测定仪气相沉积清洗设备

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1、设备名称数量功能及技术参数测定仪11、 主要功能:智能变频走航测流仪,专为河流流量测验而设计。借助于桥梁或缆道用绳子牵引测量规则的、无规则的水体的断面流量2、功能特点:*1、具有窄带、脉冲相干、宽带三种工作模式,可以根据水深和流速自动选择最佳的模式。2、操作简便,测流程序实现一键操作。 3、能直接测量水深,具有可直接测量水深的波束专传感器,而不是通过计算间接获得水深数据。可测深度范围不少于15米。 4、测流仪主机内置微处理器和内存。内存要求不小于8G。内置流量计算功能,测流原始数据不依靠外部计算机软件程序计算,确保数据也不会因无线通讯中断而丢 失。 5、米样频率咼:最咼米样频率不低于50Hz,

2、确保船速大于流速时不丢波。6、支持外置GPS罗盘。GPS罗盘的位置不受限制。可根据需要增配 DGPS或RTKGPS 7、具有两种以上方法用于检查河床是否有走底现象,并测量出河床的走底速度,并可附加其它技术措施来纠正由于走底而产生的流量偏小误差。*8、具备使用外推法来延长特定ADCP的流量测量水深范围。9、具备增配差分 GPS设备的条件,可使用 WAAS, SBASS,或EGNOSS信号进行 差分修正。3、主要技术指标:1)使用环境条件:工作温度:-5 C至45 C,存储温度:-10 C至70 C2)技术要求:流速:流速测量范围-流速:土 20米/秒,流速测量范围-距离:0.06-5 米分辨率:

3、0.001米/秒,准 确度:实测流速之土 0.25 %; 0.002米/秒,单元数量:128个单元尺寸:0.02米至0.5米。3)深度:测量范围:0.2米至15米,分辨率:0 001米1准确度:1%4)换能器:换能器个数:5个换能器测流换能器:4个倾角25 的3.0MHz对称波束垂直波束换能器:1个1.0MHz垂直波束。 5)罗盘/倾斜传感器:测量范围:360。,航向准确度:土 2 ,横摇/纵摇准确度:土 1 6)内存:主机自带,容量至少8GB(非散失性)7)通讯:通讯方式:RS232通讯,串口 GPS输入最大数据输出频率:2Hz,内部米样频率:70Hz 8 )工作电压12至18伏直流,可充电

4、电池,可连续工作8小时。4、基本配置:一台声学多普勒五波束水流断面流量测量仪主机1)主机含控制器、数据处理器、内存2)主机包括供电单兀3)主机内置罗盘、倾斜计4)主机内置温度传感器5)Windows 平台(XP , Vista ) 上 RiverSurveyor Live!测量中文软件,Statio nary定点测流中文软件。一条主机连接电缆(10m电缆线,RS232接口)质保期1年售后服务及培训要求1、保修期内:保修期为自安装调试结束之日起一年,保修期内免费维修。2、保修期外:保修期后提供终牛维修。如需更换零部件,酌收零件费。3、 培训 安装调试过程中,由安装工程师在用户指定地点现场免费培训

5、,直到用户掌握基本操作技能并能够独立操作后,方可结束安装工作,冋时提供所有操作,维修及培训资料。交货时间及地点收到信用证后2个月内;温州大学生命与环境科学学院标段二:本招标设备由两组系统组成:一、等离子化学气相沉积系统设备主要由反应室与真空系统、气路系统、电气系统、射频电源系统、自动控制系统、 加热系统、循环水冷却系统、报警系统等组成。1反应室及衬底尺寸由真空淀积反应室(包括双层真空室、室盖、法兰1套)、室盖升降系统、机架机柜、工件架系统、加热器与电极系统、腔壁及腔盖冷却系统等组成。反应室尺寸为 350mm X 220mm,可放置衬底尺寸为150mm (6吋)硅片或不锈钢材料一片,或小于 6

6、吋样片若干片腔室内部光洁, 焊接处平滑, 无虚焊漏焊点, 腔室加工过程中无油及其它杂质对腔室的 污染,加工完成后对真空腔室进行抛光清洗,除去油及其它杂质。样品加热及温度。加热方式:石英灯辐照,石墨加热台。加热温度:室温900 oC,控温精度 1%。淀积不均匀性:W5%(4吋范围内)。2 真空系统及真空度真空获得:包括 600 升 / 秒分子泵、 8 升 / 秒机械真空泵、 150mm 口径超高真空气动插 板阀及泵口阀、压差阀、隔膜阀等。设备通过分子泵及机械真空泵组成抽气系统, 分子泵与真空室之间装有气动插板阀。 机械真空泵与真空室之间及与分子泵之间均采用不锈钢硬管及 波纹管连接 , 并装有电磁

7、气动隔断阀。系统破坏真空在短时暴露大气情况下,从大气抽至2.0 X 10 -4Pa 时间w 40min。 真空测量:复合真空计一套,包括电阻规与电离规。在室温条件下,反应室真空度优于6.67 X 10 -5Pa (环境湿度w 55% );在衬底温度 200 C条件下优于9 X 10-5Pa; 系统破坏真空在短时暴露大气情况下从大气抽至2.0 X 10 -4Pa时间w 40min。3 压力控制系统包括薄膜规一个(进口) 、电动恒压调节阀一套及恒压控制软件。 系统在达到高真空状态后,关闭气动插板阀,改为旁路管道由机械泵抽气,经薄膜规测 量、电动蝶阀调节,以达到恒压状态,恒压范围10 10000Pa

8、 。4 气体管路配置气路系统采用 3 台进口防腐质量流量控制器控制 3 路气体进气,管路为不锈钢硬管,管 路接头连接形式采用双卡套形式连接,不锈钢管道及部件均为进口。5 射频电源配置13.56 MHz 射频功 包括射频电源及自动匹配器一套。设备配备连续可调放电模式工作,率源。6 系统自动化控制包括工控机一台、触摸显示屏一套、PLC (西门子)、数据通讯卡、控制软件等。设备采用工控机、触摸屏控制, 实现真空系统及工艺过程全自动化。 还可选择全自动及非全自动模式。设备采用全自动控制方式,也即:从用户将样片送入真空室后的真空获得、薄膜 沉积生长、过程监控与闭环控制完整工艺过程,均由工控机、可编程通讯

9、控制器 及上位机控制软件自动控制,无需任何的人工干预。自动化系统支持多工艺步骤编程。 系统具有储存用户工艺数据的功能。设备配备互锁、异常断电自动记忆、自动工艺编程校验等安全保护措施,使非恶意 的人为操作失误不会导致系统硬、软件的损坏。系统支持诸如缺水故障、分子泵故 障、通讯故障等故障情况下的自动报警。系统提供操作日志及故障记录。二、三温区高温管式炉及质量流量供气系统1,管式炉为 0TF-1200X-山三温区高温管式炉,主要参数要求:石英炉管尺寸:100 X 1400mm ;加热元件:电阻丝;工作温度:最高1200 C (温区1、温区2、温区3),精度土C;控温 方式:智能化 30 段可编程控制

10、;真空测量:数字真空计; 炉门结构:开启式;工作电源:AC220V /50HZ/60HZ ,额定功率 7KW ;外型尺寸:1030 X 430 X 580mm。2,质量流量供气系统质量流量控制器(包括三套质量流量计) 、机械压力表、针阀、管道配件等组成: 质量流量控制器:供电电源 185245V/50Hz ,最大功耗 18W ;量程范围:通道 199 .9SCCM ,通道 2: 1199 SCCM ,通道3: 1499 SCCM;工作环境温度 : 545 oC最大耐压 : 3x106 Pa ;重复精度 : 1% FS。机械压力表:量程范围:-0.10.15 MPa (0.01 MPa/grid)。针阀: 316 不锈钢。管道配件:内部链接1/4不锈钢管;外部链接1/4聚四氟乙烯管。

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