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1、三维云纹干涉仪简介：三维云纹干涉仪是由云纹干涉光路和泰曼/格林干涉光路组合而成；将高 灵敏度正交型光栅复制在试件的表面，并置于光路系统中，经调试后可 分别获得两个面内位移场（U和V）和离面位移场（W）；激光是由单模 光纤及耦合器分解和传输到光路系统中的；光路中置有PZT压电晶体， 通过驱动电源控制和驱动压电晶体和反射镜来实现相移技术，相移技术 可以使测量灵敏度提高一个量级，仪器还附有加载系统及调节座；配以 高温炉可进行热变形测量。技术参数及图例：主要技术指标：1、位移灵敏度：面内u & v场：417nm （1200线/mm），离面 w 场：266nm （l/2）2、相移灵敏度：s20nm/V3
2、、光场尺寸：35x35mm4、测试范围：20x20mm5、条纹分辨率：优于1/20级条纹6、测量应变范围：10me5%e7、激光器：单纵膜，20 mw，人=532nm8、 图像采集：CMOS摄像头，分辨率1280 x 1024, USB接口9、 加载系统：拉伸、压缩、弯曲三种加载方式主要配置：1、主机2、20mW半导体激光器：1个3、TS-1000USB摄像头（内置）：1只4、相移器：1个5、光纤：3根6、光纤耦合器：1套7、1200mmx800mm自动平衡隔振平台：1套8、品牌液晶台式电脑：1套（双核处理器;2GB内存;320GB硬盘;19寸宽屏液晶显示屏）9、拉伸、压缩、弯曲三种加载方式：
3、1套10、软件：1套其他附件：1、高温恒温箱简介：为配合高温（300oC）条件下的热变形的非接触光学测量，高温恒温箱配有可供观察和测量的石英玻璃窗口。为不影响光学测量的精度， 该玻璃是精密加工的。恒温箱的温度的稳定性由控制器控制。恒温箱固 定在五维调节座上，可实现满足光路要求的精准调节。温度：M300oC,灵敏度：1oC窗口玻璃：平面度：1/2光圈，耐高温石英玻璃2、全息云纹光栅简介；用全息干涉系统和光刻技术值成的云纹光栅主要用于云纹干涉法 变形测量。该光栅可以方便地转移到试件的表面，将复制有试件栅的试 件置于云纹干涉光路系统中可以获得反映位移场的云纹干涉条纹。该光 栅通常为正交型光栅，以获得
4、二维面内位移场。全息干涉光路中采用了 旋转光源，因而有效地消除了散斑噪声，提高了衍射效率。图日-1所示 为光栅在白光下的衍射彩色图像；图H-2所示为光栅在云纹干涉光路中 的零场条纹图。匚场V场7fflH-n白光衍射荐色图像ffiH-2=光栅零商云纹图，性能和参数：光栅频率：1200或600 lines/mm (0. 05%)正交性：n/20.5x10-4衍射效率：大于入射光强的10%光栅面积:50x50mm( 2x2in)基底尺寸：63x63mm(2.5x2.5in)基底材料：普通玻璃或超低膨胀率石英玻璃(ULE)零场：级条纹光栅材料：光刻胶镀铝膜原理示意U云纹干涉獭图云纹干涉法测量装置U原理示意:已制备在试件表面的高频光搬随试件的变形而变形，当两束it真张以不同的角度照射试件时，由光栅产生的衍射波形成干涉，得到含有物体表面位移信息的条纹图。M弯曲实验的云纹干涉条纹图黄圆孔板的云纹干涉条纹图口应用范围：云纹干涉法是一种非接触测量面内位移和应变场的方法，具有较为广泛的应用范围。该技术可用于测量复合材料的残余应力；测量微电子封装组件热疲劳， 热湿耦合，热载荷引起的变形；可用于非接触测量航空材料在高温状态 下的力学性能；还可以应用于材料构件内部的缺陷，裂纹的无损检测。应用范围非常广泛。
