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1、脉冲激光法沉积薄膜实验Experiment for film deposition by pulsed laser原理：是一种真空物理沉积工艺，是将高功率脉冲激光聚焦于靶材表面，使其产生高温及烧蚀，而产生高温高压等离子体，等离子体定向局域膨胀发射并在衬底上沉积形成薄膜。 1.激光与靶材相互作用产生等离子体等离子体是由大量自由电子和离子及少量未电离的气体分子和原子组成，且在整体上表现为 近似于电中性的电离气体。等离子体=自由电子+带正电的离子+未电离原子或分子，为物 质的第四态。2等离子体在空间的输运102i）/cm3）的等离子体靶材表面的高温（可达2OOO0K）和高密度（IO”在靶面法线方向的
2、高温和压力梯度等温膨胀发射用时）和绝热膨胀发射（激光终止后）等离子体区等离子体羽辉沿靶面法线方向 丿轴向约束性3等离子体在基片上成核、长大形成薄临界核的形成粒子的长大形成连续薄膜|昨awwI1 銅业硼ai耀单f am 晦;倔舍硼| aKWWK御储土:舉曲沖谄Ksasaawm I 翻討仙辇砂劉靈骑詡聲弼1松轉叙画财世埠卿手湃删swaaw冒飙运壬amn解谿詡聲瞬誣厲世f躍孵袒壬申?卿咖他叭辆胚一咖际泌Lsmi袒注警 詡解列里襌孵一&码礦昭期世輒询哋你删PLD法制备薄膜实验流程安装靶材与衬底激光器为YAG固体激光器，波长调整激光器参数=532nm（绿光），激光脉宽为10ns, 抽真空（机械泵与分子泵至能量量聯）实验注意事项 口抽真空之前一定要注意接通冷却水当真空度小于10 Pa才能开启分子泵抽高真空激光输出前要确保冷却水运动正常使用氧气时要确保气嘴干净无有误，实验室不能有火花等安全ZZ1斑辐照到人体上，实验时要带好激光防护镜
