浙江海纳半导体有限公司年产100吨4-8英寸IC级单晶硅及其制品技改项目环境影响评价报告书

浙江海纳半导体有限公司浙江海纳半导体有限公司 年产年产 100 吨吨 4-8 英寸英寸 IC 级单晶硅及其制品技改项目级单晶硅及其制品技改项目 环境影响报告书环境影响报告书（送审稿）（送审稿）浙江爱闻格环保科技有限公司浙江爱闻格环保科技有限公司 2019 年年 11 月月 浙江海纳半导体有限公司年产 100 吨 4-8 英寸 IC 级单晶硅及其制品技改项目环境影响报告书 浙江爱闻格环保科技有限公司 目目 录录 1 概述.-5-1.1 项目由来.-5-全部.-6-1.2 评价过程.-6-1.3 分析判定相关情况.-7-1.4 报告书主要结论.-9-2 总则.-10-2.1 编制依据.-10-2.2 评价因子与评价标准.-14-2.3 评价工作等级和评价重点.-18-2.4 评价范围及主要环境保护目标.-22-2.5 相关规划及基础配套设施.-25-3 现有企业污染源核查.-35-3.1 现有企业概况.-35-3.2 现有项目污染源核查.-36-3.3 总量控制情况.-46-3.4 现有企业存在的环保问题及整改措施.-46-4 建设项目概况与工程分析.-48-4.1 项目工程概况.-48-4.2 污染影响因素分析.-48-4.3 项目污染源强汇总.-52-4.4 非正常工况污染源强.-54-5 环境现状调查与评价.-55-5.1 自然环境.-55-5.2 环境质量现状监测与评价.-57-5.3 周边污染源调查.-74-6 环境影响预测分析与评价.-75-6.1 大气环境影响预测分析与评价.-75-6.2 地表水环境影响预测分析与评价.-78-6.3 地下水环境影响预测分析与评价.-84-6.4 声环境影响预测分析与评价.-88-6.5 固废影响分析.-90-6.6 土壤环境影响分析.-92-6.7 退役期环境影响分析.-95-6.8 风险评价.-95-浙江海纳半导体有限公司年产 100 吨 4-8 英寸 IC 级单晶硅及其制品技改项目环境影响报告书 浙江爱闻格环保科技有限公司 7 环境保护措施及其可行性论证.-101-7.1 废气污染防治措施.-101-7.2 废水污染防治措施.-103-7.3 地下水污染防治措施.-105-7.4 噪声污染防治措施.-108-7.5 固废污染防治措施.-108-7.6 土壤污染防治措施.-111-7.7 风险防范措施.-111-7.8 污染物防治措施汇总.-113-8 环境影响经济损益分析.-115-8.1 环保投资估算.-115-8.2 环境影响经济损益分析.-115-8.3 小结.-116-9 环境管理与环境监测计划.-117-9.1 环境管理.-117-9.2 环境监测计划.-118-9.3 污染物排放清单.-119-9.4 排污口规范化设置.-123-9.5 固定污染源排放许可分类管理.-123-9.6 总量控制.-123-10 环境影响评价结论.-124-10.1 项目概况.-124-10.2 环境质量现状评价结论.-124-10.3 环境影响分析与评价结论.-125-10.4 污染防治措施汇总.-126-10.5 公众意见采纳情况.-127-10.6“三线一单”符合性.-127-10.7 环保审批原则符合性分析.-129-10.8 要求与建议.-129-10.9 环评总结论.-130-浙江海纳半导体有限公司年产 100 吨 4-8 英寸 IC 级单晶硅及其制品技改项目环境影响报告书 浙江爱闻格环保科技有限公司 附图：附图：附图 1：项目地理位置图 附图 2：项目周边环境概况图 附图 3：项目周边环境照片 附图 4：全厂总平面布置图 附图 5：本项目车间平面布置图 附图 6：水环境功能区划图 附图 7：环境功能区划图 附图 8：监测点位图 附件：附件：附件 1：浙江省工业企业投资项目备案（赋码）信息表 附件 2：营业执照 附件 3：不动产权证 附件 4：排污许可证 附件 5：法人身份证复印件 附件 6：危废处置合同 附件 7：原环评批文和验收意见 附件 8：监测报告 附表：附表：项目环评审批基础信息表 浙江海纳半导体有限公司年产 100 吨 4-8 英寸 IC 级单晶硅及其制品技改项目环境影响报告书 -5-1 概述概述 1.1 项目由来项目由来 浙江海纳半导体有限公司（原名杭州海纳半导体有限公司，2016 年 5 月 24 日更名为浙江海纳半导体有限公司，企业营业执照见附件附件 2）成立于 2002 年 9 月，是众合科技旗下主力成员企业之一，是一家有着多年发展历史的半导体企业，依托浙江大学硅材料科学国家重点实验室，在硅材料制造领域积累了丰富的经验和技术，公司在硅单晶生产技术、硅材料缺陷研究、硅片切割研磨、硅晶圆抛光技术、硅片检测等各个方面都有着深入的研究和开发。2016 年，浙江海纳半导体有限公司收购普通电子（万向硅峰），万向硅峰前身为始建于 1968 年国有浙江省开化六一厂，企业由于市场及经营原因于 2015 年停产。2017年 3 月，企业利用万向硅峰原有的厂房及部分设备，新增硅片表面缺陷检测、自动分片机等国产设备，“零土地”技改建设年产 38 英寸半导体级单晶硅 200 吨及 1500 万片硅片项目，原开化县环境保护局于 2017 年 3 月 17 日批复浙江省工业企业“零土地”技术改造项目环境影响评价文件承诺备案受理书（编号：20171 号）。2017 年 11 月，企业委托浙江环资检测科技有限公司编制了该项目的建设项目竣工环境保护验收监测报告（浙环资验字（2017）第 181 号），原开化县环境保护局于 2017 年 12 月 19 日批复浙江省工业企业“零土地”技术改造项目环保设施竣工验收备案通知书（编号：2017003）。随着集成电路和功率器件应用领域和范围的不断扩大，对重掺 As 硅片的市场需求量也不断增加。为此，企业拟投资 2000 万元，利用现有厂区，建设新车间，购置永磁场、滚圆机、打标机等国产设备，改造清洗机、单晶炉、冷却系统等设备，项目建成后具有年产 100 吨 4-8 英寸 IC 级单晶硅及其制品的生产能力。实现年销售收入 10000 万元，利税 2000 万元。目前，该项目已获得浙江省工业企业“零土地”技术改造项目备案通知书（详见附件附件 1，项目代码：2019-330824-39-03-011232-000）。根据中华人民共和国环境保护法、中华人民共和国环境影响评价法、建设项目环境保护管理条例及浙江省建设项目环境保护管理办法的有关规定及环保管理部门的意见，该项目必须进行环境影响评价。根据项目原料及工艺，经查阅 国民经济行业分类代码表（GB/T 4754-2017）（2019年修订），本项目属于“C 制造业-398 电子元件及电子专用材料制造”。根据建设项 浙江海纳半导体有限公司年产 100 吨 4-8 英寸 IC 级单晶硅及其制品技改项目环境影响报告书 -6-目环境影响评价分类管理目录（中华人民共和国环境保护部令第 44 号）和关于修改建设项目环境影响评价分类管理名录部分内容的决定（生态环境部令第 1 号），本项目环评级别如下所示：表表1.1-1 本项目环评级别统计表本项目环评级别统计表 环评类别 项目内容 报告书 报告表 登记表 本栏目环境敏感区含义 十五、化学原料和化学制品制造业 38、半导体材料 全部全部/根据上表可知，本项目为半导体材料制造，环评级别可以确定为报告书。为此，浙江海纳半导体有限公司特委托浙江爱闻格环保科技有限公司承担该项目的环境影响评价工作，我公司在初步资料收集分析、研究和现场踏勘的基础上，依据国家环保部颁发的环境影响评价技术导则的技术要求，通过对有关资料的调研、整理、计算、分析，编制了本项目的环境影响报告书（送审稿），现提请审查。1.2 评价过程评价过程 环评工作一般分为三个阶段，即调查分析和工作方案制定阶段、分析论证和预测评价阶段、环境影响评价文件编制阶段。具体工作流程见下图。浙江海纳半导体有限公司年产 100 吨 4-8 英寸 IC 级单晶硅及其制品技改项目环境影响报告书 -7-图图 1.2-1 环境影响评价工作流程环境影响评价工作流程 本次环评通过对项目所在地区自然环境的调查、对本项目的工程分析、环境影响预测等系统性的工作，查明该地区的环境质量现状，掌握其环境特征，分析本项目污染物排放状况，预测项目在建成投产后对环境影响的特点、范围和程度以及环境质量可能发生的变化。从环境保护的角度，论证项目选址的合理性及实施的可行性，并对项目的污染防治措施提出技术经济分析论证，对其环境管理及环境监测计划提出要求。1.3 分析判定相关情况分析判定相关情况 1、环境功能区划符合性判定 本项目位于开化县工业园区万向路 5 号，根据开化县环境功能区划，项目所在地位于“华埠环境优化准入区（0824-V-0-01）”，为优化准入区。项目从事单晶硅及其制品的生产，属于二类工业项目。项目生产过程中产生的各类 浙江海纳半导体有限公司年产 100 吨 4-8 英寸 IC 级单晶硅及其制品技改项目环境影响报告书 -8-污染物经污染治理措施处理后均能达标排放，项目严格实施污染物总量控制制度，编制实施重点污染物减排计划，削减污染物排放总量，符合上述所属环境功能区划的管控措施要求。另外，项目也不在该环境功能区划负面清单内。因此，本项目的建设能够满足开化县环境功能区划的要求。2、“三线一单”符合性分析（1）生态保护红线 本项目位于开化县工业园区万向路 5 号，用地性质为工业用地。根据开化县生态保护红线规划，项目不涉及开化县生态红线区域内森林公园、饮用水水源保护区、生态公益林等一级管控区，也不涉及重要水源涵养区、地质灾害易发区、洪水调蓄区、生态廊道等二级管控区，符合生态红线保护要求。（2）环境质量底线 项目所在区域的环境质量底线为：环境空气质量目标为环境空气质量标准（GB 3095-2012）二级，水环境质量目标为地表水环境质量标准（GB 3838-2002）III 类标准；声环境质量目标为声环境质量标准（GB 3096-2008）3 类。本项目所在区块的为达标区，根据开化县环境监测站2018年的环境空气质量监测数据，2018年。细颗粒物（PM2.5）、可吸入颗粒物（PM10）、二氧化硫、二氧化氮的年均值均达到环境空气质量标准（GB 3095-2012）二级标准限值。根据监测结果，项目所在地周边地表水体各监测断面各项水质监测指标均达到地表水环境质量标准（GB 3838-2002）中III类水标准，满足III类水功能要求。根据监测结果，项目附近区域地下水监测指标均满足地下水质量标准（GB/T 14848-2017）III类水质标准，能够满足地下水环境功能区划要求。根据监测结果，本项目所在区域昼夜声环境现状监测值均符合声环境质量标准（GB 3096-2008）3类标准要求。根据监测结果，项目所在区域土壤环境现状监测指标均能满足土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB 36600-2018）中的第二类用地筛选值要求。因此，采取本环评提出的相关防治措施后，企业排放的污染物不会对周边环境造成明显影响，不会突破区域环境质量底线。（3）资源利用上线 本项目用水来自市政给水管网，用电来自市政电网。本项目建成运行后采取多方面合理可行的防治措施、以“节能、降耗、减污”为目标，有效地控制污染。本项目所需水、浙江海纳半导体有限公司年产 100 吨 4-8 英寸 IC 级单晶硅及其制品技改项目环境影响报告书 -9-电等资源不会突破该区域的资源利用上线。（4）环境准入负面清单 本项目属于开化县环境功能区划中的“华埠环境优化准入区（0824-V-0-01）”，为优化准入区。项目从事单晶硅及其制品的生产，属于二类工业项目。对照该环境功能小区负面清单：本项目不属于该环境功能小区环境准入负面清单中禁止的三类工业项目。3、产业政策符合性分析 根据产业结构调整指导目录（2011 年本）（2016 年修正）和浙江省淘汰落后生产能力指导目录（2012 年本），本项目跟国家、省现行