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1、Dry pump,设备部 技术三科 沈吉,真空定义,真空是在某个区域压力低于大气压 真空范围 低真空(Low or Rough Vacuum -LV): -760to10-3Torr 高真空(High Vacuum -HV) -103to10-8Torr 超真空(Ultra-High Vacuum UHV) -10-8to10-12Torr,2,真空Pump工作范围,在ETCH和Thinfilm设备通常用Dry pump &Turbo pump将大气抽至一定真空符合process工艺需求。由于Dry pump抽真空能力有限,在 ATM-500mT之间表现良好,然后用Turbo pump 将环境
2、抽至High Vacuum。,3,Kashiyama Dry Pump,Comparison of Pumping Mechanism,4,Kashiyama Dry Pump,Comparison of Pumping Temperature,5,Pump运转的五个要素&故障原因,1 水6-8L/min 2 氮气(GN216-22pam3/sec) 3 电源(200V220V) 4 气密良好之前端管路 5 吸风良好之Exhaust管路 Pump的故障可以分为三种:1,Alarm, pump仅显示故障并告之连线机台但pump并不停机。2,Trip:pump显示故障信号告之连线机台,Pump立即
3、停机。3,Error:电装置发生故障或pump内部连线松脱,Pump立即停机。其原因可能为BP Motor电流高 MP Motor 电流过高,Casing 的温度过高,BP 或MP Motor 过载,Seal N2或DIL N2流量过低,Pump box温度过高。 对于BP or MP温度过高,可能由以下原因引起的:1,Exhaust压力升高。2,电力供应有问题。3,生成物堆积。4,冷却水减少。5,齿轮坏掉。 对于Casing(130deg.c)温度过高,可能由以下原因引起:1,Exhaust压力升高。2,电力供应有问题。3,生成物堆积。4,接头处气体流通不畅。,6,Kashiyama pum
4、p,转子底部排气的间隙宽阔【6mm】,生成物徐徐刮向排气侧,短捷的排气路径【180mm】,在真空侧没有轴承的支撑,螺旋转子 螺旋式转子具有的高温特性耐腐蚀性的材质,Inlet,ROTOR.CASING共同使用、具有非常耐腐蚀特性的Ni合金材料合金材、再于表面进行Ni-Coating 处理进一步发挥了耐腐蚀性的性能!,竖式螺旋转子: 针对产生大量生成物的严酷制成用,7,转子排气侧的间隙宽阔,H=6mm,具有克服生成物沉积, 和容易再启动强的优越性,具有刮除生成物的效果 根据矩形直角的特点,Screw rotor在高速运转时可将附着在Casing上的生成物徐徐刮向排气侧而容易被排除,高温的Roto
5、r特性 因为真空室温度较高,所以反应气体很难附着,Rotor温度180度,Exhaust gas 温度200,8,鲁式泵: 根据同期马达和单纯的本体构造、实现了节省能源和耐久性的双向要求。,Motor + Motor Driver 以同期马达加驱动器的组合,达到了精密控制转速的可能、从而获得以下的优越性。 实现在大气状态开始时的驱动 节省能源 严密性的提高 小型化,Gear,Roots Rotor,9,排气原理,10,MU Dry series,MU Dry series Dry pump比以前的Dry pump实现极限小型化 轻量化省能量化,以对应装置组合(On tool)用轻负荷所开发的Dry pump。 特点 )Pump构造及采用同步Motor相比实现了小型化(我社容积比:75)、 轻量化(我社比:60%)。 )以Pump构造的最适化实现了冷却水(我社比:50%)、N使用量 (Clean排气用时不用)等能量的减少。 )以采用Motor driver大幅减少了Pump启动时的突入电流。 在电源频率为地域也是同一性能。,11,MU DRY Series,MU DRY Series 以On Tool目的超小型省Energy pump。 (他社容积比1/2,重量1/2),12,On Tool化的优点(配管Conductance的影响),13,