压力传感器种类及制造工艺

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1、集成压力传感器是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。通 常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。薄膜压力传感器则是通过沉积在介质衬底(基板)上的,相应敏感材料的薄 膜形成的。使用混合工艺时,同样可将部分电路制造在此基板上。厚膜压力传感器是利用相应材料的浆料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通 常是al2o3制成的,然后进行热处理,使厚膜成形。陶瓷压力传感器采用标准的陶瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶-凝胶等)生 产。完成适当的预备性操作之后,已成形的元件在高温中进行烧结。厚膜和陶瓷 压力传感器这二种工艺之间有许多共同特性,在某些方面,可以认为厚膜工艺是 陶瓷工艺的一种变型。

2、每种压力传感器制造工艺技术都有自己的优点和不足。由于研究、开发和生 产所需的资本投入较低,以及压力传感器参数的高稳定性等原因,采用陶瓷和厚 膜传感器比较合理。艾驰商城是国内最专业的MRO工业品网购平台,正品现货、优势价格、迅 捷配送,是一站式采购的工业品商城!具有10年工业用品电子商务领域研 究, 以强大的信息通道建设的优势,以及依托线下贸易交易市场在工业用品行业上游 供应链的整合能力,为广大的用户提供了传感器、图尔克传感器、变频器、断路 器、继电器、PLC、工控机、仪器仪表、气缸、五金工具、伺服电机、劳保用品 等一系列自动化的工控产品。如需进一步了解图尔克、奥托尼克斯、科瑞、山武、倍加福、邦纳、亚德客、 施克等各类传感器的选型,报价,采购,参数,图片,批发信息,请关注艾驰商 城 http:/

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