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三氯化磷生产工艺流程方框图图例说明代号设备名称规格型号材质A溶磷池8000350015005B黄磷计量槽K3000L搪玻璃C氧化釜F10000L16MnD换热器1200500010 F272A3E中间槽120030008A3F成品槽3800800016 V=100mA3G洗磷塔12001000010A3H尾气吸收塔6004000PP流程简述：黄磷经溶解后，打入计量槽，用水压法慢慢将黄磷压入氯化釜内，液氯经热水完全汽化后，经缓冲罐进入氯化釜内，与黄磷在一定的温度、压力下反应生成三氯化磷气体，三氯化磷气体经洗磷塔后进入冷凝器冷凝，冷凝液经回流合格后，进入三氯化磷成品槽，不凝气体进入尾气处理装置，生产副产品盐酸。
