6中芯中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封装测试生产基地项目 环境影响报告书

建设项目环境影响报告表建设项目环境影响报告表 （报批（报批稿稿）项项 目目 名名 称称：中芯绍兴中芯绍兴 MEMS 和功率器件芯片制造和功率器件芯片制造 及封装测试生产基地项目及封装测试生产基地项目 建设单位（盖章建设单位（盖章）：中芯集成电路制造（绍兴）有限公司中芯集成电路制造（绍兴）有限公司 编制日期：2018 年 10 月 环境保护部制 建设项目环境影响报告表编制说明 建设项目环境影响报告表由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制。1.项目名称指项目立项批复时的名称，应不超过 30 个字（两个英文字段作一个汉字）。2.建设地点指项目所在地详细地址，公路、铁路应填写起止地点。3.行业类别按国标填写。4.总投资指项目投资总额。5.主要环境保护目标指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等。6.结论与建议给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其他建议。7.预审意见由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项目，可不填。8.审批意见由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。1 表一：建设项目基本情况表一：建设项目基本情况 项目名称项目名称 中芯绍兴 MEMS 和功率器件芯片制造及封装测试生产基地项目 建设单位建设单位 中芯集成电路制造（绍兴）有限公司 法人代表法人代表 赵奇 联系人联系人 张鹏波 通讯地址通讯地址 浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路 518 号 联系电话联系电话 18138423979 传真传真/邮政邮政 编码编码 312000 建设地点建设地点 绍兴市越城区银城路以东、临江路以南、银桥路以西地块 立项审批立项审批 部部 门门 绍兴高新技术产业开发区 经济发展部 批准文号批准文号 绍高新经发项建201810 号 建设性质建设性质 新建 改建 扩建 行业类别及代码 C3973 集成电路制造 占地面积占地面积 241019m2 绿化面积绿化面积 2410.19 m2 总投资总投资 58.8 亿元 人民币 其中：环保投资其中：环保投资 2.018亿元人民币 环保投资占环保投资占总投资比例总投资比例 3.4%评价经费评价经费 预期投产预期投产 日期日期 2020 年 1 月 工程内容及规模：工程内容及规模：一、一、项目由来项目由来 电子信息产业是我国重要的支柱产业，增加值约占我国 GDP 的 6%。我国也是电子信息产品第一大出口国，但长期以来“空芯化”的局面没有得到根本改观。2006年以来，我国已成为世界第一大集成电路市场，集成电路也是我国第一大宗进口商品，国内集成电路产品真正的自给率不到 10%。集成电路技术的进步带来了电子信息设备普及率和更新换代率的提升，特别是平板电脑、智能手机等移动终端的电子产品已成为市场热点。这种支柱产业的核心器件依赖于他人的局面需要通过发展自主可控的先进集成电路生产线加以逐步缓解。同时，据 SEMI 数据，全球 8 英寸生产线的数量将呈上升趋势。并且，随着可连结上网移动装置的快速成长，以及物联网（IoT）的兴起，传感器、微机电（MEMS）元件、模拟 IC、电源 IC 以及其他相关。半导体元件市场需求越来越大，也使 8 英寸（200mm）晶圆的需求大幅上扬。中芯集成电路制造（绍兴）有限公司的持股公司为中芯国际集成电路制造有限公司（以下简称“中芯国际”）。中芯国际成立于 2000 年，总部位于上海，是一家全球性投资超过 190 亿美金，专利数量位列国内集成电路产业榜首。经过 17 年的艰苦奋斗，2 中芯国际已经成为集成电路制造服务行业全球排名第四，国内排名第一的先进的大型集成电路制造企业。中芯国际总部位于上海，拥有全球化的制造和服务基地。在上海建有一座 300mm晶圆厂和一座 200mm 晶圆厂；在北京建有一座 300mm 晶圆厂和一座控股的 300mm先进制程晶圆厂；在天津和深圳各建有一座 200mm 晶圆厂；在江阴有一座控股的300mm 凸块加工合资厂；在意大利有一座控股的 200mm 晶圆厂。中芯国际还在美国、欧洲、日本和台湾地区设立行销办事处、提供客户服务，同时在香港设立了代表处。中芯国际目前产能折合 8 英寸约为每月 42 万片晶圆，为客户提供包括设计服务、掩膜版制造、晶圆代工、电路封装和测试等全方位服务，技术能力覆盖 0.35 微米到 28纳米，产品涵盖通讯、计算机、消费类、汽车电子、工业控制及信息化等各个领域，产品 70%出口。中芯集成电路制造（绍兴）有限公司投资 58.8 亿元人民币，选址绍兴市越城区绍兴高新技术产业开发区，银城路以东、临江路以南、银桥路以西地块，建设“中芯绍兴 MEMS 和功率器件芯片制造及封装测试生产基地项目”。该项目将新建生产厂房及配套公辅设施，购置生产线设备，形成 8 英寸线宽 180nm 集成电路芯片 51万片/年和 19.95 亿颗模组/年的生产规模。该项目取得绍兴高新技术产业开发区经济发展部“绍高新经发项建201810 号”立项批复。本项目拟分阶段实施，一阶段进行芯片厂房及公辅设施建设，实现芯片 51 万片/年的产能，二阶段进行封测厂房建设，实现模组 19.95 亿颗/年产能。根据中华人民共和国环境保护法、中华人民共和国环境影响评价法、建设项目环境保护管理条例，该项目应开展环境影响评价工作；根据建设项目环境影响评价分类管理名录（2017.9）及有关要求，环评形式为编制环境影响报告书，后随着关于修改部分内容的决定（部令第1 号）发布及施行，环评形式调整为环境影响报告表。中芯集成电路制造（绍兴）有限公司特委托信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司为其开展环评工作。我公司在接受建设单位委托后，对该项目进行了现场踏勘，在收集工程资料后，编制完成了本环境影响报告表。二二、产业政策的符合性、产业政策的符合性 本项目进行集成电路芯片及模组生产，其中芯片产品为 8 英寸集成电路芯片，3 线宽为 180nm。对照国家产业结构调整指导目录（2011 年本，2013 年修订），本项目属“第一类鼓励类”中“二十八、信息产业”中“19、，线宽 0.8 微米以下集成电路制造，及球栅阵列封装（BGA）、插针网格阵列封装（PGA）、芯片规模封装（CSP）、多芯片封装（MCM）等先进封装与测试”中的内容。本项目属浙江省产业集聚区鼓励发展类产业目录中“先进制造业”中“1、电子信息：（1）8-12 英寸生产线集成电路芯片”。本项目不属于 浙江省淘汰落后生产能力指导目录（2012 年本）中淘汰类项目。本项目属绍兴市产业结构调整导向目录（20102011 年）中鼓励发展类“机械电子产业”中“12、大规模专用集成电路及线宽 0.1-0.2m 集成电路”。本项目不属于绍兴市淘汰落后产能目录（2010 年本）中淘汰类项目。根据浙江省人民政府办公厅发布关于加快集成电路产业发展的实施意见（浙政办发2017147 号文），本项目属该文件重点支持发展项目。该项目取得绍兴高新技术产业开发区经济发展部“绍高新经发项建201810 号”立项批复。综上，本项目符合国家和地方现行产业政策。三三、项目规划符合性与选址合理性、项目规划符合性与选址合理性 （一）（一）项目规划符合性项目规划符合性 本项目选址于绍兴市越城区银城路以东、临江路以南、银桥路以西地块。1、与与绍兴市绍兴市“十三五十三五”工业工业发展规划发展规划符合符合性分析性分析 根据绍兴市“十三五”工业发展规划，绍兴市“十三五”期间将大力发展信息经济、先进装备、生命健康等战略性新兴产业。其中，信息产业板块的发展方向和重点之一为围绕实现“1446”工程，重点加强“云网端”信息基础设施建设，提升发展集成电路设计及生产、智能数字设备、应用电子设备、新型电子元器件等电子信息制造业。本项目为集成电路芯片制造，属于绍兴市重点发展产业，符合绍兴市“十三五”工业发展规划的相关规划要求。2、与、与绍兴市培育发展新兴产业三年行动计划绍兴市培育发展新兴产业三年行动计划符合性符合性分析分析 根据绍兴市培育发展新兴产业三年行动计划，绍兴市将围绕打造经济转型升级标杆，在推动传统产业改造提升的同时，加快培育发展高端装备、新材料、电子 4 信息、现代医药等四大产业，其中电子信息产业重点领域包括专用集成电路及模组、新型显示产品、智能传感器和新式片式元件。本项目为集成电路芯片制造，属于绍兴市重点发展的新兴产业，符合绍兴市培育发展新兴产业三年行动计划的相关要求。3、与越城区环境功能区划符合性分析、与越城区环境功能区划符合性分析 根据越城区环境功能区划，本项目所在区域为绍兴市生态产业园优化准入区0602-V-0-2。优化准入区的负面清单主要包括：禁止新建、扩建三类工业项目。允许新建扩建二类工业项目，但凡属国家、省、市、县落后产能的限制类、淘汰类项目，一律不得准入，现存企业应限期整改或关停。本项目属于集成电路项目，属于二类工业项目，不属于负面清单中禁止新建、扩建的三类工业项目，属于允许类项目。项目污染物排放水平需达到同行业国内先进水平，符合优化准入区的管控措施要求，因此，本项目建设符合绍兴市环境功能区划。4、与土地利用总体规划、城乡规划符合性分析、与土地利用总体规划、城乡规划符合性分析 本项目绍兴市越城区银城路以东、临江路以南、银桥路以西地块。并且根据绍兴国家高新技术产业开发区土地利用规划图，本项目所在地的用地性质为工业用地。根据规划许可证，项目所在地用地性质为工业用地。故项目建设符合土地利用总体规划的要求。5、与、与 绍兴国家高新技术产业开发区空间利用规划绍兴国家高新技术产业开发区空间利用规划环境影响报告书 及环境影响报告书 及园区“三园区“三线一单”等线一单”等分析分析 根据绍兴国家高新技术产业开发区空间利用规划环境影响报告书，本项目位于绍兴国家高新技术产业开发区生态发展优化准入区，该地块属规划的工业用地，因此本项目符合绍兴国家高新技术产业开发区用地规划的要求。本项目为电子信息类项目，属于园区鼓励引入类项目，项目建设符合园区规划。本项目与园区“三线一单”符合性分析：（1）生态红线相符性 根据绍兴市越城区生态保护红线，越城区范围内规划的生态红线区域包括：曹娥江水厂饮用水水源保护区、镜湖国家城市湿地公园保护区、青甸湖饮用水水源保护区、镜湖水域特别保护区、吼山风景名胜核心保护区等。5 本项目位于绍兴国家高新技术产业开发区，项目所在地不在上述生态红线区域保护区范围内，也不再高新区生态空间清单中禁止开发区范围内。本项目距离吼山风景名胜核心保护区约 1.64km。本项目与周边生态红线区域保护区的位置关系见附图。根据绍兴高新区生态空间清单，本项目不在其禁止开发区及限制开发区范围内。（2）环境质量底线相符性 环境空气：监测期间，评价范围内各监测点的 SO2、NO2、PM10、PM2.5均满足环境空气质量标准(GB3095-2012)二级标准；环境空气特征因子氟化物、硫酸雾、HCl、NH3、Cl2及砷化物均满足原工业企业设计卫生标准（TJ36-79）；异丙醇满足前苏联居民区大气中有害物质的最大允许浓度；臭气浓度满足恶臭污染物排放标准（GB 14554-93）中的厂界标准；非甲烷总烃和 TVOC 满足参照的大气污染物综合排放标准详解。地表水环境：监测期间，各监测断面其余因子均能满足地表水环境质量标准（GB 3838-2002）III 类标准要求。地下水环境：本监测期间，项目所在区域地下水监测断面所监测的因子中，监测因子均能达到地下水质量标准（GB/T14848-2017）中 III 类标准要求。声环境：监测期间，本项目各监测点满足区域声环境执行的声环境质量标准（GB3096-2008）中 3 类标准。土壤环境：监测期间，所在区域土壤环境满足土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准(GB36600-2018)表 1 中第二类用地筛选值要求，厂区西侧河流底泥环境满足土壤环境质量农用地