其它高浓度区作业前应做氧含量分析 须有人监护 搬运时轻装轻卸 防止钢瓶及附件破损 配备泄漏应急处理设备 使用后 气瓶余压不低于0 3MPa 储存注意事项 储存于阴凉 通风仓间内 仓温不宜超过30 远离火种 热源 防止阳光直射 验收时要注意品名 注意验瓶日期 先进仓的先发用 接触控制 个体防护最高容许浓度 中国未制定标准 美国TVL TWA ACGIH窒息性气体 监测方法 气相色谱法工程控制 生产过程密闭 加强通风 呼吸系统防护 一般不需特殊防护 当作业
6、场所空气中氧气浓度低于18 时 必须佩戴空气呼吸器 氧气呼吸器或长管面具 眼睛防护 一般不需特殊防护 皮肤和身体防护 穿一般作业工作服 液氮时做好个人防护 手防护 戴一般作业防护手套 液氮时戴长臂手套 理化特性外观与性状 无色无臭气体 不燃烧 低温液化成无色液体 PH值 无意义熔点 189 2相对密度 水 1 1 40 液体 186 沸点 185 7相对蒸气密度 空气 1 1 38饱和蒸气压 KPa 202 64 179 辛醇 水分配系数的对数值 无资料闪点 无意义爆炸上限 V V 无意义引燃温度 无意义爆炸下限 V V 无意义自然温度 无意义分解温度 无意义易燃性 不燃溶解性 微溶于水 主要
7、用途 纯氩主要用于金属焊接 冶炼等 高纯氩主要用作半导体工业 稀有金属 有色金属的冶炼 焊接中的保护气 特种灯泡的充填气 气相色谱分析用载气及配制标准气的底气等 稳定性和反应活性稳定性 稳定 禁配物 无 避免接触的条件 明火 高热 聚合危害 不聚合 分解产物 无 毒理学资料急性毒性 无资料 皮肤刺激或腐蚀 无资料眼睛刺激或腐蚀 无资料 呼吸或皮肤过敏 无资料生殖细胞突变性 无资料 致癌性 无资料生殖毒性 无资料 特异性靶器官系统毒性 一次性接触 无资料 反复接触 无资料吸入危害 高浓度时 使氧分压降低而发生窒息 氩浓度达50 以上 则引起严重症状 75以上时 可在数分钟内死亡 当空其中氩浓度增
8、高时 先呈呼吸加速 注意力不集中 共济失调 继之 疲倦乏力 烦躁不安 恶心 呕吐 昏迷 抽搐 以至死亡 液态氩可致皮肤冻伤 眼部接触可引起炎症 刺激性 无资料 生态学资料生态毒性 无资料 持久性和降解性 无资料潜在的生物累积性 无资料 土壤中的迁移性 无资料 废弃处置废弃物性质 废气 非危险废物 废弃处置方法 排放大气 废弃注意事项 通风要良好 严防出现高浓度聚集 运输信息危险货物编号 22011 UN编号 1006包装标志 永久或液化气体 不易燃 无毒包装类别 包装方法 钢质无缝气瓶运输注意事项 夏季应早晚运输 防止日光曝晒 运输按规定路线行驶 液氩罐的储存 在通风良好 安全且不受天气影响的
9、地方直立存储 储存区域内不应有火源 存储温度不可高于125F 52 存储区域应远离频繁出入处和紧急出口 存储区不应有盐或其他腐蚀性物质 对于还未使用的气瓶应保持保护阀盖和输出阀的密封完好 将空瓶与满瓶分开存放 避免过量存储和存储时间过长 使用先进先出系统保持好的库存纪录 氩气的危险特性表 氩气的危险特性表 汽化器 液氩汽化系统工艺简述 本系统由低温液氩储槽 汽化器 阀门 管路及仪控系统等组成 原料液氩经储槽液体出口阀 进入2台汽化器 一用一备 汽化 汽化后储存到10m 缓冲罐 压力为0 7MPa 经过自力式减压阀减压后 压力为0 48MPa 分别供给单晶炉和多晶使用 2 1液氩储槽液氩储槽由储
10、槽主体 增压器 压力调节装置 安全装置及仪控系统等组成 储槽靠双层容器结构来保温 夹套中间填充珠光砂并抽真空来保证 仪控系统包括槽内压力 液面显示用的压力表 液面计 二次仪表和自动调节阀等 储槽内筒压力增压是由增压器来完成的 当储槽对外界输出液氩有压力要求时 调整该压力设定值可达到要求 液氩汽化系统工艺简述 2 2汽化器是采用空浴式 液氩通过汽化器散热翅片 与空气进行热交换 使液氩汽化输出 汽化后的氩气经缓冲罐后送到使设备 纯度达到工艺要求 放空阀保证储槽内压力不超高 增压阀保证储槽内的压力维持在规定的范围 液氩流量调节阀控制液氩的汽化量 稳定汽化后氩气的压力 工作压力 2 5MPa G 汽化
11、量 120Nm3 h 单台汽化器汽化量 加热方式 空气汽化后氩气出口温度 与环境温度温差不大于5 主体材质 铝制翅片 LF21 R 液氩汽化系统工艺简述 2 3低温液氩储槽有效容积 30m 设计温度 186 主体材质 内胆0Cr18Ni9 外胆16MnR最大工作压力 0 8MPa G 设计压力 0 88MPa G 绝热形式 真空粉末绝热 日蒸发率 0 30 d 2 4工艺参数氩气纯度要求 99 999 氢含量 0 1PPmv氮含量 1PPmv 氧含量 0 5PPmv水分含量 0 2PPmv一氧化碳和二氧化碳总含量 0 2PPmv供气压力 0 47MPa 液氩汽化系统工艺简述 2 5充装液氩步骤
12、首先对接好液氩充装口与外运槽车充装口之间的输送管道 第一次充装可以从液氩储槽底部充装 或从顶部充装 正常使用时选择顶部充装较好 关闭增压器出进口手动阀门 打开槽车与冲装口的放空阀门 正常排放2 3分钟 将输送管里的空气排净 打开储罐上进液阀和槽车上进液阀 将储罐里压力排放在槽车里 将外运槽车的储槽增压到0 70Mpa左右 微开槽车储槽的出口阀门 打开液氩储槽上进液阀 或下进液阀门 同时缓慢打开液氩储槽放空阀 使液氩储罐压力缓慢降低 打开槽车储槽出口阀门 使液氩进入储槽 通过放空阀门控制储槽压力 使储槽压力低于外运槽车储槽内压力 利于液氩进入储槽 充装完成后 先关闭储槽进口阀门 打开充装口排污阀
13、门 关闭外运槽车氩气出口阀门 通过排污口进行泻压 然后拆开连接管道即完成液氩充装工作 检查液氩储槽所有阀门和接口是否有漏气现象 充装完成后 打开手动增压阀 并保持储罐压力在0 70Mpa以下 液氩汽化系统工艺简述 低温液体储罐泄漏事故应急救援预案 1事故危险性评估1 1一般危险性评估1 1 1液体充装管路 阀门发生撕裂 液体泄漏面积20m2以下 未发生燃烧爆炸和窒息 能及时控制 1 1 2液体槽车在充装过程中由于槽车本体破裂或充装满灌导致液体泄漏 1 2较大危险性评估1 2 1液体充装管路 阀门发生撕裂 液体泄漏面积已超过20m2 现场汽雾弥漫 易导致低温冻伤事故和冻坏建构筑物 事故能得到有效
14、控制 未发生燃烧爆炸和窒息 1 3严重危险性评估1 3 1液体充装管路 阀门发生撕裂 液体储罐紧急切断阀损坏无法操作 液体泄漏面积已超过100m2 极易导致低温冻伤事故和冻坏建构筑物 并且泄露无法控制 1 3 2液氧罐发生泄漏 现场空气中氧气浓度过高 23 在激发能源作用下易使储罐及周围一定范围内的物质发生燃烧 严重时会发生爆炸 爆炸引起联锁反应 危及较大范围内的人员生命安全 1 3 3液氮 液氩罐发生泄漏 现场大量惰性气体积聚 人员发生低温冻伤和窒息事故 低温液体储罐泄漏事故应急救援预案 2控制及消除事故源2 1一般危险性事故2 1 1控制事故源2 1 1 1当班操作人员立即关闭发生泄漏部位
15、之前的阀门 2 1 1 2如果是液氧泄露 当班操作人员通知电工切断泄露区域内的局部电源 2 1 1 3以泄露点为半径20米设立警戒线 禁止所有车辆和非抢险人员进入现场 在现场的车辆严禁启动 2 1 2消除事故源2 1 2 1对泄漏点按氧气公司检修规程进行检修 2 1 2 2视情况转移事故区域内易燃易爆物品 低温液体储罐泄漏事故应急救援预案 2 2较大危险性事故2 2 1按氧气公司应急救援预案总则报警程序报警 2 2 2控制事故源 2 2 1 1当班调度通知电工岗位人员切断罐区及周围一定范围内电源 2 2 1 2关闭泄漏管道或阀门对应空分装置液体储罐重锤 对于没有重锤的储罐 关闭罐体底部的液体输
16、送总阀门 2 2 1 3以泄露点50米为半径设立警戒线 禁止所有车辆和非抢险人员进入现场 在现场的车辆严禁启动 非抢险人员立即撤离事故现场 抢险人员关闭手机等不带防爆功能的通讯器材 2 2 1 4采取隔离措施 防止事故液体罐周围设备 设施发生燃烧或冻裂 2 3 2消除事故源2 3 2 1若为液氧泄漏 地面液体未完全蒸发前区域内暂停一切动火作业 通知质检化验人员在警戒线边做氧含量分析 若氧含量超过23 适当扩大警戒线范围 直至分析氧含量小于23 若为液氮或液氩泄露 进入警戒线内的抢险人员必须佩带呼吸器 抢险人员在抢险时尽量站在上风口 2 3 2 2视情况转移事故区域内易燃易爆物品 2 3 2 3由指挥部确定泄漏点堵漏处理方案 进行实施 低温液体储罐泄漏事故应急救援预案 2 3严重危险性事故2 3 1按氧气公司应急救援预案总则报警程序报警 2 3 2控制事故源 2 3 2 1当班调度立即通知停止泄露区域内所有带电设备的运行 通知电工岗位人员切断事故区域内所有电源包括仪表控制电源 2 3 2 2以泄露点100米为半径设立警戒线 禁止非抢险车辆和人员进入现场 在现场的车辆严禁启动 2 3 2
