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1、场发射扫描电子显微镜参数：1工作条件:1.1 电源: 230V （-6%/+10%） / 50Hz （1%）1.2 主机功耗： 3.0 kVA1.3 运行环境温度: 17-23 C1.4运行环境：相对湿度 80% （无冷凝）1.5残余交流磁场vlOOnT （非同步频率）；300nT （同步频率）1 .6噪音： 60 dBC1.7 干燥无油压缩空气 4-6 bar1.8 仪器运行的持久性：可连续运行2设备用途：2.1 高分辨扫描电子显微分析系统主要用于纳米材料的超高分辨微观形貌观察和微区分析。 独特的双物镜设计以及低电压成像技术，对导电性不好的样品等适用性更强。具有低真空功 能，对不导电样品进行
2、更全面的分析。3技术规格3.1 电子光学系统3.1.1分辨率：二次电子（SE）像*3.1.1.1高真空模式：15 kV时优于1.0 nm； 1 kV时优于1.4 nm （非减速模式）*3.1.1.2低真空模式：30kV时优于1.5nm*3.1.2背散射（BSE）像:100V时优于3.5 nm3.1.3放大倍率范围：11,000,000倍（根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准）3.1.4 着陆电压： 50V 至 30 kV3.1.5电子枪：高稳定度Schottky肖特基场发射电子枪*3.1.6电子束流：0.6pA200 nA,连续可调，既保证对高分子纳米材料高分辨成像所 需的低速流，也
3、要保证EDS和EBSD分析所需的高束流高效率。3.1.7 束流稳定性：每10小时 v 0.4%*3.1.8 具有双物镜系统（电磁透镜和静电透镜），保证对纳米材料、不导电有机无机材 料、合金、磁性材料的全方位分析*3.1.9 物镜光阑：物镜光栏应能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑。至 少6孔光阑设计3.1.10电子束位移范围：不小于110um3.2 样品室和样品台3.2.1样品室尺寸：不小于360mmX360mm*3.2.2 抽屉式大开门结构，样品台安装在仓门上，全方位观察，方便取放样品，防止碰撞3.2.3样品台：五轴运动全对中样品台，有效移动范围：X /Y110mm, Z圭25mm,
4、T = -10 to +70， R= 360连续旋转3.2.4样品台最大承重量不小于2.0 kg3.2.5最大样品高度不小于65mm,分析工作距离不小于5mm3.2.6重复精度：2um （X/Y方向），步进进度优于lOOnm3.2.7至少15个探测器/附件接口（所有端口程序均免费开放，可安装能谱、波谱、EBSD、CL、STEM 探头、红外探头、拉曼等）,方便后期升级*3.3 探测器：3.3.1 电子探头：样品室二次电子检测器极靴内二次电子探测器极靴内背散射电子探测器 低真空二次电子探测器3.3.2 样品室镜头安装背散射电子探测器3.3.3样品室IR-CCD相机3.3.4 样品室光学显微镜导航相
5、机探头3.4 真空系统*3.4.1 完全无油真空系统（标配高真空模式和低真空模式，要求有验收指标）3.4.2 一个 220L/S 的涡旋干泵和一个分子泵3.4.3 两个离子泵*3.4.4 穿过透镜的压差真空系统（列出原理），保证真空条件下避免对系统的污染。3.4.5样品室真空度：咼真空模式优于6X 10-4 Pa,低真空模式优于 200Pa3.4.6 抽真空时间： 210秒3.5 数字图像处理系统*3.5.1 图像扫描： 100%数字化扫描,最大扫描和成像6144 x 4096像素*3.5.2电子束驻留时间：0.050 - 25,000卩s/像素3.5.3图像显示：1920X1200像素，24
6、” LCD显示器显示，能显示和处理图像*3.5.4配置的探测器信号放大器通道不少于4个,既能实现同一个显示屏上单个活动窗口全屏显示某一探测器的图像信号，又能在同一显示屏上多个活动窗口（最多不少于4 个窗口）同时并列显示不同探测器的图像信号，图像信号可相互实时切换，互不干扰 3.5.5图像记录：TIFF （8位，16位或24位），BMP或JPEG可选3.5.6 智能扫描软件，具有：至少 256 幅的平均或积分，线积分或平均，隔行扫描，漂 移补偿幅积分，伪彩色功能，实时存储图像，图像处環反像,Gamma，平滑，锐化，增 强等），图像旋转，电子束屏蔽（Beam blank）3.6 控制和数据处理系统
7、3.6.1 电镜控制器，最低配置要求：国际主流品牌计算机工作站，Intel Xeon四核3.0GHz以上CPU； DDRIII 16.0GB内存; 1000GB硬盘；1G独立专业图像显卡;DVD刻录机;一台1920X 1200分辨率的24” LCD 曰 TO显示器3.6.2 Windows 7的 64位图形操作系统3.6.3 操作方式：键盘、鼠标3.6.4 可自动调节：电子枪对中、自动亮度对比度、自动聚焦、自动聚焦消像散、自动 电子束设定、自动合轴、真空控制、动态聚焦、旋转补偿、倾斜补偿等3.6.5 建立数据读取网络。（电镜控制电脑+数据读取电脑）3.6.6 操作台：原装进口实验台。3.7 应
8、用软件3.7.1 应具有样品台图像导航功能3.7.2 应具有双击鼠标移动样品功能3.7.3 应具有鼠标拖曳式放大及对中功能3.7.4应具有图像拼接功能，保证超大视野的图像3.7.5 应具备操作导航功能，自动引导用户完成高分辨观察、分析等操作 3.7.6应具备数据显示（加速电压、放大倍数、微标尺、工作距离、日期、时间、真空度、 探头种类）3.7.7 应具备标注功能（图形类（圈、矩形、箭头、测量线）、文字等）3.7.8 应具有测量功能，能测量试件的长宽高、直径、周长、面积等3.7.9 应提供内嵌式的实时帮助文件，保证操作者的使用直观便捷化。*3.8 冷却循环单元3.8.1 采用比空气冷却更高效、更
9、精准控制的水冷内循环系统，分别用于冷却扫描电镜 镜筒及其它部件，高效散热，保证长期使用3.8.2 电压要求：200 -230 VAC, 50/60 Hz3.8.3温度调节控制范围：+ 5C+ 40C3.8.4 控温精度： 0.1C3.8.5 容量：不小于 5L3.8.6 配有进口空压机一套3. 9 附件3. 9 .1 UPS稳压电源：1套，国际品牌Times Top,不低于10kVA3. 9 .2电子干燥柜：1台，上下双门，容积不低于240L，全自动电子除湿，无尘，无 滴水，无噪音3. 9. 3无人基站用直流变频空调：1台，不低于3P,具有除湿功能，且遇停电再恢复供电后能够自动恢复运转状态；制
10、冷容量不低于7.2kW，制热容量不低于8.0kW3. 9 .4 冷暖两用空调：知名品牌， 1台，挂机， 1.5P3. 9 .5超声波清洗器：2台,容量为6L；超声功率为150W,频率40kHz；温控范围080C,加热功率200W；外壳采用优质不锈钢板；120分钟内任意设定超声时间3. 9.6计算机：1套，国际品牌，配置不低于：I5 2.8GHz处理器，4GB内存,1TB硬盘,独立显卡，DVD刻录机，22英寸液晶显示器，光电鼠标，黑白激光打印机，满足A4、B5 纸张尺寸打印； Windows 7 或以上正版；电脑桌、椅1 套。*3. 10 仪器室配套设施：保证仪器室磁场、震动、噪音等满足安装要求
11、。4产品配置要求4.1主机系统一套4.2电镜控制计算机一套4.3电镜用24寸液晶显示器一台4.4样品室二次电子探测器一个4.5极靴内二次电子探测器一个4.6极靴内背散射电子探测器一个4.7低真空二次电子探测器一个4.8样品室角度选择背散射电子探测器一个4.9样品室红外CCD相机一个4.10样品室光学显微镜导航相机探头一个4.11随机进口空压机一台4.12冷却循环单元（内循环）一台4.13导电碳胶带三卷4.14导电银浆一瓶4.15 Win7 64位正版操作系统一套4.16 MS Office正版系统一套4.17备用场发射电子源一套4.18备用钼制物镜光阑一套4.19进口高分辨测试标准样品一个4.
12、20附件一批需要附件包括：不间断电源、电子干燥柜、无人基站用直流变频空调、冷暖两用空调、计算机，以上附件各一套、超声波清洗器2台。4.21 其它必备备品备件一套需要备件、特殊工具和消耗品包括：专用工具、物镜光阑、整套密封圈、整套保险丝 闪烁体、真空脂、微动开关、备用集成块、导电胶带等。标准电镜样品和能谱校正样品。一套4.22 仪器室配套设施5技术文件5.1 合同签订后提供设备的预安装要求说明书；5.2 随机提供产品使用说明书和维护说明书；5.3 随机提供完整的产品验收说明书；5.4 包装箱应用新的坚固的经过熏蒸后的木箱或铁皮箱，能防潮、防锈、防震、防粗暴装卸 适于整体吊装，适于长途运输或转卸装运。
