精选优质文档-----倾情为你奉上TPS烧结炉操作说明1． 开启前准备（1） 检查冷却水塔是否开启冷却水开启步骤：电源开关ON→冷却水塔ON→制冷ON冷夜泵ON（2） 检查压缩空气压缩空气控制在60Psi2． 开启电源打开烧结炉总电源，电源开启后，Main Power灯亮按下“Power ON”烧结炉网带开始运动按下电脑的电源开关，电脑开启后，在桌面上点击“furnace”，打开操作软件3． 登陆操作系统打开操作软件后，点击进入登陆界面，选中，跳出对话框，在对话框中输入密码，用户登陆成功退出系统时，点击，退出用户4． 选择工艺参数点击进入界面，选中所需的工艺参数，执行※工艺参数的调取&保存方法调取：从硬盘存档中调用：选中，会打开文档，然后选择需要的工艺参数设定从当前工艺调取：选中，界面显示当前工艺参数的设定保存:将界面下的参数设定保存：选中※工艺参数的修改和执行 两种方式：①直接在当前工艺下修改 在界面上，选中需要修改的工艺参数，会弹出设定对话框，键入所改的值，点击OK若不做修改，点击Cancel）②在界面修改Recipe修改方法：选中需要修改的温区，在相应的温区修改温度和上下功率值。
上功率为上限值，下功率是实际值▲注意：在修改完毕后，要选择，修改的参数才会执行或者在修改时，点击，可直接修改到当前工艺5． 烧结炉升温工艺选定后，选中warm up，烧结炉开始升温★为了延长烧结灯管的寿命，避免在刚开启加热时过大电流损坏加热灯管，zone8&zone9采用逐步加热的方式注意：在刚开始加热时，zone8&zone9两区的上下功率不可过高两区上下功率手动设置升温当温度升到位后，将下功率逐渐降到设定值当温度加热到位后，状态栏变成蓝色，此时表明烧结炉达到稳定状态，可以进行烧结工艺注意：状态栏表示工艺状态，当出现条形时，表示未达到稳定状态，不可进行烧结若要进行工艺修改，不可往炉中投片，工艺修改待烧结条件稳定一段时间后，方可进行烧结工艺6． 关闭烧结炉 a.选中，烧结炉开始降温b.温度降到100℃左右，可关闭设备，压缩空气继续通半个小时左右 温度降到100℃后，可以退出操作软件进入界面，点击，退出用户操作，再选中右上角，退出软件然后关机C．按下炉外侧的Power off，再将烧结炉总电源关闭注意：在高温的情况下，不可直接关闭烧结炉电源若按下了急停，应清除按下的原因后，即可按下“Power On”开启电源，避免高温区内高温对网带的损坏。
报警处理：A． 灯管的损坏；烧结炉的灯管无需做保养，若损坏直接更换灯管损坏，会出现高亮，并且有报警声出现操作人员先关闭消音（确认报警）界面会显示哪个区的灯管损坏了，在Description描述窗口显示Lamp Fail Zone □然后打开，检查该区灯管的具体位置，注意显示的是一组灯管（两根），用万用表测量灯管的两端，查出损坏的灯管，进行更换灯管的更换注意事项：灯管更换时，操作人员要带上橡胶手套，不可直接用手接触石英灯管（油脂对石英灯管的损坏十分严重），若接触用无水酒精擦拭灯管后安装B． 冷却水报警：检查冷却水是否开启C． 高温报警、低温报警专心---专注---专业。