PN 结深度测量扩嶷转睐炭的岗量实验内容与目的1 .用磨角染色法测量硅片经硼扩散后所形成的 PN结的结深2 .使学生掌握PN结染色原理，了解实际扩散工艺制作的 PN结的深度实验仪器与原理1 .用磨角器，，金相显微镜白炽灯，电炉进行测量2 .用磨角法将Si片上pn结深尺寸放大，结深：磨角镭，、岖 磨角器枷先后其中：Z为P区测量值，Q为扩散结深，8=5磨角器的平台与斜面夹3 . Si的电极电位低于Cm Si能从硫酸铜染色液中把 Cu置换出来勺为优且在Si表 面上形成红色Cu镀层，又由于N型Si的标准电极电位低于 仲哒Si的标 准 电极电位，因此会先在N型Si上先有Cu析出，这样就把P-N结明显的显 露 出来4 .硫酸铜溶液的配方：CuSO4-5H2O: 48% HF: HzO=5g: 2mL: 50mL 染色液 中加入少量墙色曲解!番朋硅片表面的氧化物去除，使反应能顺利进 行实验步骤1 .磨角器放在电炉上加热，温度高于松香熔化温度时，用圮垠钳取下磨角器，将 被测硅片用松香沾在磨角器上然后，在玻璃片上用水和牙膏进行抛光， 直到露出斜面为止2 .用乙醇棉球擦拭磨好的硅片，取下硅片，放入硫酸铜镀液中，白炽灯照射30秒 钟，注意观察，当发现N型区染上红色后，立即将硅片投入水中清洗，然 后 用滤纸吸干。
3 .在显微镜上观察PN结，在测微尺上直接读取已被放大的，染红的N区尺寸4 5。