电感耦合等离子体电感耦合等离子体-质谱法质谱法Inductively Coupled Plasma – Mass Spectrometry(ICP-MS)同时测定痕量多元素的无机质谱技术同时测定痕量多元素的无机质谱技术 目录目录nICP-MSICP-MS的起源和发展的起源和发展nICP-MSICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 1. 1. 电感耦合等离子体电感耦合等离子体 2. ICP2. ICP与与MSMS的接口的接口(Interface)(Interface) 3. 3. 质谱仪质谱仪 4. ICP-MS4. ICP-MS样品引入系统（进样方式）样品引入系统（进样方式） 5. 5. 质谱图及其干扰质谱图及其干扰nICP-MSICP-MS分析应用分析应用n总结：总结：ICP-MSICP-MS方法的性能及特点方法的性能及特点 ICP-MS的起源和发展的起源和发展1、、1960s~70s，，问题的提出问题的提出²电感耦合等离子体电感耦合等离子体-原子发射光谱技术原子发射光谱技术 (ICP-AES)²火花源无机质谱用于痕量元素分析火花源无机质谱用于痕量元素分析 (SSMS) 优点优点：痕量多元素同时测定分析速度快、样品引入简单缺点：缺点：光谱干扰严重优点：优点：谱图简单，分辨率适中，检出限低缺点：缺点：样品制备困难，分析速度慢常规离子源效率低ICP-AES + SSMS ICP-MS Ø分析速度：4~6个样品/小时Øm/z记录范围：6~238（Li~U）Ø单同位素元素灵敏度：0.1mg/gØ精度：~ 25%Ø全质量范围内的自动扫描Ø操作者对离子源的控制程度尽可能小Ø应用范围：地质研究2. ICP-MS最初的性能设计要求最初的性能设计要求 (1971, 3)Key Point: 连续高压离子源和质谱真空室之间的接口技术连续高压离子源和质谱真空室之间的接口技术ICP-MS的起源和发展的起源和发展 3. 元素分析的质谱时代元素分析的质谱时代n1980，，Houk & Fassel首次发表首次发表ICP-MS联用技术的工作联用技术的工作 (两级真空接口技术，两级真空接口技术，Ames Lab., Iowa Univer., USA)n1983, “匹兹堡化学年会匹兹堡化学年会”，第一台，第一台ICP-MS商品仪面世商品仪面世 (Elan 250, Sciex)n1990，， “It has truly become a technique for MASSES” (Dr. Koppenaal)n2000，，全世界共有全世界共有3500~4000台台ICP-MS仪器仪器国内：国内：中国科技大学，南京大学，中山大学，南开大学，北京大学，中国地质大学，北京科技大学，浙江大学，厦门大学；中科院高能物理所，广州地化所，长春应化所，生态环境研究所，国家标准物质研究中心，北京有色金属研究总院，国家地质中心，原子能所……ICP-MS的起源和发展的起源和发展 ICP-MS检测限及质量分析范围检测限及质量分析范围ICP-MS的起源和发展的起源和发展 ICP－－MS分析性能分析性能n测定对象：测定对象：绝大多数金属元素和部分非金属元素n检测限：检测限：110-5(Pt) ~ 159(Cl) ng/mLn分析速度分析速度：> 20 samples per hourn精度：精度：RSD < 5%n离子源稳定性：离子源稳定性：优良的长程稳定性n自动化程度：自动化程度：从进样到数据处理的全程自动化和远程控制n应用范围：应用范围：地质、环境、冶金、生物、医药、核工业n可测定同位素的比率ICP-MS的起源和发展的起源和发展 n原子质谱分析包括下面几个步骤：原子质谱分析包括下面几个步骤：n原子化原子化n将原子化的原子大部分转化为离子将原子化的原子大部分转化为离子n离子按照质荷比分离离子按照质荷比分离n计数各种离子的数目计数各种离子的数目ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理ICP-MS主要分为以下几类：四极杆主要分为以下几类：四极杆ICP-MS 高分辨高分辨ICP-MS（磁质谱）（磁质谱） ICP-TOF-MS。
Basic Instrumental Components of ICP-MS进样系统进样系统等离子体源等离子体源接口接口质谱仪质谱仪ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理进样系统进样系统等离子体源等离子体源接口接口质谱仪质谱仪A Typical ICP-MS in 1990s (PE, PlasmaQuad II) ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理A Typical ICP-MS Laboratory in 2000s (PE, Sciex ELAN 6000) n样品通过离子源离子化，形成离子流，通过接口进入真样品通过离子源离子化，形成离子流，通过接口进入真空系统，在离子镜中，负离子、中性粒子以及光子被拦空系统，在离子镜中，负离子、中性粒子以及光子被拦截，而正离子正常通过，达到聚焦效果在分析器中，截，而正离子正常通过，达到聚焦效果在分析器中，仪器通过改变分析器参数的设置，仅使我们感兴趣的核仪器通过改变分析器参数的设置，仅使我们感兴趣的核质比的元素离子顺利通过并且进入检测器，在检测器中质比的元素离子顺利通过并且进入检测器，在检测器中对进入的离子个数进行计数，得到了最终的元素的含量。
对进入的离子个数进行计数，得到了最终的元素的含量ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 离子源 接口 离子镜 分析器 检测器 1. 电感耦合等离子体电感耦合等离子体n等离子体的一般概念等离子体的一般概念n等离子体等离子体指的是含有一定浓度阴阳离子能够指的是含有一定浓度阴阳离子能够导电的气体混合物在等离子体中，阴阳离导电的气体混合物在等离子体中，阴阳离子的浓度是相同的，净电荷为零子的浓度是相同的，净电荷为零n通常用通常用氩氩形成等离子体氩离子和电子是主形成等离子体氩离子和电子是主要导电物质一般温度可以达到要导电物质一般温度可以达到10,000KICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 n电感耦合等离子体物理构件1.石英炬管 (Fassel型)2.耦合负载线圈 （2~3圈水冷细铜管）1.射频发生器（提供能量）2.Tesla线圈（点火装置）ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 冷却气：等离子体支持气体，保护管壁冷却气：等离子体支持气体，保护管壁辅助气：保护毛细管尖辅助气：保护毛细管尖雾化气：进样并穿透等离子体中心雾化气：进样并穿透等离子体中心（常用（常用Ar, N2, He等惰性气体）等惰性气体） 石英炬管及载气石英炬管及载气由三个同心石英管组成，三股氩气流由三个同心石英管组成，三股氩气流分别进入炬管。
分别进入炬管ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 nICP焰炬的形成焰炬的形成n形成稳定形成稳定ICPICP焰炬三个条件：高频电焰炬三个条件：高频电磁场、工作气体以及能维持气体稳定磁场、工作气体以及能维持气体稳定放电的石英炬管放电的石英炬管n在管子的上部环绕着一水冷感应线圈，在管子的上部环绕着一水冷感应线圈，当高频发生器供电时，线圈轴线方向当高频发生器供电时，线圈轴线方向上产生强烈振荡的磁场用高频火花上产生强烈振荡的磁场用高频火花等方法使中间流动的工作气体电离，等方法使中间流动的工作气体电离，产生的离子和电子再与感应线圈所产产生的离子和电子再与感应线圈所产生的起伏磁场作用，这一相互作用使生的起伏磁场作用，这一相互作用使线圈内的离子和电子沿图市所示的封线圈内的离子和电子沿图市所示的封闭环路流动；它们对这一运动的阻力闭环路流动；它们对这一运动的阻力则导致欧姆加热作用由于强大的电则导致欧姆加热作用由于强大的电流产生的高温，使气体加热，从而形流产生的高温，使气体加热，从而形成火炬状的等离子体成火炬状的等离子体ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 n等离子体工作原理等离子体工作原理(b) 加电磁场加电磁场(a) 通气通气点点火火(c)(d) 碰撞电离碰撞电离(e) 形成形成ICPICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 样品溶液在样品溶液在ICP中的历程中的历程气溶胶气溶胶 M(H2O)+X-固体固体 (MX)n气体气体 MX原子原子 M离子离子 M+InductionzoneICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 2. ICP与与MS的接口的接口(Interface)n离子的提取采样锥采样锥(sampling cone)截取锥截取锥(skimmer cone)n离子的聚焦离子透镜组离子透镜组n真空系统 一个机械泵一个机械泵 一个分子涡轮泵一个分子涡轮泵ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 离子的提取离子的提取ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理采样锥采样锥截取锥截取锥采样锥采样锥截取锥截取锥 离子透镜组的聚焦作用离子透镜组的聚焦作用截取锥后正离子之间的排斥作用截取锥后正离子之间的排斥作用ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理在截取锥之后，正离子之在截取锥之后，正离子之间的排斥作用会使得整个间的排斥作用会使得整个离子束发散。
其中质量较离子束发散其中质量较大、动能较大的正离子集大、动能较大的正离子集中在离子束中央区域，而中在离子束中央区域，而质量较小、动能较小的正质量较小、动能较小的正离子则被排斥到边缘区域离子则被排斥到边缘区域为了解决这个问题，必须为了解决这个问题，必须使用离子透镜组对他们进使用离子透镜组对他们进行聚焦 ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理离子透镜组的作用机制离子透镜组的作用机制离子透镜是一组电极，在离子离子透镜是一组电极，在离子束通过的地方形成具有双曲线束通过的地方形成具有双曲线特征的电势等高线，从而实现特征的电势等高线，从而实现正离子聚焦和偏转，电子在此正离子聚焦和偏转，电子在此过程中被发散右图中前三组过程中被发散右图中前三组透镜用于离子束聚焦，后两组透镜用于离子束聚焦，后两组用于离子束偏转与离子束一用于离子束偏转与离子束一起过来的光子和中性分子被金起过来的光子和中性分子被金属板挡住后，由与质谱相连的属板挡住后，由与质谱相连的第三级真空系统抽走这样进第三级真空系统抽走这样进入质量分析器的就只有正离子入质量分析器的就只有正离子离子镜主要目的是去除电子和中性微粒的影响，对正电子实现聚焦。
离子镜主要目的是去除电子和中性微粒的影响，对正电子实现聚焦 3. 质谱仪质谱仪射频和直流电场同时作用下的振动滤质器射频和直流电场同时作用下的振动滤质器ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理四四极极杆杆质质谱谱 双聚焦扇形磁场质谱双聚焦扇形磁场质谱 N. Jakubowskia et. al., Spectrochimica Acta 53B (1998) 1739–1763方向聚焦和动能聚焦Ø扇形磁场偏转分离Ø静电分析器消除相 同质量离子间的动能差别具有更高的分辨率ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 飞行时间质谱飞行时间质谱 (Time-of-flight MS)M. Balcerazak, Analytical Sciences 19(2003) 979-989Ø各离子动能相同，飞行速度不同Ø分析速度远大于四极杆质谱ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 4. ICP-MS样品引入系统（进样方式）样品引入系统（进样方式）固体固体激光烧蚀激光烧蚀氢化物氢化物ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 雾化器雾化器高速气流在毛细管尖形成高速气流在毛细管尖形成负压，带动样品溶液从管负压，带动样品溶液从管尖喷出雾化为小液滴尖喷出雾化为小液滴雾室雾室液滴与雾室内壁碰撞，较液滴与雾室内壁碰撞，较大的液滴聚集为废液流出；大的液滴聚集为废液流出；较小的液滴分散为气溶胶较小的液滴分散为气溶胶进入进入ICPMeinhard同心玻璃雾化器同心玻璃雾化器n对液体试样的雾化对液体试样的雾化ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 n流动注射进样流动注射进样(a) Sampling(b) InjectionØ样品用量少样品用量少Ø对溶液对溶液TDS和粘度和粘度要求不高要求不高Ø设备简单灵活设备简单灵活ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 n氢化物发生氢化物发生/ /气体发生进样气体发生进样优点: ~100%传输率； 与溶液基体充分分离； 具有预富集的效果 氢化物发生器M + NaBH4 MHn + BH3 + Na+ (M=As, Bi, Ge, Pb, Sb, Se, Sn, Te , Cd, Hg*)ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 n电热蒸发直接进样电热蒸发直接进样Ø进样量少Ø传输率高(>60%)Ø可预先除去溶剂Ø可预先除去基体F. Vanhaecke et. al. Anal Bioanal Chem. 17(2002), 933-943ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 仪器原理优点：优点：原位无损分析重现性好，线性范围宽适用样品类型多（钢铁、陶瓷、矿物、核材料、食品）缺点：缺点：检测限较差基体干扰严重定量校准方法不理想 D. GuntherU et. Al., Spectrochimica Acta Part B 54 1999 381-409n激光烧蚀法激光烧蚀法——原位原位(in situ)探测技探测技术术ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 5. 质谱图及其干扰质谱图及其干扰nICP-MS的图谱非常简单，容易解析和解的图谱非常简单，容易解析和解释。
但是也不可避免的存在相应的干扰问释但是也不可避免的存在相应的干扰问题，主要包括题，主要包括光谱干扰光谱干扰和和基体效应基体效应两类n光谱干扰和基体效应一般来讲可以通过相光谱干扰和基体效应一般来讲可以通过相应的手段加以抑制和降低，但难以完全消应的手段加以抑制和降低，但难以完全消除因而在实际工作中要有针对性的采取除因而在实际工作中要有针对性的采取各种方法提高分析准确性各种方法提高分析准确性ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 光谱干扰：光谱干扰：n当等离子体中离子种类与分析物离子具有相当等离子体中离子种类与分析物离子具有相同的质荷比，即产生光谱干扰同的质荷比，即产生光谱干扰n光谱干扰有四种光谱干扰有四种•同质量类型离子同质量类型离子•多原子或加和离子多原子或加和离子•氧化物和氢氧化物离子氧化物和氢氧化物离子•仪器和试样制备所引起的干扰仪器和试样制备所引起的干扰ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 u同质量类型离子干扰同质量类型离子干扰 同质量类型离子干扰是指两种不同元素有几乎相同质量类型离子干扰是指两种不同元素有几乎相同质量的同位素对使用四极质谱计的原子质谱仪来同质量的同位素。
对使用四极质谱计的原子质谱仪来说，同质量类指的是质量相差小于一个原于质量单位说，同质量类指的是质量相差小于一个原于质量单位的同位素使用高分辨率仪器时质量差可以更小些的同位素使用高分辨率仪器时质量差可以更小些周期表中多数元素都有同质量类型重叠的一个、二个周期表中多数元素都有同质量类型重叠的一个、二个甚至三个同位素甚至三个同位素 如：铟有如：铟有113In+和和115In+两个稳定的同位素两个稳定的同位素 前者与前者与113Cd+重叠，后者与重叠，后者与115Sn+重叠 因为同质量重叠可以从丰度表上精确预计．此干扰因为同质量重叠可以从丰度表上精确预计．此干扰的校正可以用适当的计算机软件进行现在许多仪器的校正可以用适当的计算机软件进行现在许多仪器已能自动进行这种校正已能自动进行这种校正ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 u多原子离子干扰多原子离子干扰§多原子离子多原子离子(或分子离子或分子离子)是是ICPMS中干扰的主要来源中干扰的主要来源一般认为，多原子离子并不存在于等离子体本身中，一般认为，多原子离子并不存在于等离子体本身中，而是在离子的引出过程中。
由等离子体中的组分与基而是在离子的引出过程中由等离子体中的组分与基体或大气中的组分相互作用而形成体或大气中的组分相互作用而形成§氢和氧占等离子体中原子和离子总数的氢和氧占等离子体中原子和离子总数的30％左右，余％左右，余下的大部分是由下的大部分是由ICP炬的炬的氩氩气产生的气产生的ICPMS的背景的背景峰主要是由这些多原子离子结出的．它们有两组：以峰主要是由这些多原子离子结出的．它们有两组：以氧为基础质量较轻的氧为基础质量较轻的—组和以组和以氩氩为基础较重的一组，为基础较重的一组，两组都包括含氢的分子离子两组都包括含氢的分子离子§例：例：16O2+干扰干扰32S+ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 u 氧化物和氢氧化物离子干扰氧化物和氢氧化物离子干扰 另一个重要的干扰因素是由另一个重要的干扰因素是由分析物分析物、、基体组分基体组分、溶剂、溶剂和等离子气体等形成的氧化物和氢氧化物它们几乎都会和等离子气体等形成的氧化物和氢氧化物它们几乎都会在某种程度上形成在某种程度上形成MO+和和MOH+离子，离子，M表示分析物或基表示分析物或基体组分元素，有可能产生与某些分析物离子峰相重叠的峰。
体组分元素，有可能产生与某些分析物离子峰相重叠的峰 例如钛的例如钛的5种天然同位素的氧化物质量数分别为种天然同位素的氧化物质量数分别为62、、63、、64、、65和和66，干扰分析，干扰分析 62Ni + 、、63Cu+、、64Zn+、、65Cu+和和66Zn+ 氧化物的形成与许多实验条件有关，例如进样流速、氧化物的形成与许多实验条件有关，例如进样流速、射频能量、取样锥一分离锥间距、取样孔大小、等离子气射频能量、取样锥一分离锥间距、取样孔大小、等离子气体成分、氧和溶剂的去除效率等调节这些条件可以解决体成分、氧和溶剂的去除效率等调节这些条件可以解决些特定的氧化物和氢氧化物重叠问题些特定的氧化物和氢氧化物重叠问题ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 u 仪器和试样制备所引起的干扰仪器和试样制备所引起的干扰§等离子体气体通过采样锥和分离锥时，活泼性氧离子会等离子体气体通过采样锥和分离锥时，活泼性氧离子会从锥体镍板上溅射出镍离子采取措施使等离子体的电从锥体镍板上溅射出镍离子采取措施使等离子体的电位下降到低于镍的溅射闭值，可使此种效应减弱甚至消位下降到低于镍的溅射闭值，可使此种效应减弱甚至消失。
失§痕量浓度水平上常出现与分析物无关的离子峰，例如在痕量浓度水平上常出现与分析物无关的离子峰，例如在几个几个ng·mL-1的水平出现的铜和锌通常是存在于溶剂酸的水平出现的铜和锌通常是存在于溶剂酸和去离子水中的杂质因此，进行超纯分析时，必须使和去离子水中的杂质因此，进行超纯分析时，必须使用超纯水和溶剂最好用硝酸溶解固体试样，因为氮的用超纯水和溶剂最好用硝酸溶解固体试样，因为氮的电离电位高，其分子离子相当弱，很少有干扰电离电位高，其分子离子相当弱，很少有干扰ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 基体效应：基体效应： ICP-MS中所分析的试样，中所分析的试样，—般为固体含量其质量分数小般为固体含量其质量分数小于于1％，或质量浓度约为％，或质量浓度约为1000ug.mL-1的溶液试样当溶液的溶液试样当溶液中共存物质量浓度高于中共存物质量浓度高于500—1000ug.mL-1 时，时，ICPMS分析分析的基体效应才会显现出来共存物中含有低电离能元素例如的基体效应才会显现出来共存物中含有低电离能元素例如碱金属、碱土金属和镧系元素且超过限度由它们提供的等碱金属、碱土金属和镧系元素且超过限度。
由它们提供的等离子体的电子数目很多，进而抑制包括分析物元素在内的其离子体的电子数目很多，进而抑制包括分析物元素在内的其它元素的电离，影响分析结果试样固体含量高会影响雾化它元素的电离，影响分析结果试样固体含量高会影响雾化和蒸发溶液以及产生和输送等离子体的过程试样溶液提升和蒸发溶液以及产生和输送等离子体的过程试样溶液提升量过大或蒸发过快，等离子体炬的温度就会降低，影响分析量过大或蒸发过快，等离子体炬的温度就会降低，影响分析物的电离，使被分析物的响应下降、基体效应的影响可以采物的电离，使被分析物的响应下降、基体效应的影响可以采用稀释、基体匹配、标准加入或者同位素稀释法降低至最小用稀释、基体匹配、标准加入或者同位素稀释法降低至最小ICP-MS系统组成及工作原理系统组成及工作原理 n ICP-MS可可以以用用于于物物质质试试样样中中一一个个或或多多个个元元素素的的定定性性、、半半定定量量和和定定量量分分析析：：ICPMS可可以以测测定定的的质质量量范范围围为为3～～300原原子子单单位位，，分分辨辨能能力力小小于于1原原子子单单位位，，能能测测定定周周期期表表中中90％％的的元元素素，，大大多多数数检检测测限限在在0.1～～10 ug.mL-1范范围围且且有有效效测测量量范范围围达达6个个数数量量级级, 标标淮淮偏偏差差为为2％％～～4％％。
每每元元素素测测定定时时间间10秒秒．．非非常常适适合合多元素的同时测定分析多元素的同时测定分析ICP-MS分析应用分析应用 n定性和半定量分析定性和半定量分析n定量分析定量分析 工作曲线法工作曲线法 内标法内标法 同位素稀释法同位素稀释法n形态分析法形态分析法n同位素比测量同位素比测量ICP-MS分析应用分析应用 同位素稀释法同位素稀释法n原理：原理：在样品中掺入已知量的某一被测元素的浓缩同位素后，测定该在样品中掺入已知量的某一被测元素的浓缩同位素后，测定该浓缩同位素与该元素的另一参考同位素的信号强度的比值变化浓缩同位素与该元素的另一参考同位素的信号强度的比值变化 定量依据：定量依据： CX = [MSK(AS-BSR)]/[W(BR-A)] CX: 样品中被测元素的浓度样品中被测元素的浓度; MS: 掺入物的质量掺入物的质量; W: 样品质量样品质量; K: 被测元素原子量与浓缩物原子量的比值被测元素原子量与浓缩物原子量的比值; A: 参考同位素的天然丰度参考同位素的天然丰度; B: 浓缩同位素的天然丰度浓缩同位素的天然丰度; AS: 参考同位素在浓缩物中的丰度参考同位素在浓缩物中的丰度; BS: 浓缩同位素在浓缩物中的浓缩同位素在浓缩物中的丰度丰度; R: 加入浓缩物后样品中参考同位素和浓缩同位素的比值加入浓缩物后样品中参考同位素和浓缩同位素的比值ICP-MS分析应用分析应用 n实验步骤实验步骤1. 测定未加浓缩同位素稀释剂的样品测定未加浓缩同位素稀释剂的样品 估计被测成分的浓度，计算需要加入的浓缩同位素的量估计被测成分的浓度，计算需要加入的浓缩同位素的量MS；；2. 在样品中加入浓缩同位素稀释剂，其中在样品中加入浓缩同位素稀释剂，其中AS和和BS值已知，计算值已知，计算K值值 3. 测定测定“改变了的改变了的”同位素比值同位素比值R 4. 计算样品中被测元素的浓度计算样品中被测元素的浓度CX。
优点：优点：Ø迄今为止最准确的元素分析方法之一迄今为止最准确的元素分析方法之一Ø不受化学和物理因素的干扰；不受化学和物理因素的干扰；Ø不受样品基体干扰和分析方法干扰不受样品基体干扰和分析方法干扰Ø可用于元素的形态分析可用于元素的形态分析 缺点：缺点：Ø不能用于单同位素分析不能用于单同位素分析Ø测定前需要进行预分析测定前需要进行预分析Ø同位素稀释剂价格昂贵同位素稀释剂价格昂贵 CX = [MSK(AS-BSR)]/[W(BR-A)]ICP-MS分析应用分析应用 HPLC-ICP-MS法法仪器结构原理仪器结构原理ELAN公司产公司产HPLC-ICP-MSICP-MS分析应用分析应用 进样系统：进样系统：气体；液体；固体 与其他分离预富集方法联用离子源：离子源：电感耦合等离子体接口：接口：离子的提取及聚焦检测器：检测器：质谱（四极杆、扇形磁场、飞秒时间质谱仪）分析对象：分析对象：元素及其同位素信息种类及特点：信息种类及特点：多元素同时定性和定量总结：总结：ICP-MS方法的性能及特点方法的性能及特点 。