真空测量习题

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1、复 习 题1. 解释下式名词术语:真空计,绝对真空计,相对真空计,直接测量, 间接测量。解释质谱计的如下性能参数:质量范围,分辨能力,灵敏度,最小可检分压力,分压比灵敏度2. 选择真空计的主要原则是哪些?3. 降低 U 型计的测量下限有哪些措施及方法?4. 说明压缩式真空计的测量范围及扩展其测量上、下限的措施。5. 试以真空中热丝的三种换热方式说明热传导真空计的工作原理。 6. 说明影响热传导真空计测量上、下限的因素,如何扩展其压力测量范围?7. 热传导真空计的优缺点是什么? 8. 气体种类不同对热传导真空计测量的影响是什么? 9. 一台电离真空计的发射电流 Ie5mA,在压力 p=110-3

2、Pa 的 H2 中测得离子流 Ii3.7510 -7A,若电离计对 H2 的相对灵敏度为 0.5,试求在 p = 110 4 Pa 的 N2 气时可测得的离子流。10. 一台电离真空计使用 DL-2 型规管,当被测气体是空气,且压力p=110 -2Pa 时,测得离子流 Ii = 7.510 -6A, 求规管对空气的规系数 K 是多少? (发射电流 Ie = 5mA) 若 He 气相对于空气的相对灵敏度 Sr = 0.17,求DL-2 规管对 He 气的规系数 KHe 。11. 一台来启封的 DL-2 电离真空规,当用电离真空计电源对其进行测试时,发现读数并不稳定,起初读数越来越大,测了几小时以

3、后读数越来越小。请解释这一现象。12. 一台 B-A 型电离真空计,其发射电流 Ie =100A,在压力 p=1l0-5Pa 时测得的离子流 Ii1.1l0-11A,求此时规管中每个电子平均产生的离子流。13. 说明下列真空计的工作原理、特点及压力测量范围:弹性元件真空计;电容式薄膜真空计;振膜式真空计;放射性电离真空计。14. 一台四极质谱计的高频电压频率 f = 3MHz,四极场场半径 r04mm,试求质量范围为 1100u 时所对应的 U、V 值。15. 试述回旋质谱计、射频质谱计和飞行时间质谱计的质量分离原理。 16. 某膨胀法校准系统, 校准室容积 V=2500cm3,内部已抽至 1

4、10-4 Pa真空,传递阀容积 Vs =1cm3 ,为了使被校的热导规在第一次膨胀后压力正好为 110-1 Pa,求与传递阀相连的稳压室的初始压力。17. 说明动态流导法的校准原理及特点,并绘图说明。18. 导致电离真空计测量误差的主要因素有哪些? 如何减小其影响?19. 一台真空镀膜机,真空室出口处系统对其有效抽速为 150L /s,要求真空室工作压力为 110-3Pa,求此镀膜机最大允许漏率。20. 一只电子管的容积 V = 0.1L,封离时的压力为 110-4Pa,假设内部没有放气源也没安装消气剂,经过 1000h 之后管内压力不应高于 110-3Pa,则该电子管所允许的最大漏率为多少?

5、 1.解释术语:气密性,漏孔,最佳检漏灵敏度,有效检漏灵敏度,真空法检漏,充压法检漏,背压法检漏,标准漏孔。2.如何以静态升压法判断系统漏气?3.漏孔漏率是如何定义的?4.试述以下检漏方法的原理、特点及最小可检漏率:气泡检漏法,氨检漏法,真空计检漏法,离子泵检漏法。5.为什么用质谱计检漏时多用 He 作探索气体?6.试述氦质谱检漏仪的质谱室结构、电气线路框图、真空系统的组成元件及功能。7.试述氦质谱检漏仪的检漏方法及其检漏灵敏度。8.试述火花检漏仪、卤素检漏仪的结构、工作原理和特点。9.有一台单级 180o磁偏转型氦质谱检漏仪,磁分析器离子轨道半径R3cm,加速电压调节范围为 100500V,磁场为 B0.14T,求此仪器的氦峰。该仪器能否用氢气检漏?(基本电荷 e1.610 19 C,离子质量m1.6610 27 Mkg, M 为离子质量数)

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