《红外热成像技术介绍课件》由会员分享，可在线阅读，更多相关《红外热成像技术介绍课件（43页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、北京波谱华光科技有限公司北京波谱华光科技有限公司 一、一、企业介绍企业介绍二、二、技术内容技术内容三、三、应用领域应用领域中国电子科技集团公司第十一研究所中国电子科技集团公司第十一研究所 1956 1956年建所年建所-是共和国建立的第一个电子元器件是共和国建立的第一个电子元器件 和材料研究所和材料研究所 19581958年建立红外技术研究室年建立红外技术研究室 19641964年建立激光技术研究室年建立激光技术研究室专业方向：研制为导弹、核武器、空间技术及常规专业方向：研制为导弹、核武器、空间技术及常规 兵器配套的红外、激光产品兵器配套的红外、激光产品。 1970 1970年全所转向为激光红
2、外专业技术研究所，是年全所转向为激光红外专业技术研究所，是 我国最早以军事应用为目标的光电技术研究所。我国最早以军事应用为目标的光电技术研究所。 中国光学光电子行业协会理事长单位中国光学光电子行业协会理事长单位 中国电子学会量子学与光电子学分会挂靠单位中国电子学会量子学与光电子学分会挂靠单位 总装备部军用光电子技术专业组组长单位总装备部军用光电子技术专业组组长单位 军用军用固体激光技术国防科技重点实验室依托单位固体激光技术国防科技重点实验室依托单位 国家固体激光工程技术研究中心依托单位国家固体激光工程技术研究中心依托单位 全国光辐射安全和激光设备标准化技术委员会全国光辐射安全和激光设备标准化技
3、术委员会 主任委员和秘书处单位主任委员和秘书处单位中国电子科技集团公司第十一研究所中国电子科技集团公司第十一研究所北京波谱华光科技有限公司北京波谱华光科技有限公司l中国电子科技集团公司第十一研究所控股公司中国电子科技集团公司第十一研究所控股公司l十一所非制冷红外领域的代表十一所非制冷红外领域的代表l主要面向军用配套市场和民品市场，业务形式以主要面向军用配套市场和民品市场，业务形式以OEMOEM和和ODMODM为主。为主。l成熟的红外整机和光电系统研发和生产能力成熟的红外整机和光电系统研发和生产能力 自然光的分光现象自然光的分光现象 PRISMASir Isaace Newton, 1660牛顿
4、通过三棱镜实验发现，自然光可分解不同的色光；牛顿通过三棱镜实验发现，自然光可分解不同的色光；今天我们知道，光的颜色代表了其频率；今天我们知道，光的颜色代表了其频率； 红外辐射现象的发现红外辐射现象的发现 VisibleInfraredUltravioletSir William Herschel, 1800赫胥黎的研究：赫胥黎的研究：用温度计测量不同色光所含的热量；用温度计测量不同色光所含的热量；结论：结论：红光所含热像最高，紫光最低；红光所含热像最高，紫光最低；红光之外还存在更红光之外还存在更“热热”的光的光；红外辐射是一种电磁波红外辐射是一种电磁波红外辐射特性红外辐射特性红外辐射是一种电磁
5、波，位于可见光的红光之外直至毫米红外辐射是一种电磁波，位于可见光的红光之外直至毫米波段，波长为波段，波长为0.71000um自然界中一切温度高于绝对零度（即零下自然界中一切温度高于绝对零度（即零下273）的物体）的物体均可向外辐射红外线均可向外辐射红外线红外辐射以光速传播（红外辐射以光速传播（299.793km/s）红外辐射不能被人眼感知红外辐射不能被人眼感知红外目标红外目标自主产生热辐射自主产生热辐射太阳、火焰、生物、发动机、尾焰太阳、火焰、生物、发动机、尾焰吸收热辐射后释放吸收热辐射后释放大气、陆地、砂石、金属大气、陆地、砂石、金属蒙皮效应蒙皮效应飞机、汽车轮胎飞机、汽车轮胎红外辐射吸收体
6、红外辐射吸收体水、玻璃水、玻璃三个大气窗口三个大气窗口大气对红外辐射的传播具有一定的吸收作用大气对红外辐射的传播具有一定的吸收作用二氧化碳、水蒸气、甲烷、气溶胶二氧化碳、水蒸气、甲烷、气溶胶因此在大气中形成三个可以透过红外辐射的因此在大气中形成三个可以透过红外辐射的“窗口窗口”：短波短波13um中波中波35um长波长波814um各种大气现象对红外传播的散射各种大气现象对红外传播的散射瑞利散射瑞利散射粒子半径远远小于红外波长，由气体分子引起，影响轻微粒子半径远远小于红外波长，由气体分子引起，影响轻微弥式散射弥式散射粒子半径与红外波长接近，散射系数与波长四次方成反比粒子半径与红外波长接近，散射系数
7、与波长四次方成反比无选择性散射无选择性散射粒子半径远远大于红外波长，散射与波长无关粒子半径远远大于红外波长，散射与波长无关雾雾弥式散射，粒子半径中等，粒子浓度低弥式散射，粒子半径中等，粒子浓度低云云弥式散射，粒子半径中等，粒子浓度高弥式散射，粒子半径中等，粒子浓度高霾霾弥式散射，粒子半径小，浓度低弥式散射，粒子半径小，浓度低雨雨无选择性散射无选择性散射红外探测器的早期研究红外探测器的早期研究研究主要集中在近红外非完全被动，需借助星光四十年代出现军用微光夜视仪（美国）红外探测器的发展红外探测器的发展第一代：单元器件、多元器件、第一代：单元器件、多元器件、Sprite器件器件五十年代五十年代第二代
8、：线列器件第二代：线列器件六十年代六十年代第三代：焦平面（第三代：焦平面（FPA）七十至八十年代以后七十至八十年代以后MCT中波、长波中波、长波InSb中波中波QWIP（GaAs）中波、长波，中波、长波，90年代后出现年代后出现微辐射热计（微辐射热计（Microbolometer）长波非制冷长波非制冷第四代：以超大规模和多光谱为发展方向第四代：以超大规模和多光谱为发展方向目前正在研究，已有部分成品目前正在研究，已有部分成品红外探测器红外探测器红外探测器的分类红外探测器的分类光子型探测器光子型探测器吸收红外辐射后，产生光电效应，即光子激发成传导电子而形成电吸收红外辐射后，产生光电效应，即光子激发
9、成传导电子而形成电信号；响应时间短，对波长有选择性；又可分为光导、光伏、光磁电等类型。信号；响应时间短，对波长有选择性；又可分为光导、光伏、光磁电等类型。热探测器热探测器吸收红外辐射后，内部产生温度的变化，而温度的变化又引起物理吸收红外辐射后，内部产生温度的变化，而温度的变化又引起物理性质的变化；响应时间长，对波长无选择性；又可分为性质的变化；响应时间长，对波长无选择性；又可分为气动探测器、测辐射气动探测器、测辐射热计、温差电偶、和热电探测器等类型。热计、温差电偶、和热电探测器等类型。光子型探测器光子型探测器光子探测器是利用了材料的内光电效应，红外光子直接把材料束缚态电子激发成光子探测器是利用
10、了材料的内光电效应，红外光子直接把材料束缚态电子激发成传导电子，参与导电，实现了光电转换。电信号大小与吸收的光子数量成比例。按电信传导电子，参与导电，实现了光电转换。电信号大小与吸收的光子数量成比例。按电信号输出的不同原理，光子探测器又分为光电导、光伏、光磁电探测器。号输出的不同原理，光子探测器又分为光电导、光伏、光磁电探测器。光电导探测器是当红外辐射照射到探测器上之后，引起它的电阻发生变化，从而光电导探测器是当红外辐射照射到探测器上之后，引起它的电阻发生变化，从而可探测出入射辐射的强弱。这种探测器有时也称为光敏电阻。器件有可探测出入射辐射的强弱。这种探测器有时也称为光敏电阻。器件有PbS、P
11、bSe、Ge:Hg、InSb、MCT等。等。光伏探测器是利用了半导体光伏探测器是利用了半导体p-n结的特性，当它受到红外辐射的照射以后，载流子结的特性，当它受到红外辐射的照射以后，载流子(即带负电的电子和带正电的空穴即带负电的电子和带正电的空穴)被被p-n 结所分开，在结所分开，在p-n 结两端建立起一个电场，这结两端建立起一个电场，这个电场的大小就表示了入射红外辐射的强弱。器件如个电场的大小就表示了入射红外辐射的强弱。器件如InSb、MCT、TeSnPb、PtSi等。等。光磁电探测器由于需要在探测器芯片上要外加磁场，结构复杂，不常使用，器件光磁电探测器由于需要在探测器芯片上要外加磁场，结构复
12、杂，不常使用，器件有有InSb、MCT等。等。光子探测器为对波长有选择响应的探测器，如光子探测器为对波长有选择响应的探测器，如:13m PbS（硫化铅）（硫化铅）35m PbSe（硒化铅）（硒化铅） InSb（锑化铟）（锑化铟） MCT（碲镉汞（碲镉汞HgCdTe） PtSi(硅化铂硅化铂) QWIP（量子阱）（量子阱）814m G:Hg(锗掺汞锗掺汞) PbSnTe(碲锡铅碲锡铅) MCT(碲镉汞碲镉汞) QWIP(量子阱量子阱)热探测器热探测器传感器被入射的红外辐射加热传感器被入射的红外辐射加热温度变化的测量可由下列方式得到温度变化的测量可由下列方式得到 电阻变化（测辐射热计）电阻变化（测
13、辐射热计） 热电结（热电结（TE传感器）传感器） 热释电效应热释电效应 油膜蒸发（蒸发图案）油膜蒸发（蒸发图案） 半导体吸收边缘移动半导体吸收边缘移动 热弹性效应热弹性效应 液晶色变液晶色变 气体压力改变（高利元件）气体压力改变（高利元件）非制冷红外探测器非制冷红外探测器制冷型红外的缺陷制冷型红外的缺陷成本高、寿命短成本高、寿命短20世纪世纪70年代末，美、英军方制定秘密计划：年代末，美、英军方制定秘密计划：发展非制冷焦平面，发展非制冷焦平面，目的是发展出用户目的是发展出用户买得起和用得起买得起和用得起的热成像的热成像仪。仪。ULISUncooled Low-cost Infrared Sen
14、sor非制冷红外探测器非制冷红外探测器早期有用热释电材料制成的摄像管，并制成了热电视早期有用热释电材料制成的摄像管，并制成了热电视(红外电视红外电视)。1992年公布了非制冷焦平面的研制结果。采用的探测器材料主要为两种，即热释年公布了非制冷焦平面的研制结果。采用的探测器材料主要为两种，即热释电和测辐射热计。采用热释电材料的有电和测辐射热计。采用热释电材料的有:美国美国TI公司公司1987年研制出了年研制出了100100元的元的BST，NETD 0.5，1990年对交付的第一个成像阵列进行评估，更大的焦平面阵列达到了所年对交付的第一个成像阵列进行评估，更大的焦平面阵列达到了所希望的希望的0.3的
15、指标，测得的指标，测得NETD为为0.08，1993年年328 245元的阵列，像元中心距为元的阵列，像元中心距为48.5m。对系统进行测试所获得的。对系统进行测试所获得的NETD在使用在使用f/1光学时小于光学时小于0.04 。英国在。英国在1988年研年研制出了制出了100100元的元的PZT。1991年美国年美国Loral公司研制出了公司研制出了192128元的热释电器件，元的热释电器件，NETD小于小于0.07。采用测辐射热计的主要是美国。采用测辐射热计的主要是美国Honeywell公司公司,该公司在该公司在1985年研制年研制的的80000元电阻型测辐射热计的元电阻型测辐射热计的NE
16、TD= 0.3。1990年采用氧化钒的年采用氧化钒的336240元阵列制元阵列制作了第一个便携式热像仪，获得的作了第一个便携式热像仪，获得的NETD=39mK (F=1)。此后，无论是热释电还是测辐。此后，无论是热释电还是测辐射热计，射热计，320240系列的器件和热成像出现了很多。九十年代末以来探测器的尺寸减小系列的器件和热成像出现了很多。九十年代末以来探测器的尺寸减小到了到了30m左右，出现了左右，出现了640480系列的阵列，产品的系列的阵列，产品的NETD达到了达到了50mK以下。目前多以下。目前多家公司已经演示了此种热像仪。前几年已经报道了家公司已经演示了此种热像仪。前几年已经报道了
17、1024规格的产品。规格的产品。非制冷红外探测器非制冷红外探测器红外热像仪的组成红外热像仪的组成红外探测器驱动电路 制冷机（制冷型具备）红外光学镜头外形及其他接口、结构配件机芯红外光学红外光学 红外仪器中的光学元件，如透红外仪器中的光学元件，如透镜、转鼓镜、转鼓(棱镜棱镜)、窗口、窗口(包括杜瓦包括杜瓦瓶的窗口瓶的窗口)、滤光片、调制盘等，、滤光片、调制盘等，均需要光学材料。红外光学材料均需要光学材料。红外光学材料除一般光学玻璃所具备的除一般光学玻璃所具备的光学、光学、物理、化学、热、机械物理、化学、热、机械等性能外，等性能外，还要求在还要求在红外波段内具有良好的红外波段内具有良好的透过率透过
18、率。常用的红外光学材料为常用的红外光学材料为Ge，少，少量使用量使用ZnS等等光学镀膜光学镀膜红外光线材料的折射红外光线材料的折射率较高，率较高，反射损失大反射损失大，因，因而透过率较低，而且反射而透过率较低，而且反射光线还将光线还将引起象质变差引起象质变差。镀增透膜对于透射式红外镀增透膜对于透射式红外光学元件是必不可少的工光学元件是必不可少的工艺，它不但提高了光学元艺，它不但提高了光学元件透过率，还对光学材料件透过率，还对光学材料起到了保护作用，避免了起到了保护作用，避免了某些材料的潮解等损伤。某些材料的潮解等损伤。由图可以看到，未镀增透由图可以看到，未镀增透膜的膜的Ge片透过率很低片透过率
19、很低,镀增镀增透膜可以根据需要在透膜可以根据需要在35微微米或米或814微米的工作波段微米的工作波段提高透过率。图中所示为提高透过率。图中所示为814微米工作波段的曲线。微米工作波段的曲线。不受光照条件影响不受光照条件影响可穿透烟、雾可穿透烟、雾对比技术对比技术微光夜视微光夜视作用距离很短作用距离很短成像质量差成像质量差受外部光源影响极大，无法避免过曝受外部光源影响极大，无法避免过曝不能穿透烟、雾不能穿透烟、雾对比技术对比技术红外红外LED主动照明主动照明作用距离较短作用距离较短数十米数十米寿命问题寿命问题专利问题专利问题受外部光源影响极大，无法避免过曝受外部光源影响极大，无法避免过曝不能穿透烟、雾不能穿透烟、雾价格便宜价格便宜对比技术对比技术激光主动照明激光主动照明作用距离较长作用距离较长标称可达标称可达3000m难以进行多点监控应用难以进行多点监控应用寿命问题寿命问题“光污染光污染”风险风险受外部光源影响极大，无法避免过曝受外部光源影响极大，无法避免过曝不能穿透烟、雾不能穿透烟、雾价格适中价格适中军、警用军、警用军、警用军、警用军、警用军、警用航天遥感航天遥感工业测温工业测温医用测温医用测温消防消防森林防火森林防火安防监控安防监控安防监控安防监控要地防护要地防护车辆辅助驾驶车辆辅助驾驶海事海事北京波谱华光科技有限公司北京波谱华光科技有限公司
