Prochina客户技术培训指南客户技术培训指南基础篇基础篇培训内容培训内容n气相沉积技术简介气相沉积技术简介n丹普公司设备简介丹普公司设备简介n安全、规范操作的注意事项安全、规范操作的注意事项n设备的基本结构设备的基本结构n设备的基本操作设备的基本操作n设备的基本维护设备的基本维护n异常处理异常处理气相沉积技术简介气相沉积技术简介n气相沉积技术属于固体表面科学的一个分支，是高新技术的重要组成部分之一n气相沉积技术可以获得微米级、纳米级的单层或多层的新材料，获得具有特殊物理性能、化学性能、力学性能的且与基材的结构、性能不同的新材料n气相沉积技术应用范围广泛，如：太阳能集热管、太阳能电池、半导体器件、光学器件、建筑和汽车挡风玻璃、工模具超硬涂层、卫生洁具、手表等的装饰层等各个领域具有相当大的生产规模n在我国，目前直接或间接从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者人数很多，跨轻工、机械、电子、能源、材料、信息、航空航天等各个行业，而且这支队伍正在迅速扩大气相沉积技术概述气相沉积技术概述n气相沉积技术包括： 化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition 简称CVD） 物理气相沉积（Physical Vapor Deposition 简称PVD） 等离子体增强化学气相沉积 （Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 简称PECVD）物理气相沉积（物理气相沉积（PVD）n定义：物理气相沉积是一种物理气相反应生长法。
沉积过程是在真空或低气压气体放电条件下，即在低温等离子体中进行的涂层的物质源是固态物质，经过“蒸发或溅射”后，在零件表面生成与基材性能完全不同的新的固体物质涂层n分类： PVD真空蒸镀：电阻蒸发镀、电子枪蒸发镀、激光蒸发镀、感应加热蒸发镀等溅射镀：二极型溅射、射频溅射、磁控溅射、反应溅射、离子束溅射等离子镀：空心阴极离子镀（HCD）、阴极电弧离子镀、热阴极离子镀等离子镀（离子镀（IP）n离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀两种镀膜技术基础上发展起来的新技术将各种气体放电方式引入气相沉积领域，整个气相沉积过程都是在等离子体中进行离子镀大大提高了膜层粒子能量，可以获得更优异性能的膜层，扩大了“薄膜”的应用领域是一项发展迅速、受人青睐的新技术n离子镀特点：镀膜时，工件（基片）带负偏压，工件始终受到高能离子的轰击所形成膜层的膜-基结合力好、膜层的绕镀性好、膜层组织可控参数多、膜层粒子总体能力高，容易进行反应沉积，可以在较低温度下获得化合物膜层磁控溅射镀（磁控溅射镀（）n磁控溅射镀属于辉光放电范畴，利用阴极溅射原理进行镀膜膜层粒子来源于辉光放电中，氩离子对阴极靶材产生的阴极溅射作用氩离子将靶材原子溅射下来后，沉积到工件上形成所需膜层。
n磁控溅射英文名称Magnetron sputtering，磁控溅射多用于沉积功能膜，一般工件不需要加偏压而在沉积硬质图层时，则工件上需要接负偏压电源，成为磁控溅射离子镀或偏压溅射丹普公司设备简介丹普公司设备简介n丹普公司从丹普公司从20002000年成立开始，在短短的年成立开始，在短短的8 8年时间里，开发出年时间里，开发出ProPower、AS和和NT三个系列的计算机自动控制离子镀膜机三个系列的计算机自动控制离子镀膜机n针对用户在实际使用设备时出现的问题和开发镀膜工艺过程中提出的要求，针对用户在实际使用设备时出现的问题和开发镀膜工艺过程中提出的要求，公司技术人员对设备各个部分进行了坚持不懈的改进和完善：增加和完善设公司技术人员对设备各个部分进行了坚持不懈的改进和完善：增加和完善设备运行状态的实时检测，提高设备运行的稳定性、精确性和可靠性，提高设备运行状态的实时检测，提高设备运行的稳定性、精确性和可靠性，提高设备的整体安全性和易维护性备的整体安全性和易维护性n2002年在意大利普罗泰克表面技术有限公司的协助和支持下，丹普公司终于年在意大利普罗泰克表面技术有限公司的协助和支持下，丹普公司终于使得使得Propower和和ASAS两个系列两个系列离子镀膜机完全达到了欧洲的离子镀膜机完全达到了欧洲的CE标准，获得了标准，获得了进入欧洲共同市场的准入证。
进入欧洲共同市场的准入证n目前，丹普公司的镀膜设备以其鲜明的特点展现在国际国内市场上目前，丹普公司的镀膜设备以其鲜明的特点展现在国际国内市场上丹普公司设备主要特点丹普公司设备主要特点n从机械和电器的设计开始，整个设备的设计和生产严格按照欧洲的CE安全标准和规范执行采用高质量进口关键元器件，最终确保设备运行的稳定性和可靠性注重设备的易维护性，减少日常维护时间n 所有的AS、ProPower和NT系列离子镀膜机均采用了PLC(下位机)+ IPC（上位机）的计算机自动控制结构中央控制柜上配有完备的手动控制面板、按钮和仪表十分友好和简单的IPC用户界面提供：镀膜工艺菜单的准备和管理；设备实时监控和报警帮助；物理参数实时自动纪录，等等整个镀膜系统具有极好的运行可靠性、过程控制的精度、镀制膜层质量的一 致性和色泽的重复性n多项丹普的专利技术和独有技术，保证各种膜层的应用，达到最佳的镀膜效果以后会提到）安全、规范操作的注意事项（安全、规范操作的注意事项（1）n由于安全的原因和CE规范的要求，要始终关闭并锁好所有中央控制柜、电源柜、真空室底架以及服务柜的门，要关闭并装好其上所有的盖板n设备操作人员不能打开和拆卸所有电源、中央控制柜、真空室底架、电缆连接箱上的盖板，还有位于设备顶盖上的转架盖以及转架电机和所有的电机终端箱。
n如果需要维护，首先要关闭中央控制柜前面板上的空气开关，然后才能打开它的前门或拆卸它的护板，以及服务柜上的电气连接箱的侧门，真空底架上的盖板，还有所有泵电机上的电缆接线盒；n真空室两侧护板、真空室底架侧板上以及转架罩上都有警告标识：高压、380vAC或220vAC首先要先关闭功率输出控制板（A2）上和它们相关的电源柜上的空开，才能打开它们的前门或盖板安全、规范操作的注意事项（安全、规范操作的注意事项（2）n维护人员还要小心功率输出板下方UPS上的220vAC输出电当总电源被切断后，UPS仍能持续送电10分钟或更长的时间所有经UPS输出的端子上都带有特殊的220vAC的警告标志，这点已经在设备说明书的安全事由中特别说明n不允许因为任何原因而更改PLC应用程序，如果应用程序中有任何问题，请与丹普联系n如果发现有任何的异常状况，在不十分确定的情况下，一定要立即联系丹普公司的售后服务部门丹普的售后服务工程师会在最短的时间内给出正确的处理意见，帮助解决问题一定不可擅自改变设备的结构等，使得小问题变为大问题，造成额外的损失n其他事项请严格按照设备使用说明书的要求执行，因任何不符合说明书要求引起的设备损坏，丹普公司有权不进行保修服务。
设备的基本结构设备的基本结构n真空系统真空系统n反应气体供气系统反应气体供气系统n冷却水系统冷却水系统n压缩空气系统压缩空气系统n丹普公司设备真空系统示意图丹普公司设备真空系统示意图真空系统真空系统标号标号含义含义C真空室P1粗抽泵P2前级泵p3罗茨泵P4分子泵或扩散泵V1上位阀V2下位阀V3高阀V4节流阀V5放气阀G1热偶规G2热偶规G3电离规B1波纹管B2波纹管真空获得（泵）系统真空获得（泵）系统n常用的几种泵常用的几种泵n粗抽泵：粗抽泵：LEYBOLD公司的公司的SV200、SV300n罗茨泵：罗茨泵：LEYBOLD公司的公司的WAU501、WAU1001 上海翠曼公司的上海翠曼公司的n前级泵：前级泵：LEYBOLD公司的公司的D16C 北仪优成公司的北仪优成公司的TRP-24n分子泵：分子泵：KYKY公司的公司的FD400-3500 LEYBOLD公司的公司的T1600 VARIAN公司的公司的Turbo-V 2K-G粗抽泵粗抽泵（SV200、SV300）n（请仔细阅读产品使用说明书）nSV200和SV300是由德国莱宝公司生产的单极油封式旋片机械真空泵可以在大气条件下或任何真空条件下工作，但是他们只能抽至低真空。
n电机接线后以及每当更换接线后，要检查电机的旋转方向，电机的旋转方向要与电机罩上的方向箭头一致检查时应打开出气口如果要修改泵的旋转方向，切断电源，互换任意两相接线即可n为避免电机超载，在1小时内启动泵的次数不得超过6次n建议：当真空室含有较多水气时，可让泵空转20分钟左右，待泵温升高后再抽真空，可避免或减少水气在泵内的凝结n操作者应使泵腔内的泵油始终保持处于油窗范围内，运行中的泵油位必须始终位于油位玻璃窗的中间位置一般来说油是清澈透明的，如果油变的特别黑（脏了）或淡牛奶色（混入了水），应该更换油n按照随机说明书对泵进行定期换油保养首次换油大约在运行150小时后进行，以后相继的换油大约在运行1000小时或3个月后进行，特别注意更换的泵油必须与机械泵的型号相符合SOGEVAC应使用LEYBOLD公司提供的GS77油，或上海惠丰公司HFV-A200油n如果任何一个机械泵有异常的声音，要求一个有经验的技术人员要能立即诊断并发现问题，报告给丹普公司，操作人员不建议自行进行机械泵泵体的维修或维护换油的步骤换油的步骤n一定要在停泵后仍处于工作温度时换油一定要在停泵后仍处于工作温度时换油n具体步骤：具体步骤：停止设备，切断电源；停止设备，切断电源；拧掉排油螺栓，让用过的油排入适当的容器；拧掉排油螺栓，让用过的油排入适当的容器；放油时当油量减少时，将排油螺栓拧上，短暂启动泵（放油时当油量减少时，将排油螺栓拧上，短暂启动泵（1010秒以内），然后把泵秒以内），然后把泵停掉；停掉；再将排油螺栓拧掉，排除剩余的油；再将排油螺栓拧掉，排除剩余的油；重新装好排油螺栓（检查重新装好排油螺栓（检查O型圈，必要时用新的更换它）；型圈，必要时用新的更换它）；打开注油螺栓，注入新油至油位窗下边缘，让泵短时间运转，以便用充入的新打开注油螺栓，注入新油至油位窗下边缘，让泵短时间运转，以便用充入的新油冲洗泵，然后再把油放掉；油冲洗泵，然后再把油放掉；再注入新油，油位大约在油位窗中间靠上位置，然后拧紧注油螺栓；再注入新油，油位大约在油位窗中间靠上位置，然后拧紧注油螺栓；开启设备，启动泵运行开启设备，启动泵运行2020分钟，观察油位窗，油位大约在油位窗中间位置为宜。
分钟，观察油位窗，油位大约在油位窗中间位置为宜前级泵前级泵（D16C、TRP-24）n前级泵的开启由分子泵的启动按钮“TURBO控制，当按下分子泵TURBO按钮，预加速分子泵时，前级泵即启动，抽分子泵的前级真空n前级泵的关闭由LOCK开关控制，当关闭、降速分子泵时，前级泵还会继续工作一段时间，然后设备会自动切断前级泵，或者您可以手动关闭LOCK开关，切断前级泵n维护的要点及换油的步骤请参照粗抽泵的相关项目n注意：我们设备的前级泵一般要求使用LEYBOLD公司的N62油，或者上海惠丰公司的HFV-M200油罗茨泵罗茨泵（WAU501、1001、RTO.150S）罗茨泵罗茨泵（WAU501、1001、RTO.150S）n罗茨泵的主要意义是，在一定的压强范围内（1Pa）有相当大的抽气速率在这个范围中，机械泵的抽速很小，而分子泵和扩散泵还只刚刚开始工作，所以用它来解决机械泵和分子泵、扩散泵抽气速率脱节的问题罗茨泵被用来加快抽真空的过程由于可凝性气体对泵没有影响，所以在潮湿的夏季里，在低真空阶段，罗茨泵要比单用旋片机械泵更有效的排出真空室里的水汽n它由一个变频器（FIP2）驱动按预设的旋转速度加快整个过程（专利技术）。
运用这一技术，罗茨泵可以更平稳、更有效地工作，并延长使用寿命只针对）罗茨泵罗茨泵（WAU501、1001、RTO.150S）注意事项：n从变频器连接到泵电机上的四芯输出电缆是标准电缆根据CE规范，如果最终用户想延长电缆长度，必须要征得设备制造商得许可n罗茨泵由一个变频器（FIP2）驱动，同时FIP2电源输入端。