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1、泓域咨询/河池光刻胶项目可行性研究报告目录第一章 项目建设背景、必要性7一、 “半导体材料皇冠上的明珠”光刻胶7二、 光致产酸剂（Photo-AcidGenerator，PAG）7三、 芯片短缺，上游原材料供应偏紧，国产材料导入进度加快8四、 健全科技创新体制机制9五、 提升产业链供应链竞争力9第二章 绪论11一、 项目概述11二、 项目提出的理由13三、 项目总投资及资金构成14四、 资金筹措方案14五、 项目预期经济效益规划目标15六、 项目建设进度规划15七、 环境影响15八、 报告编制依据和原则16九、 研究范围17十、 研究结论17十一、 主要经济指标一览表18主要经济指标一览表18
2、第三章 项目建设单位说明20一、 公司基本信息20二、 公司简介20三、 公司竞争优势21四、 公司主要财务数据23公司合并资产负债表主要数据23公司合并利润表主要数据23五、 核心人员介绍24六、 经营宗旨25七、 公司发展规划26第四章 行业、市场分析28一、 大陆晶圆代工厂成熟制程快速扩建，国产光刻胶企业迎来重大机遇28二、 DUV光刻胶化学放大型KrF&ArF光刻胶29三、 聚4-羟基苯乙烯（PHOST）30第五章 建筑工程说明32一、 项目工程设计总体要求32二、 建设方案32三、 建筑工程建设指标33建筑工程投资一览表33第六章 建设规模与产品方案35一、 建设规模及主要建设内容3
3、5二、 产品规划方案及生产纲领35产品规划方案一览表36第七章 法人治理结构37一、 股东权利及义务37二、 董事39三、 高级管理人员43四、 监事45第八章 发展规划分析48一、 公司发展规划48二、 保障措施49第九章 项目节能说明51一、 项目节能概述51二、 能源消费种类和数量分析52能耗分析一览表53三、 项目节能措施53四、 节能综合评价54第十章 原辅材料供应、成品管理55一、 项目建设期原辅材料供应情况55二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理55第十一章 项目进度计划57一、 项目进度安排57项目实施进度计划一览表57二、 项目实施保障措施58第十二章 环保分析59一、 编
4、制依据59二、 建设期大气环境影响分析60三、 建设期水环境影响分析61四、 建设期固体废弃物环境影响分析61五、 建设期声环境影响分析62六、 环境管理分析63七、 结论64八、 建议64第十三章 投资方案65一、 投资估算的编制说明65二、 建设投资估算65建设投资估算表67三、 建设期利息67建设期利息估算表68四、 流动资金69流动资金估算表69五、 项目总投资70总投资及构成一览表70六、 资金筹措与投资计划71项目投资计划与资金筹措一览表72第十四章 项目经济效益分析74一、 基本假设及基础参数选取74二、 经济评价财务测算74营业收入、税金及附加和增值税估算表74综合总成本费用估
5、算表76利润及利润分配表78三、 项目盈利能力分析79项目投资现金流量表80四、 财务生存能力分析82五、 偿债能力分析82借款还本付息计划表83六、 经济评价结论84第十五章 招标方案85一、 项目招标依据85二、 项目招标范围85三、 招标要求85四、 招标组织方式86五、 招标信息发布87第十六章 项目总结88第十七章 附表附录90营业收入、税金及附加和增值税估算表90综合总成本费用估算表90固定资产折旧费估算表91无形资产和其他资产摊销估算表92利润及利润分配表93项目投资现金流量表94借款还本付息计划表95建设投资估算表96建设投资估算表96建设期利息估算表97固定资产投资估算表98
6、流动资金估算表99总投资及构成一览表100项目投资计划与资金筹措一览表101第一章 项目建设背景、必要性一、 “半导体材料皇冠上的明珠”光刻胶伴随着光刻工艺的不断发展，光刻用化学品也在飞速发展，主要的光刻用化学品包括有光刻胶、抗反射层、溶剂、显影液、清洗液等。在这些化学品中，光刻胶凭借其复杂且精准的成分组成具有最高的价值，也是整个半导体制造工艺中最为关键的材料之一，有着“半导体材料皇冠上的明珠”之称。组成成分：光刻胶主要由成膜树脂、溶剂、感光剂（光引发剂、光致产酸剂）、添加剂（表面活性剂、匀染剂等）等部分组成。典型的光刻胶成分中，50%90%是溶剂，10%40%是树脂，感光剂占1%8%，表面活
7、性剂、匀染剂及其他添加剂占比则不到1%。分类标准：对于半导体光刻胶的分类有多种标准，常用的分类标准包括有：（1）以曝光后光刻胶在显影液中的溶解度变化分为正性光刻胶和负性光刻胶；（2）针对正性光刻胶以是否使用化学放大（ChemicallyAmplified）机制可分为化学放大型光刻胶和非化学放大型光刻胶；（3）以所使用的光刻工艺可分为紫外宽谱光刻胶、g线光刻胶、i线光刻胶、KrF光刻胶、ArF光刻胶、EUV光刻胶、电子束光刻胶等。二、 光致产酸剂（Photo-AcidGenerator，PAG）化学放大的效果主要由PAG带来，PAG经过光照后可产酸，催化分子链反应，增强曝光部分和未曝光部分的溶解
8、性差异。根据不同的化学结构PAG可分为鎓盐类、二甲酰亚胺N-磺酰基类、安息香磺酰酸类、硝基苯磺酸类、砜类、肟酯类、三嗪类等。在选择PAG时，要考虑其产酸效率、酸扩散速率、耐热性、透明性、溶解性、酸性强弱、分解挥发产物等因素。三苯基六氟锑酸盐（TPS-SbF6）是首例用于化学放大型光刻胶的PAG，然而由于其含有金属离子容易对电子设备造成污染，所以逐渐被磺酸盐类取代。目前，KrF和ArF光刻胶中多用鎓盐来作为PAG，例如三芳基硫鎓盐和二芳基碘鎓盐。鎓盐由阳离子和阴离子组成，因此可以通过设计阴阳离子的结构达到改善PAG性能的目的，特别是PAG的阴离子结构对光刻胶的分辨率、灵敏度和线边粗糙度等关键指标
9、有重要影响。三、 芯片短缺，上游原材料供应偏紧，国产材料导入进度加快自2020年开始，由于新冠疫情在全球蔓延，部分工厂曾暂时关闭相关产能，导致了半导体产业链供应端的短缺。而伴随着疫情常态化运行，全球工业、汽车、消费电子等需求开始复苏，同时叠加多种崭新芯片应用需求的兴起，全球市场对于半导体芯片的需求量大幅增加，全球半导体芯片开始出现供不应求的局面。近期，多家半导体企业纷纷上调产品价格，芯片涨价情况不断向上游延伸，中游的封测和晶圆厂商以及上游的半导体材料厂商也都不同程度地上调了产品价格。此外，由于疫情、地震等不可抗力原因，国外某些厂商的光刻胶等关键半导体材料也出现了供应问题，加剧了半导体材料的短缺
10、问题。这导致了国内的晶圆代工厂商开始积极寻找其他产品供应商，同时也明显加快了对上游原材料产品的验证速度。在这一背景下，以北京科华为代表的国产光刻胶产品也在近期相继实现了在某些制程工艺的成功导入。四、 健全科技创新体制机制认真落实国家和自治区关于科技体制机制改革的各项政策，加强科技政策与产业、财政、金融等政策有机衔接，推动重点领域项目、基地、人才、资金一体化配置。构建科技评价机制，优化科技奖励项目。健全以财政投入为引导、企业投入为主体、金融机构投入为支撑、社会投入为补充的多元化投入机制，促进新技术产业化规模化应用。加强知识产权保护，健全创新激励和保障机制，提高科技成果转移转化成效。发挥企业创新主
11、体作用，激励中小企业高新技术产业创新。加强科普工作，推进科普基础设施建设。弘扬科学精神和工匠精神，营造崇尚创新的社会氛围。五、 提升产业链供应链竞争力加强实体经济建设，锻长板补短板，全力推动主导优势产业基础高级化、产业链供应链现代化。深入开展补链强链延链专项行动，大力推动全产业链优化升级。开展产业基础再造和产业链提升行动，立足有色金属、茧丝绸、优质酒水、生物医药、碳酸钙等产业规模优势、配套优势和部分领域先发优势，加快有色金属、茧丝绸、制糖、建材、化工、木材加工等传统产业安全绿色高效高端发展，积极培育新兴产业链，大力培育“四上企业”。聚焦“三大三新”“双百双新”重点领域，组织开展产业大招商活动，
12、深入推进“四企入河”，引进一批符合地方产业发展需要、支撑带动能力强的实体经济大项目，形成连接粤港澳大湾区、珠江西江经济带的跨区域产业链供应链重要环节。强化要素支撑，促进产业链供应链配套降本增效。第二章 绪论一、 项目概述（一）项目基本情况1、项目名称：河池光刻胶项目2、承办单位名称：xxx集团有限公司3、项目性质：技术改造4、项目建设地点：xxx5、项目联系人：曾xx（二）主办单位基本情况展望未来，公司将围绕企业发展目标的实现，在“梦想、责任、忠诚、一流”核心价值观的指引下，围绕业务体系、管控体系和人才队伍体系重塑，推动体制机制改革和管理及业务模式的创新，加强团队能力建设，提升核心竞争力，努力
13、把公司打造成为国内一流的供应链管理平台。公司注重发挥员工民主管理、民主参与、民主监督的作用，建立了工会组织，并通过明确职工代表大会各项职权、组织制度、工作制度，进一步规范厂务公开的内容、程序、形式，企业民主管理水平进一步提升。围绕公司战略和高质量发展，以提高全员思想政治素质、业务素质和履职能力为核心，坚持战略导向、问题导向和需求导向，持续深化教育培训改革，精准实施培训，努力实现员工成长与公司发展的良性互动。公司坚持提升企业素质，即“企业管理水平进一步提高，人力资源结构进一步优化，人员素质进一步提升，安全生产意识和社会责任意识进一步增强，诚信经营水平进一步提高”，培育一批具有工匠精神的高素质企业
14、员工，企业品牌影响力不断提升。公司以负责任的方式为消费者提供符合法律规定与标准要求的产品。在提供产品的过程中，综合考虑其对消费者的影响，确保产品安全。积极与消费者沟通，向消费者公开产品安全风险评估结果，努力维护消费者合法权益。公司加大科技创新力度，持续推进产品升级，为行业提供先进适用的解决方案，为社会提供安全、可靠、优质的产品和服务。（三）项目建设选址及用地规模本期项目选址位于xxx，占地面积约85.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。（四）产品规划方案根据项目建设规划，达产年产品规划设计方案为：xx吨光刻胶/年。二、
15、 项目提出的理由目前主流的KrF化学放大型正性光刻胶往往是具有多种取代基团的共聚物，通过调节聚合物整体的分子量和带有不同取代基团单体的配比来调节光刻胶的性能。根据KrF光刻胶的活化能，可以将KrF光刻胶分为高活化能胶（俗称高温胶，如ESCAP）和低活化能胶（低温胶，如乙缩醛类）。高温胶和低温胶因脱保护的温度差异，导致了比较明显的性能差异。此外，由于空气中存在有一定量的碱性分子，在KrF光刻胶曝光后，光刻胶会接触空气导致曝光后所产生的光酸会被空气中的碱性成分中和掉，最终会造成光刻胶灵敏度的大幅度变化，这一现象被称为曝光到显影的时间延迟问题（PED）。为了解决这一问题，工业界除了采取在洁净室、光刻机等关键地方安装化学成分过滤器以外，还可以通过在光刻胶表面涂布一层保护层来隔绝空气中的碱性物质。根据河池实际，综合考虑当前条件和
