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1、蔡司场发射扫描电镜蔡司场发射扫描电镜 操作培训操作培训1前言前言 这篇培训资料仅适合于蔡司热场发射扫描电镜，这只是一个简略的介绍。 由于仪器的发展和改进，有些客户使用的仪器与此有些出入，敬请使用者在操作时注意。 详细资料，请阅读原厂手册。2安全规则安全规则设备的电源一定要确保持续和稳定。当设备出现短路，起火等重大紧急故障时，切断设备电源和UPS电源。电源开关见下图红圈3安全规则安全规则样品台的移动：当样品台移动的时候，一定要确保其不会碰撞到探头。（尤其是在样品台上升的过程中）4开关机操作说明开关机操作说明FESEM 主机的开机首先将水冷机打开。确认控制面板上的3个灯亮（红圈中）。右侧的水机温度
2、下降到左侧的设定温度。检查水机后面的压力表的读数。如果有压缩空气机的话，打开压缩空气机。确保输出压力达到6 bar。5开关机操作说明开关机操作说明FESEM 主机的开机按下黄色的Standby按钮（设备的真空板和MPSU板启动）。等待30秒后。按下绿色的On按钮。设备的所有电路板启动6开关机操作说明开关机操作说明FESEM 主机的关机按下黄色的Standby按钮（设备除真空和MPSU电路板外的所有电路板关闭电源）。等待30秒后。按下红色的Off按钮。设备的所有电路板关闭。15分钟后关闭水冷机和压缩空气机。7开关机操作说明开关机操作说明注意事项：开机以前，一定要提前把空调打开。让房间里的温度控制
3、到指定要求。并很稳12小时。当空调停机的时候，应立即关闭主机和水机！8操作软件简介说明操作软件简介说明Smart软件的启动双击桌面上的快捷键 或者在开始菜单中选择START PROGRAMSSTART PROGRAMS SMARTSEM SMARTSEM SMARTSEM USER INTERFACE SMARTSEM USER INTERFACE 9操作软件简介操作软件简介软件启动后，自动对设备的硬件进行检测。当设备出现硬件问题时，软件将自动出现提示。10操作软件简介操作软件简介自检完毕后，在EM server log on 对话框中输入用户名和密码，进入SmartSem软件。11操作软件简
4、介操作软件简介软件简介：SEM Control 面板（启动快捷键Ctrlg)12操作软件简介操作软件简介点击此处，可以选择灯丝的开关和高压的开关严禁擅自更改Fil I和Extractor V处的数值。如需更改，请先取得服务工程师的同意。双击或者拉动滑块可以改变不同的EHTSEM Control: Gun 界面13操作软件简介操作软件简介SEM control: Detector 面板选择不同的探头选择SE2 探头收集极电压值选择两种不同探头的信号进行混合混合信号时，两个探头的信号比例调节图像的亮度调节图像对比度14操作软件简介操作软件简介SEM Control: Aperture 面板选择不同
5、的尺寸的光阑激活此处，可进行光阑对中光阑对中灯丝对中像散校准电子束移动高电流模式观察六孔光阑的位置和形状15操作软件简介操作软件简介SEM Control: Scan 面板选择图像存储的分辨率扫描速度图像的冻结是以手动形式还是扫完整幅图片后积分次数或者是平均次数图像噪音去除的六种方式选择：帧平均，帧积分，线平均，线积分，像素平均，连续平均。16操作软件简介操作软件简介SEM Control：Stage界面样品台目前所在的位置双击数据区，输入你想要去的位置。输入后，样品台移动到你输入的位置。点击功能块，输入你要移动的距离。例如：现在样品台X，Y的位置在64.125，64.485 你想让X和Y方向
6、各移动2mm，你可在XY 激活后输入2，2后点击OK即可。激活此处：样品台泄真空时，Z方向自动下降到最低点激活此处：样品的上升时，SEM的工作距离自动进行更改。激活此处：样品台控制器失效17操作软件简介操作软件简介SEM Control：Vacuum界面点击Pump，样品室开始抽真空。点击Vent，泄掉样品室内的真空。激活此处：当机器在Standby状态时，真空泵停止工作。18操作软件简介操作软件简介快捷键：详细说明见下。19操作软件简介操作软件简介20操作软件简介操作软件简介21操作软件简介操作软件简介22操作软件简介操作软件简介数据区：显示电镜当前的一些参数控制真空，灯丝开关，EHT的开关
7、。当Gun或者EHT出现绿勾时，代表正在工作。Vac出现绿勾时，代表真空已经达到工作要求23操作软件简介操作软件简介显示鼠标左键和中键当前的功能24操作软件简介操作软件简介基本介绍25操作软件简介操作软件简介导出保存设定保存设定预览或更改保存设定导入注解保存设定管理保存注解26操作软件简介操作软件简介点击Display LUT可以对图片的明亮对比度，三元色进行修改跳出对话框27操作软件简介操作软件简介双击Toolbar有管理权限的人员才可以对菜单上的快捷键进行修改跳出对话框28操作软件简介操作软件简介双击或者Ctrl+A跳出注解对话框29操作软件简介操作软件简介选择注解对象选择鼠标控制撤销上次
8、更改导入注解保存注解删除所有注解导出区域选择加入文字注解导出参数插入用户bmp格式图片圆型注解区长方形注解区注解区直线粘帖面板放大区域微标尺固定长度标尺点对点距离测量角度测量正四边形测量圆测量左右宽测量上下宽测量可移动左右宽测量可移动上下宽测量30操作软件简介操作软件简介激活对话框后调出状态栏激活对话框后调出用户工具栏31操作软件简介操作软件简介数据区控制激活后，屏幕上显示米字准线32操作软件简介操作软件简介可以确定SEM Control 面板上的Fil I & Extractor V的数据是否正确（图片数据为模拟，每台机器，灯丝数据都不同）33操作软件简介操作软件简介常见问题：当使用AsB探
9、头时，如果看不见影像。请先检查一下左图的设置是否在“high”,然后检查工作距离，EHT是否过低。光阑尺寸是否过小。34操作软件简介操作软件简介样品台进行初始化。常见问题：当水冷机出现不正常工作后，重新启动水冷机并使之正常工作。有时会发生样品台不能动，重新启动电镜，EM Server 提示样品台没有初始化。这时需要初始化样品台35操作软件简介操作软件简介样品台位置的保存和调取常见问题：调取样品台位置的时候，一定要确定是同一个样品台和样品。以防止不同样品台和样品尺寸的不同，会碰撞到仪器的探测器或物镜。36操作软件简介操作软件简介连续中心点：激活此功能后，屏幕上出现一个十字座标。拖动十字座标到感兴
10、趣点，点击鼠标左键。感兴趣点将自动移到屏幕中心。37操作软件简介操作软件简介样品台导航器：显示样品座的位置和一些参数。请注意：这只代表样品座的位置。不是样品的位置。38操作软件简介操作软件简介用户名和密码的设定：在Tools下来菜单中选择Administrator39操作软件简介操作软件简介输入管理者的用户名和密码后出现以下对话框选择Users中的New40操作软件简介操作软件简介在下面填入相应的用户名，密码，保存目录和选择不同的权限41操作电镜的基本流程操作电镜的基本流程 将样品放入样品室，抽真空（抽真空时手推紧一下仓门）。将样品放入样品室，抽真空（抽真空时手推紧一下仓门）。真空度达到真空度
11、达到5.00e-005mbar5.00e-005mbar以下时，可打开设定的高压，取以下时，可打开设定的高压，取像。像。 移动样品台，使样品在物镜正下方，调节样品和物镜之间移动样品台，使样品在物镜正下方，调节样品和物镜之间的工作距离。选择需要的光阑和探头。放大倍率到最小。的工作距离。选择需要的光阑和探头。放大倍率到最小。使用鼠标聚焦，调节光阑对中和像散。提高放大倍数，再使用鼠标聚焦，调节光阑对中和像散。提高放大倍数，再聚焦，调节光阑对中和像散。如此类推，至需要的放大倍聚焦，调节光阑对中和像散。如此类推，至需要的放大倍数。数。 用去除噪音的模式，取得高质量的图片保存到指定的硬盘用去除噪音的模式，
12、取得高质量的图片保存到指定的硬盘目录中。目录中。 关闭高压，泄真空，取出样品。关闭高压，泄真空，取出样品。42操作电镜的基本流程操作电镜的基本流程样品台的安装：请注意图片上箭头方向43操作电镜的基本流程操作电镜的基本流程关于光阑，EHT和工作距离设定的一些原则不同的EHT，最大的工作距离也不同。详见下表44操作电镜的基本流程操作电镜的基本流程样品台控制器：当1号操纵杆上下移动，控制样品台上下移动。当1号操纵杆左右移动，控制样品台左右倾斜。当2号操纵杆上下左右移动，控制样品台前后左右移动。当旋拧2号操纵杆，控制样品台顺时或逆时旋转。45操作电镜的基本流程操作电镜的基本流程图片保存：当图片冻结后，
13、鼠标移动到图片上，点击鼠标右键后， 选择Send to，然后选择需要保存图片的格式46操作电镜的基本流程操作电镜的基本流程选中需要保存的图片格式后，跳出左边的对话框选择你要保存的目录输入要保存图片的名字保存图片47操作电镜的基本流程操作电镜的基本流程调出图片(请注意只有TIFF格式的图片才能SmartSem软件中调出）：鼠标移动到屏幕中央。点击鼠标右键，点击Import Tiff48操作电镜的基本流程操作电镜的基本流程点击Import TIFF后，跳出以下对话框选择要调入图片的文件夹选择要调入的图片49电镜离子泵烘烤流程电镜离子泵烘烤流程第一步：关闭电子枪和高压请注意：这个一定不能忘记！如果没
14、有关闭，会发生危险50电镜离子泵烘烤流程电镜离子泵烘烤流程第2步：用3mm的内六角，松开电缆线头部的四颗螺丝51电镜离子泵烘烤流程电镜离子泵烘烤流程第3步：拔出电缆线，并用铝箔纸盖住上面的孔洞和电缆头52电镜离子泵烘烤流程电镜离子泵烘烤流程第4步：在Tools Goto Panel Bakeout选择需要烘烤的时间，点击bakeout start53电镜离子泵烘烤流程电镜离子泵烘烤流程第5步：插入还原请注意：确认洞口没有杂物在里面，针一定要对准孔洞54电镜离子泵烘烤流程电镜离子泵烘烤流程第6步：插入还原后，锁紧4颗先前松开的螺丝。设备可以开始正常工作55日常维护和记录日常维护和记录请每个月检查
15、一次水机中的水量，保证水机中的水常满。每天记录下Fil I，Extractor V 和Extractor I(EHT On 和 EHT Off的数值）。56日常维护和记录日常维护和记录特别注意事项：当发生空调停机，不能控制电镜房间温度的时候。请将电镜和水机关闭。（尤其在天气热的时候）氮气不能超过0.3Bar,否则会损害到EDX探头57p经常不断地学习,你就什么都知道。你知道得越多,你就越有力量pStudy Constantly, And You Will Know Everything. The More You Know, The More Powerful You Will Be写在最后58感谢聆听不足之处请大家批评指导Please Criticize And Guide The Shortcomings结束语讲师：XXXXXX XX年XX月XX日 59
