第四章第四章 被测量的获取被测量的获取清华大学清华大学仪器科学与技术研究所仪器科学与技术研究所 第四章第四章 被测量的获取被测量的获取4.14.1被测量获取的基本概念被测量获取的基本概念 4.24.2传感器的分类传感器的分类 4.34.3电阻式传感器电阻式传感器 4.44.4电阻式温度计电阻式温度计 4.54.5热敏电阻热敏电阻4.64.6电感式传感器电感式传感器4.74.7电容式传感器电容式传感器4.84.8压电传感器压电传感器4.94.9磁电式传感器磁电式传感器 4.104.10 红外辐射检测红外辐射检测4.114.11 固态图象传感器固态图象传感器 4.124.12 霍尔传感器霍尔传感器 学习重点学习重点获取被测量的基本方法，传感器的分类及依获取被测量的基本方法，传感器的分类及依据的原理；据的原理；参量型（电阻、电容、电感）传感器的作用参量型（电阻、电容、电感）传感器的作用原理、测量电路和典型应用；原理、测量电路和典型应用；绝对速度、惯性加速度传感器的频率响应特绝对速度、惯性加速度传感器的频率响应特性曲线及其分析，系统特性参数（性曲线及其分析，系统特性参数（ωn，，ς））的求法。
的求法 4.14.1被测量获取的基本概念被测量获取的基本概念传感：将被测的量或被观察地量通过一个被传感：将被测的量或被观察地量通过一个被测量传感器或敏感元件转换成一个电的、液测量传感器或敏感元件转换成一个电的、液压的、气动的、或其它形式的物理输出量压的、气动的、或其它形式的物理输出量用来完成这种转换的装置则称为用来完成这种转换的装置则称为传感器传感器或或敏敏感元件感元件n敏感元件：直接感受被测物理量并对其进行转换敏感元件：直接感受被测物理量并对其进行转换的元件或单元的元件或单元n传感器：敏感元件及其相关的辅助元件和电路组传感器：敏感元件及其相关的辅助元件和电路组成的整个装置成的整个装置n敏感元件是传感器的核心部件敏感元件是传感器的核心部件 传感器处于测试与检测装置的输入端，传感传感器处于测试与检测装置的输入端，传感器性能的优劣直接影响整个测试装置的工作器性能的优劣直接影响整个测试装置的工作特性 线性传感器：线性传感器：若传感器的输入量及其输出量之间的特性曲线是若传感器的输入量及其输出量之间的特性曲线是一条直线，则称该传感器是线性传感器，即一条直线，则称该传感器是线性传感器，即y=x0+kx。
式中式中x、、y分别为传感器的输入与输出，分别为传感器的输入与输出，x0为初始值，常数为初始值，常数k 称传感系数、转换比、灵敏称传感系数、转换比、灵敏度或斜率度或斜率 非线性传感器：特性曲线不是一条直线的传非线性传感器：特性曲线不是一条直线的传感器 传感器产生误差的原因：传感器产生误差的原因：n实际特性曲线与设定特性曲线之间存在偏差实际特性曲线与设定特性曲线之间存在偏差 ；；n传感器的不可逆变化传感器的不可逆变化 w引起不可逆变化的原因：老化、零件接触点状况变化、引起不可逆变化的原因：老化、零件接触点状况变化、热的或机械的过载、以及化学变化等热的或机械的过载、以及化学变化等 消除传感器误差的方法消除传感器误差的方法n合理的结构设计合理的结构设计w例如：力传感器的结构设计中设法避免横向敏感力的例如：力传感器的结构设计中设法避免横向敏感力的产生 n对影响传感器的干扰量进行补偿对影响传感器的干扰量进行补偿 n稳定传感器的工作环境条件、合理传感器的安稳定传感器的工作环境条件、合理传感器的安装方法n对传感器的定期维护和校准对传感器的定期维护和校准 4.24.2传感器的分类传感器的分类按被测物理量进行分类按被测物理量进行分类 ：：n力传感器、速度传感器、温度传感器等。
力传感器、速度传感器、温度传感器等按传感器的工作原理或传感过程中信号转换的按传感器的工作原理或传感过程中信号转换的原理分类：原理分类：n结构型传感器：根据传感器的结构变化来实现信结构型传感器：根据传感器的结构变化来实现信号的传感，如电容传感器号的传感，如电容传感器n物性型传感器：根据传感器敏感元件材料本身物物性型传感器：根据传感器敏感元件材料本身物理特性的变化来实现信号的转换如压力加速度理特性的变化来实现信号的转换如压力加速度计是利用了传感器中石英晶体的压电效应；光敏计是利用了传感器中石英晶体的压电效应；光敏电阻则是利用材料在受光照作用下改变其电阻的电阻则是利用材料在受光照作用下改变其电阻的效应，等等效应，等等 根据传感器与被测对象之间的能量转换根据传感器与被测对象之间的能量转换关系分类：关系分类：n能量转换型传感器（亦称无源传感器）：直能量转换型传感器（亦称无源传感器）：直接由被测对象输入能量来使传感器工作的接由被测对象输入能量来使传感器工作的如热电偶温度计、弹性压力计等等如热电偶温度计、弹性压力计等等n能量控制型传感器（亦称有源传感器）：依能量控制型传感器（亦称有源传感器）：依靠外部提供辅助能源来工作，由被测量来控靠外部提供辅助能源来工作，由被测量来控制该能量的变化。
如电桥电阻应变仪制该能量的变化如电桥电阻应变仪 4.34.3电阻式传感器电阻式传感器电阻式传感器：将被测的量转变为电阻变化的一种电阻式传感器：将被测的量转变为电阻变化的一种传感器 一、工作原理：一、工作原理：一个电导体的电阻值：一个电导体的电阻值：式中：式中：R－－电阻（电阻（Ω）；）；ρ－－材料的电阻率（材料的电阻率（Ω·mm2/m）；）；l－－导体的长度（导体的长度（m）；）； A－－导体的截面积（导体的截面积（mm2） Ø改变长度改变长度l，，则可形成滑动触点式变阻器或电位计；则可形成滑动触点式变阻器或电位计； Ø改变改变l、、A和和ρ则可做成电阻应变片；则可做成电阻应变片；Ø改变改变ρ，，则可形成热敏电阻、光导性光检测器、压阻应变则可形成热敏电阻、光导性光检测器、压阻应变片、以及电阻式温度检测器片、以及电阻式温度检测器 (4.1) 二、滑动触点式变阻器二、滑动触点式变阻器 n直线位移型：直线位移型：R=ktxkt为为单位长度中的电阻单位长度中的电阻 其灵敏度：其灵敏度：n角位移型角位移型 灵敏度：灵敏度： α－－触点转角触点转角(rad)；；kr－－单位弧度对应的电阻值单位弧度对应的电阻值。
图4.1 变阻器式传感器 (4.3)(4.4)(4.2) –变阻器的分辨率变阻器的分辨率 ü取决于电阻元件的结构型式取决于电阻元件的结构型式ü为在小范围空间中得到足够高的电阻值，常采为在小范围空间中得到足够高的电阻值，常采用线绕式电阻元件用线绕式电阻元件 ü当滑臂触点从一圈导线移动至下一圈时，电阻当滑臂触点从一圈导线移动至下一圈时，电阻值的变化是台阶形的，由此则限制了器件的分值的变化是台阶形的，由此则限制了器件的分辨率 ü实际中能做到绕线间的密度为实际中能做到绕线间的密度为25圈圈/mm，，对直线对直线移动式装置来说，分辨率最小为移动式装置来说，分辨率最小为40μm，，而对一而对一个单线圈个单线圈5cm直径的转动式电位计来说，其最直径的转动式电位计来说，其最好的角分辨率为约好的角分辨率为约0.1oü为改善分辨率，也可采用为改善分辨率，也可采用碳膜碳膜或或导电塑料导电塑料电阻电阻元件 三、电阻应变传感器三、电阻应变传感器 当金属电阻丝受拉或受压时，电阻丝的长度和当金属电阻丝受拉或受压时，电阻丝的长度和横截面积将发生变化，且电阻丝的电阻率也发生横截面积将发生变化，且电阻丝的电阻率也发生变化（这一现象称为压阻效应），因此导线的电变化（这一现象称为压阻效应），因此导线的电阻值发生变化。
阻值发生变化 对式（对式（4.1）进行微分可得：）进行微分可得：设设A=πr2，，r为电阻丝半径，代入上式得为电阻丝半径，代入上式得 (4.6) 式中，式中， dl/l=ε为单位应变；为单位应变； dr/r为电阻丝径向相对变化，它与为电阻丝径向相对变化，它与dl/l之间的之间的关系为关系为 式中式中ν－－电阻丝材料的泊松比电阻丝材料的泊松比 dρ/ρ反映了电阻丝的电阻率的相对变化，它与反映了电阻丝的电阻率的相对变化，它与电阻丝纵向所受的应力电阻丝纵向所受的应力σ有关：有关：式中，式中，π1－－纵向压阻系数纵向压阻系数 ；；E－－材料的弹性模量材料的弹性模量 (4.8)(4.9)(4.7) 将式（将式（4.8）和（）和（4.9）代入式（）代入式（4.7）中，可得）中，可得 分析：分析：影响电阻值变化的因素：影响电阻值变化的因素：n电阻丝长度的变化电阻丝长度的变化 ；；n电阻丝面积的变化电阻丝面积的变化 ；；n压阻效应的作用压阻效应的作用 电阻值的相对变化与应变成正比，因此通过测量应电阻值的相对变化与应变成正比，因此通过测量应变变dl/l=ε便可测量电阻变化便可测量电阻变化dR/R，，这便是应变片这便是应变片的原理。
若用无量纲因子的原理若用无量纲因子Sg表征两者的关系，则表征两者的关系，则 Sg为应变片系数或灵敏度为应变片系数或灵敏度,金属电阻丝的灵敏度常金属电阻丝的灵敏度常在在1.7~4.0之中，常用的金属材料有银、铬镍合金、之中，常用的金属材料有银、铬镍合金、或铁镍合金等或铁镍合金等 (4.10)(4.11) 应变片的分类：应变片的分类：n非粘贴式非粘贴式 ：几乎都被用于传感器应用几乎都被用于传感器应用 图图4.3示出一种非粘贴式应变仪，它采用一组连接成电示出一种非粘贴式应变仪，它采用一组连接成电桥形式的预加载电阻丝桥形式的预加载电阻丝其中电桥的每根电桥臂的电阻值约为其中电桥的每根电桥臂的电阻值约为120～～1000Ω，，最大激励电压为最大激励电压为5～～10V，，满量程输出为满量程输出为20～～50mV 图4.3 非粘贴式应变仪 n粘贴式粘贴式 ：：w粘贴式金属丝应变片可用于应力分析，也可用作为传粘贴式金属丝应变片可用于应力分析，也可用作为传感器由于可测的电阻值变化要求导线长度很长，因感器由于可测的电阻值变化要求导线长度很长，因而要将导线按一定的形状（通常为栅状）曲折地贴在而要将导线按一定的形状（通常为栅状）曲折地贴在由浸渍过绝缘材料地纸衬或合成树脂组成地载体上。
由浸渍过绝缘材料地纸衬或合成树脂组成地载体上 图4.4 金属丝应变片 图4.5 应变片结构纵截面情形 w金属箔式应变片：金属箔式应变片： a）、b）、c）敏感单方向上的应变d）膜片应变片e）三片式应变花，60°箔式平面型f）双片式应变花，90°箔式叠合型g）三片式应变花，45°电阻丝式叠合型h）双片式应变花，90°剪切式平面型图4.6 不同的箔式应变片结构形式 •金属薄膜应变片 ：•采用汽相淀积法和离子溅射法直接在衬底材料上形成，常用作传感器•薄膜应变片的阻值和应变片系数与粘贴式金属箔应变片的相似，但其时间和温度稳定性较好 四、半导体应变片四、半导体应变片 n工作原理：半导体材料的压阻效应工作原理：半导体材料的压阻效应 压阻效应：单晶半导体材料在沿某一轴向受外力作用时，其电阻压阻效应：单晶半导体材料在沿某一轴向受外力作用时，其电阻率率ρ随之发生变化从半导体物理可知，单晶半导体在外力作用随之发生变化从半导体物理可知，单晶半导体在外力作用下，原子点阵排列规律会发生变化，导致载流子迁移率及载流子下，原子点阵排列规律会发生变化，导致载流子迁移率及载流子浓度产生变化，从而引起电阻率的变化。
浓度产生变化，从而引起电阻率的变化n分类：分类：wP型应变片：在施加有效应变时会增加其电阻值；型应变片：在施加有效应变时会增加其电阻值；wN型应变片：在施加有效应变时会减少其阻值型应变片：在施加有效应变时会减少其阻值 n特点：具有很高的应变片系数，一般可高达特点：具有很高的应变片系数，一般可高达150左右 图4.7 不同类型的半导体应变仪1—硅棒 2—引线带 3—塑料载体 4—P型硅 5—N型硅 n半导体应变片的电阻变半导体应变片的电阻变化主要由公式化主要由公式（（4.10）右边的）右边的(1+2υ)ε项项决定；决定；n缺点：缺点：w温度灵敏度高；温度灵敏度高；w非线性；非线性；w安装困难安装困难 n半导体膜片式绝对压力半导体膜片式绝对压力传感器传感器 ：：图4.8 半导体膜片式绝对压力传感器 五、应变片的误差及其补偿五、应变片的误差及其补偿 温度是影响应变片精度的主要因素温度是影响应变片精度的主要因素 1.温度变化引起应变片本身电阻的变化温度变化引起应变片本身电阻的变化 式中式中ΔRT－－温度变化引起的电阻变化值；温度变化引起的电阻变化值； γf－－金属应变片电阻温度系数金属应变片电阻温度系数 ；； ΔT－－温度变化度数。
温度变化度数由该电阻值的变化折算成应变值为由该电阻值的变化折算成应变值为 (4.12) 2.金属丝与衬底材料的线膨胀系数不同，从而在金属丝与衬底材料的线膨胀系数不同，从而在温度变化时引起附加的应变温度变化时引起附加的应变 金属丝因温度变化引起的应变：金属丝因温度变化引起的应变：衬底材料因温度变化而引起的应变衬底材料因温度变化而引起的应变 式中式中αg和和αs分别为金属丝和衬底材料的线膨胀分别为金属丝和衬底材料的线膨胀系数当时系数当时αg ≠αs总附加应变则为总附加应变则为 3. 应变片的灵敏度系数随温度变化产生的变化较应变片的灵敏度系数随温度变化产生的变化较小，可以予以忽略小，可以予以忽略4.13)(4.14)(4.15)(4.16) 补偿途径：补偿途径：n应变片温度补偿应变片温度补偿 （如图（如图4.9所示）；所示）；n采用专门的、具有固有采用专门的、具有固有温度补偿功能的应变片温度补偿功能的应变片这种应变片采用特别的这种应变片采用特别的材料，这种材料能使线材料，这种材料能使线膨胀系数和电阻变化造膨胀系数和电阻变化造成的效应差不多相互抵成的效应差不多相互抵消，可得消，可得 (4.17)图4.9 应变片温度补偿 应变片测量的另一误差来源则涉及到应应变片测量的另一误差来源则涉及到应变片的大小与被测点的位置关系。
变片的大小与被测点的位置关系 n目前最小的应变片长可做到目前最小的应变片长可做到0.38mm n应变片也可被贴到曲面上，对某些应变片来应变片也可被贴到曲面上，对某些应变片来说，曲面的最小安全弯曲半径可小到说，曲面的最小安全弯曲半径可小到1.5mm 六、应变片的粘贴六、应变片的粘贴•常用的粘接剂：环氧树脂、酚醛树脂等；常用的粘接剂：环氧树脂、酚醛树脂等；•高温下：专用陶瓷粉末等无机粘接剂高温下：专用陶瓷粉末等无机粘接剂• 对粘接剂的要求：保证粘接面有足够的强对粘接剂的要求：保证粘接面有足够的强度、绝缘性能、抗蠕变、以及温度变化范度、绝缘性能、抗蠕变、以及温度变化范围等•使用粘接方法的温度范围：使用粘接方法的温度范围：-249℃℃～～816℃℃•对超高温度来说，常要采用焊接技术来进对超高温度来说，常要采用焊接技术来进行连接 七、应变片的应用七、应变片的应用 结构的应力和应变分结构的应力和应变分析析 ；；用于制成力、位移、用于制成力、位移、压力、力矩和加速度压力、力矩和加速度等测量传感器等测量传感器 图4.10 粘贴应变计的力和力矩传感器（a）拉力杆 （b）压力杆（c）弯曲悬臂 （d）扭矩轴 。