1. 目的 Purpose1.1 本操作作业标准目的在建立一套完整的特气系统操作流程，以防止人员操作错误及维护系统稳定运转并做为新进人员之教育训练教材2. 管制范围 Scope2.1 本操作标准适用于特气系统各操作单元之操作及故障排除指引3. 管理职责 Responsibility3.1 厂务单位最高主管3.1.1 协调并提供各单位因产品生产所需之厂务效劳内容3.1.2 综理厂务系统运转所需资源管理, 含人员/物料/预算等3.1.3 引进创新之厂务系统或管理知识3.2 厂务单位主管3.2.1 执行厂务系统维护保养制度及系统教育训练3.2.2 维持稳定的厂务供给系统所需之人员出勤管理3.2.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜3.2.4 厂务系统异常事故追踪查核处理结果3.3 厂务系统工程师:3.3.1 负责特气供给系统之正常运转及改进维护3.3.2 负责厂务与机台设备间 Hook up (二次配管)工程之施工与协调事宜3.3.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜3.3.4 担任所负责系统之教育训练讲师3.4 厂务轮班工程师:3.4.1 负责各项维护厂务系统所需之日常巡检及窗体记录。
3.4.2 执行各项厂务设施之日常或定期性保养维修作业3.4.3 更换厂务系统所提供或所需之原物料及产生之废弃物3.4.4 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜4. 定义 Definition4.1 SG : Special Gas (特殊气体)5. 作业内容 Procedure5.1 日常记录与报告要求定点现场抄表，发现数据异常即刻报告给系统工程师统计气体，每日/周/月用量统计气瓶、库存量，原那么上现场要有足够15天运行库存量整理特气系统仪器仪表〔Gas detector、PT等〕的校正记录提供日常巡检报告、维护报告及事故报告日常运转事项 气体钢瓶的更换〔含硅烷、氢气站，特气房内〕 N2 Yard(大宗气体气站：N2) 灌充作业前、后系统及压力，液位确认检查 特气系统仪器仪表〔Gas detector、PT等〕的定期校正 紧急应变：包括Trouble-shooting，报警故障处理，紧急事故反映及处理6. 表单 Form特气系统点检表序号工程情况记录REMARKYESNO其它 1检查设备、房间排风是否正常？ 2检查门锁、窗锁是否正常？ 3检查设备外观是否正常？ 4危险标识是否剥落？ 5阀件编号是否有误？ 6巡视管道状况、标签是否脱落 7确认N2吹扫盘是否正常？ 8确认CDA、GN2供给压力是否正常？ 9检查PIG TAIL是否被损坏或污染？ 10检查加热系统是否正常 Local Scrubber 检查保养方案表检查、保养工程检查、保养频率每天每周双周每月每季每年检查主电源(Main power)电压○检查加热器#1, #2 的温度○检查氮气、流量○检查注入、排气压力△确认错误(Error)状态△检查传感器High，Low状态○检查指示灯工作状态○检查各导管有无粉尘堆积△压力计是否需更换☆检查是否需更换传感器、控制器☆检查是否需更换继电器、风扇☆备注： “○〞：值班技术人员可以单独进行维护操作“△〞：值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护“☆〞：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护Sensor 检查保养表检查、保养工程检查、保养频率每天每周双周每月每半年每年通过监视屏幕观察Sensor的状态○更换Sensor△检查吸气泵是否故障☆检查热裂解模块是否故障☆检查模/数转换模块是否故障☆备注： “○〞：值班技术人员可以单独进行维护操作“△〞：值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护“☆〞：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护气瓶柜/架检查保养方案检查、保养工程检查、保养频率每天每周双周每月每半年每年检查气瓶的压力、重量○检查设备、房间排风是否正常○检查门锁、窗锁是否正常○检查外观是否正常○危险标识是否剥落○设备标识是否剥落○阀件编号是否有误○巡视管道状况、标签是否脱落○确认所有气动阀、手动阀、调压阀是否正常☆确认CDA、GN2供给压力是否正常☆确认N2吹扫盘是否正常☆压力传感器和真空传感器校正☆观察PIG TAIL是否被损坏或污染☆核检故障报警装置是否正常☆核检关机报警装置是否正常☆检查加热系统是否正常☆核检左右供气自动切换装置是否正常☆仪表校正☆备注： “○〞：值班技术人员可以单独进行维护操作“△〞：值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护“☆〞：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护VMB/VMP维修保养方案表检查、保养工程检查、保养频率每天每周双周每月每半年每年检查设备排风是否正常○检查门锁、窗锁是否正常○检查外观是否正常○危险标识是否剥落○设备标识是否剥落○阀件编号是否有误○巡视管道状况、标签是否脱落○确认所有气动阀、手动阀、调压阀是否正常☆确认CDA、GN2供给压力是否正常☆确认N2吹扫盘是否正常☆核检故障报警装置是否正常☆核检关机报警装置是否正常☆备注： “○〞：值班技术人员可以单独进行维护操作“△〞：值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护“☆〞：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护7. 参考文件 Reference Document7.1 无8. 作业流程 Flow Chart8.1 Ar 供气流程Ar Rack 供气流程Step.Content.1先确认HPI1或2关闭，并关闭钢瓶阀门。
2慢慢翻开HPV1或2，将剩余Ar排出去，然后关闭HPV1或23别离旧钢瓶，并安装新钢瓶4然后翻开新钢瓶阀门，然后一点点翻开关闭HPV1或2，15次吹扫结束后关闭HPV1或25关闭钢瓶阀门，等HPT1或2稳定后，进行2小时保压测试6保压测试通过后，翻开钢瓶阀门，然后触摸屏上，选择stand by.注意：1.在供给气体时，两个调压阀之间的那个手动阀门翻开，使两个调压阀同时供气，并保持调压阀门适当成都翻开，不要关闭2.Emergency stop时，长按3秒Reset按钮，可取消报警窗口8.2 PN2 供气流程N2 Rack 供气流程Step.Content.1先将全部阀门关闭，并确认钢瓶阀门关闭2慢慢翻开Vent阀门，将剩余N2排出去，然后关闭Vent 阀门3用扳手将旧钢瓶拆下，安装新的钢瓶4翻开钢瓶阀门，然后翻开关闭Vent阀门15次进行吹扫，翻开时只要一点点点，最后关闭Vent阀门.5然后翻开HPI1，再关闭钢瓶阀门，并关闭调压阀，进行保压测试1小时6保压测试通过后，翻开钢瓶阀门，调节调压阀到100psi.7翻开LPI可供给P-N2,翻开HPI2可供给高压P-N2.8.3 H2供气流程H2 Rack 供气流程Step.Content.1先确认HPI1或2关闭，并关闭钢瓶阀门。
2慢慢翻开HPV1或2，将剩余H2排出去，然后关闭HPV1或23翻开PNBV,PGI1或2，然后一点点翻开关闭HPV1或2，15次进行吹扫结束后全部关闭4别离旧钢瓶，并安装新钢瓶5然后翻开PNBV,PGI1或2，然后一点点翻开关闭HPV1或2，15次吹扫结束后全部关闭6翻开钢瓶阀门，然后一点点翻开HPV1或2,将残留N2排空，然后关闭HPV1或2，7关闭钢瓶阀门，等HPT1或2稳定后，进行2小时保压测试8保压测试通过后，翻开钢瓶阀门，然后触摸屏上，选择stand by.注意：1.在供给气体时，两个调压阀之间的那个手动阀门翻开，使两个调压阀同时供气，并保持调压阀门适当成都翻开，不要关闭2.Emergency stop时，长按3秒Reset按钮，可取消报警窗口8.4 全自动气柜和BSGS 供气流程全自动气柜和BSGS供气流程Step.Content.1A 瓶停止供气后，确认A瓶阀门关闭(有Valve shutter者，拆下Valve shutter，然后确认〕，并关闭PMV1.2“A select〞进入A操作界面，并确认G-N2,CDA,P-N2 供给正常3选择“ Pre-purge〞，输入密码，“Confirm〞〔可能要点两次〕，进入1P(第一次吹扫)，-L(负压测试)，2P(第二次吹扫)42P结束后，进入钢瓶更换阶段。
确认PIV,PGI翻开，确认新瓶日期5别离旧瓶，并用绑带和锁链固定好新钢瓶，然后与CGA连接6连接好之后，“Confirm〞进入“3P〞，“+L〞,“4P〞阶段74P结束后，按“cancel〞进入下阶段按“process Gas flow〞，输入密码，8检查HPT，LPT数值，按“Process〞，气柜会自动排空内部气体 9如有Valve shutter,然后安装Valve shutter，〔把Valve shutter 先套在钢瓶上，拧紧，然后插入气管，然后调整高度，使valve shutter 完全套在钢瓶阀门上〕10"confirm"后，关闭调压阀门11然后翻开钢瓶主阀门12然后翻开调压阀门到适当的位置〔BSGS 将要翻开两个调节阀门〕13PMV1 翻开14“c。