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氟化物气体应用:二氟硅烷1.别名middot;英文名二氟二氢硅;Difluorosilane2.用途含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气。3.理化性质分子量:68.10熔点:-122.0沸点(101.325kPa):-77.8气体密度:2.35kg/m3熔化热:6.148kJ/kg气化热:292.092kJ/kg临界温度:34蒸气压(-124.3):2.666kPa(-98.3):26.664kPa(-87.8):53.329kPa比热容(气体,25):749.443J/(kgmiddot;K)二氟硅烷在常温常压下为具有腐蚀性的可燃性有毒气体。长时间放置时缓慢分解,但比SiHF3分解速度慢。2SiH2F2rarr;SiH4+SiF4在水或苛性苏打的水溶液中水解产生氢气。与乙醇、氨和胺反响。参见六氟化二硅。内容总结1氟化物气体应用:二氟硅烷1.别名middot2参见六氟化二硅内容总结(1)氟化物气体应用:二氟硅烷1.别名middot(2)Difluorosilane2.用途含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气(3)参见六氟化二硅(4)内容总结1氟化物气体应用:二氟硅烷1.别名middot2参见六氟化二硅2