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1、泓域咨询/福州刻蚀设备项目申请报告目录第一章 行业发展分析7一、 等离子体刻蚀面临的问题7二、 原子层刻蚀为未来技术发展方向7三、 离子束刻蚀10第二章 建设单位基本情况12一、 公司基本信息12二、 公司简介12三、 公司竞争优势13四、 公司主要财务数据14公司合并资产负债表主要数据14公司合并利润表主要数据15五、 核心人员介绍15六、 经营宗旨17七、 公司发展规划17第三章 项目建设背景及必要性分析19一、 高密度等离子体刻蚀19二、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术20三、 推动产业链供应链优化升级，加快构建现代产业体系21四、 坚持创新驱动发展，全面建设创新型省会城市25第四章 项目
2、概况28一、 项目名称及建设性质28二、 项目承办单位28三、 项目定位及建设理由29四、 报告编制说明30五、 项目建设选址32六、 项目生产规模32七、 建筑物建设规模32八、 环境影响32九、 项目总投资及资金构成32十、 资金筹措方案33十一、 项目预期经济效益规划目标33十二、 项目建设进度规划34主要经济指标一览表34第五章 选址分析36一、 项目选址原则36二、 建设区基本情况36三、 实施扩大内需战略，提升现代化国际化水平38四、 打造一流营商环境40五、 项目选址综合评价41第六章 建筑物技术方案42一、 项目工程设计总体要求42二、 建设方案42三、 建筑工程建设指标43建
3、筑工程投资一览表44第七章 发展规划分析45一、 公司发展规划45二、 保障措施46第八章 法人治理49一、 股东权利及义务49二、 董事52三、 高级管理人员57四、 监事59第九章 项目环保分析61一、 编制依据61二、 环境影响合理性分析62三、 建设期大气环境影响分析63四、 建设期水环境影响分析64五、 建设期固体废弃物环境影响分析65六、 建设期声环境影响分析65七、 环境管理分析66八、 结论及建议67第十章 人力资源分析69一、 人力资源配置69劳动定员一览表69二、 员工技能培训69第十一章 节能分析72一、 项目节能概述72二、 能源消费种类和数量分析73能耗分析一览表74
4、三、 项目节能措施74四、 节能综合评价77第十二章 工艺技术分析78一、 企业技术研发分析78二、 项目技术工艺分析80三、 质量管理81四、 设备选型方案82主要设备购置一览表83第十三章 劳动安全分析84一、 编制依据84二、 防范措施86三、 预期效果评价89第十四章 投资方案90一、 投资估算的依据和说明90二、 建设投资估算91建设投资估算表93三、 建设期利息93建设期利息估算表93四、 流动资金94流动资金估算表95五、 总投资96总投资及构成一览表96六、 资金筹措与投资计划97项目投资计划与资金筹措一览表97第十五章 项目经济效益分析99一、 基本假设及基础参数选取99二、
5、 经济评价财务测算99营业收入、税金及附加和增值税估算表99综合总成本费用估算表101利润及利润分配表103三、 项目盈利能力分析103项目投资现金流量表105四、 财务生存能力分析106五、 偿债能力分析106借款还本付息计划表108六、 经济评价结论108第十六章 项目招投标方案109一、 项目招标依据109二、 项目招标范围109三、 招标要求110四、 招标组织方式112五、 招标信息发布116第十七章 项目综合评价说明117第十八章 补充表格118建设投资估算表118建设期利息估算表118固定资产投资估算表119流动资金估算表120总投资及构成一览表121项目投资计划与资金筹措一览表
6、122营业收入、税金及附加和增值税估算表123综合总成本费用估算表123固定资产折旧费估算表124无形资产和其他资产摊销估算表125利润及利润分配表125项目投资现金流量表126本期项目是基于公开的产业信息、市场分析、技术方案等信息，并依托行业分析模型而进行的模板化设计，其数据参数符合行业基本情况。本报告仅作为投资参考或作为学习参考模板用途。第一章 行业发展分析一、 等离子体刻蚀面临的问题随着当前先进芯片关键尺寸的不断减小以及FinFET与3DD等三维结构的出现，不同尺寸的结构在刻蚀中的速率差异将影响刻蚀速率，对于高深宽比的图形窗口来说，化学刻蚀剂难以进入，反应生成物难以排出。另外，薄膜堆栈一
7、般由多层材料组成，不同材料的刻蚀速率不同，很多刻蚀工艺都要求具有极高的选择比。第三个问题在于当达到期望深度之后，等离子体中的高能离子可能会导致硅片表面粗糙或底层材料损伤。干法刻蚀通常不能提供对下一层材料足够高的刻蚀选择比。在这种情况下，一个等离子体刻蚀机应装上一个终点检测系统，使得在造成最小的过刻蚀时停止刻蚀过程。当下一层材料正好露出来时，重点检测器会触发刻蚀机控制器而停止刻蚀。二、 原子层刻蚀为未来技术发展方向随着国际上高端量产芯片从14nm-10nm阶段向7nm、5nm甚至更小的方向发展，当前市场普遍使用的沉浸式光刻机受光波长的限制，关键尺寸无法满足要求，必须采用多重模板工艺，利用刻蚀工艺
8、实现更小的尺寸，使得刻蚀技术及相关设备的重要性进一步提升。制程升级背景下，刻蚀次数显著增加。随着半导体制程的不断缩小，受光波长限制，关键尺寸无法满足要求，必须采用多重模板工艺，重复多次薄膜沉积和刻蚀工序以实现更小的线宽，使得薄膜沉积和刻蚀次数显著增加以及刻蚀设备在晶圆产线中价值比率不断上升，其中20纳米工艺需要的刻蚀步骤约为50次，而10纳米工艺和7纳米工艺所需刻蚀步骤则超过100次。以硅片上的原子层刻蚀为例，首先，氯气被导入刻蚀腔，氯气分子吸附于硅材料的表面，形成一个氯化层。这一步改性步骤具有自限制性：表面一旦饱和，反应立即停止。紧接着清楚刻蚀腔中过量的氯气，并引入氩离子。使这些离子轰击硅片
9、，物理性去除硅-氯反应后产生的氯化层，进而留下下层未经改性的硅表面。这种去除过程仍然依靠自限制性，在氯化层被全部去除后，过程中止。以上两个步骤完成后，一层极薄的材料就能被精准的从硅片上去除。半导体设备市场快速发展，刻蚀设备价值量可观半导体设备市场快速发展，2022有望再创新高。随着2013年以来全球半导体行业的整体发展，半导体设备行业市场规模也实现快速增长。根据SEMI统计，2013年到2020年间，全球半导体设备销售额由320亿美元提升至712亿美元，年复合增速达到12.10%。2021年全球半导体设备市场规模突破1000亿美元，达到历史新高的1026亿美元，同比大增44。根据SEMI预测，
10、2022年全球半导体设备市场有望再创新高，达到1140亿美元。目前全球半导体设备的市场主要由国外厂商高度垄断。根据芯智讯发布的基于各公司财报统计数据显示，在未剔除FPD设备及相关服务收入、以2021年度中间汇率为基准进行计算，2021年全球前十五大半导体设备厂商中仅有一家ASMPacificTechnology来自中国香港，2021年销售额为17.39亿美元，位列榜单第14位。整体来看目前全球半导体设备市场主要被外国市场垄断。刻蚀设备投资占比不断，成为半导体产业第一大设备。先进集成电路大规模生产线的投资可达100亿美元，75%以上是半导体设备投资，其中最关键、最大宗的设备是等离子体刻蚀设备。根
11、据SEMI的统计数据，2018年晶圆加工设备价值构成中，刻蚀、光刻、CVD设备占比分别为22.14%、21.30%、16.48%，刻蚀设备成为半导体产业第一大设备。过去50年中，人类微观加工能力不断提升，从电子管计算机到现在的14纳米、7纳米器件，微观器件的基本单元面积缩小了一万亿倍。由于光的波长限制，20纳米以下微观结构的加工更多使用等离子体刻蚀和薄膜沉积的组合。集成电路芯片的制造工艺需要成百上千个步骤，其中等离子体刻蚀就需要几十到上百个步骤，是在制造过程中使用次数频多、加工过程非常复杂的重要加工技术。泛林半导体占据刻蚀设备半壁江山光刻机和刻蚀机作为产业的核心装备，占据了半导体设备投资中较大
12、的份额。随着半导体技术进步中器件互连层数增多，介质刻蚀设备的使用量不断增大，泛林半导体利用其较低的设备成本和相对简单的设计，逐渐在65nm、45nm设备市场超过TEL等企业，占据了全球大半个市场，成为行业龙头。根据Gartner的数据显示，目前全球刻蚀设备行业的龙头企业仍然为泛林半导体、东京电子和应用材料三家，从市占率情况来看，2020年三家企业的合计市场份额占到了全球刻蚀设备市场的90%以上，其中泛林半导体独占44.7%的市场份额。全球龙头持续投入，加强研发、外围并购维持竞争力。应用材料于2018年6月宣布成立材料工程技术推动中心（META中心），主要目标是加快客户获得新的芯片制造材料和工艺
13、技术，从而在半导体性能、成本方面实现突破。泛林半导体依靠自身巨大的研发投入和强大的研发团队，自主研发核心技术，走在半导体设备的技术前沿，开创多个行业标准，如其KIYO系列创造了业内最高生产力、选择比等多项记录，其ALTUSMaxE系列采用业界首款低氟钨ALD工艺，被视作钨原子层沉积的行业标杆。除此之外，泛林半导体首创ALE技术，实现了原子层级别的可变控制性和业内最高选择比。三、 离子束刻蚀离子束刻蚀（IBE）是具有较强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。他能对小尺寸图型产生各向异性刻蚀，等离子体通常是由电感耦合RF源或微波源产生的。热灯丝发射快速运动的电子。氩原子通过扩散筛进入等离子体腔内。电磁
14、场环绕等离子体腔，磁场使电子在圆形轨道上运动，这种循环运动是的电子与氩原子产生多次碰撞，从而产生大量的正氩离子，正氩离子被从带格栅电极的等离子体源中引出并用一套校准的电极来形成高密度束流。离子束刻蚀主要用于金、铂、铜等较难刻蚀的材料。优势在于硅片可以倾斜以获取不同的侧壁形状。但也面临低选择比和低刻蚀速率的问题。第二章 建设单位基本情况一、 公司基本信息1、公司名称：xxx有限责任公司2、法定代表人：梁xx3、注册资本：1420万元4、统一社会信用代码：xxxxxxxxxxxxx5、登记机关：xxx市场监督管理局6、成立日期：2010-6-37、营业期限：2010-6-3至无固定期限8、注册地址
15、：xx市xx区xx9、经营范围：从事刻蚀设备相关业务（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）二、 公司简介公司依据公司法等法律法规、规范性文件及公司章程的有关规定，制定并由股东大会审议通过了董事会议事规则，董事会议事规则对董事会的职权、召集、提案、出席、议事、表决、决议及会议记录等进行了规范。 公司将依法合规作为新形势下实现高质量发展的基本保障，坚持合规是底线、合规高于经济利益的理念，确立了合规管理的战略定位，进一步明确了全面合规管理责任。公司不断强化重大决策、重大事项的合规论证审查，加强合规风险防控，确保依法管理、合规经营。严格贯彻落实国家法律法规和政府监管要求，重点领域合
