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1、精选优质文档-倾情为你奉上TPS烧结炉操作说明1 开启前准备（1） 检查冷却水塔是否开启冷却水开启步骤：电源开关ON冷却水塔ON制冷ON冷夜泵ON（2） 检查压缩空气压缩空气控制在60Psi。2 开启电源打开烧结炉总电源，电源开启后，Main Power灯亮。按下“Power ON”烧结炉网带开始运动。按下电脑的电源开关，电脑开启后，在桌面上点击“furnace”，打开操作软件。3 登陆操作系统打开操作软件后，点击进入登陆界面，选中，跳出对话框，在对话框中输入密码，用户登陆成功。退出系统时，点击，退出用户。4 选择工艺参数点击进入界面，选中所需的工艺参数，执行。工艺参数的调取&保存方法调取：从
2、硬盘存档中调用：选中，会打开文档，然后选择需要的工艺参数设定。从当前工艺调取：选中，界面显示当前工艺参数的设定。保存:将界面下的参数设定保存：选中工艺参数的修改和执行 两种方式：直接在当前工艺下修改 在界面上，选中需要修改的工艺参数，会弹出设定对话框，键入所改的值，点击OK。（若不做修改，点击Cancel）在界面修改Recipe修改方法：选中需要修改的温区，在相应的温区修改温度和上下功率值。（上功率为上限值，下功率是实际值。）注意：在修改完毕后，要选择，修改的参数才会执行。或者在修改时，点击，可直接修改到当前工艺。5 烧结炉升温工艺选定后，选中warm up，烧结炉开始升温。为了延长烧结灯管的
3、寿命，避免在刚开启加热时过大电流损坏加热灯管，zone8&zone9采用逐步加热的方式。注意：在刚开始加热时，zone8&zone9两区的上下功率不可过高。两区上下功率手动设置升温。当温度升到位后，将下功率逐渐降到设定值。当温度加热到位后，状态栏变成蓝色，此时表明烧结炉达到稳定状态，可以进行烧结工艺。（注意：状态栏表示工艺状态，当出现条形时，表示未达到稳定状态，不可进行烧结。若要进行工艺修改，不可往炉中投片，工艺修改待烧结条件稳定一段时间后，方可进行烧结工艺。）6 关闭烧结炉 a.选中，烧结炉开始降温b.温度降到100左右，可关闭设备，压缩空气继续通半个小时左右。 温度降到100后，可以退出操
4、作软件。进入界面，点击，退出用户操作，再选中右上角，退出软件。然后关机。C按下炉外侧的Power off，再将烧结炉总电源关闭。注意：在高温的情况下，不可直接关闭烧结炉电源。若按下了急停，应清除按下的原因后，即可按下“Power On”开启电源，避免高温区内高温对网带的损坏。报警处理：A 灯管的损坏；烧结炉的灯管无需做保养，若损坏直接更换。灯管损坏，会出现高亮，并且有报警声出现。操作人员先关闭消音（确认报警）。界面会显示哪个区的灯管损坏了，在Description描述窗口显示Lamp Fail Zone 。然后打开，检查该区灯管的具体位置，注意显示的是一组灯管（两根），用万用表测量灯管的两端，查出损坏的灯管，进行更换。灯管的更换注意事项：灯管更换时，操作人员要带上橡胶手套，不可直接用手接触石英灯管（油脂对石英灯管的损坏十分严重），若接触用无水酒精擦拭灯管后安装。B 冷却水报警：检查冷却水是否开启。C 高温报警、低温报警专心-专注-专业
