Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 1964年Patel研制成第一台CO2激光器第三章 CO2激光器氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 纵向封离型高气压型（ TEACO2 ） 流动型（轴快流、慢流）气动型波导型氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: (1)运转方式：连续或脉冲;(2)输出功率或能量相当大, 能量转换效率效率高;(3)波长范围：9-11 m 其中10.6m位于大气传输的窗口； (4)人眼使用安全：400-700nm损伤氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 放电激励 纵向低气压激光器 横向高气压激光器 射频激励 化学激励 气动氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 3-1 CO2激光器的工作原理（一） CO2分子的的能级结构CO2分子的结构：线性对称排列的三原子分子三个原子排列成一条直线（分子轴）中间是碳原子两端是氧原子氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: （二） CO2分子的振转跃迁CO 2分子二条最强的跃迁谱线 10.6m 0001 1000 9.6 m 0001 0200氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 虽然有多条荧光谱线,但在激光器中能同时形成激光振荡的只有1至3条,这是因为同一振动能级的各转动能级之间靠得很近,粒子在能级间转移很快(10-7 10-8s),一旦某一转动能级上的粒子跃迁后,其他能级上的粒子就会按玻尔兹曼分布规律,转移到这个能级上来,而其他能级上的粒子数减少,这就是转动能级的竞争效应.由于这种竞争效应,如果工作条件使得某条谱线的增益系数较大,则此谱线首先起振,而同时抑制其他谱线振荡.氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: （三） CO2激光器激光上能级的激发过程1. 电子直接碰撞激发式中: CO2*(0001) -CO2分子的激发态 2. 串级跃迁激发 氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 3. 共振转移激发在CO2中掺有N2(氮)和CO,它们被电子碰撞激发到各自的激发态,这些激发态的分子可把能量转移给CO2基态,使CO2跃迁到0001能级.N2分子:CO分子:氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 4. 复合过程 放电过程中,有部分CO2分子会分解成CO和O,同时也存在CO和O的复合过程,在复合时,把原来分解时所需要的能重新释放出来,使CO2分子激发到0001能级.这个过程比前三个过程起的作用小得多. 被激发到激光上能级(0001)的CO2分子,除了受激辐射引起衰减外,还存在一些其他因素使其衰减.我们把后者引起的衰减称为消激发. 引起消激发的主要原因:碰撞和扩散.氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: （四） CO2激光器激光下能级的弛豫 由于CO2分子激光下能级1000和0200的辐射寿命很长,从激光上能级跃迁到这两个能级的粒子,不能靠自发辐射很快返回到基态,这必然会降低粒子反转数.为尽快抽空下能级,必须靠与其他粒子碰撞.碰撞抽空下能级的弛豫过程分为两步进行:第一步: 1000和0200能级的驰豫氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 第二步: 实验发现,CO2激光下能级的“抽空”主要是靠气体分子间碰撞,而不是靠与管壁碰撞.所以放电管直径的大小对输出的影响不大,特别是大功率激光器更是如此.因此,CO2激光器不象He-Ne激光器那样一定要用很细的毛细管.0110能级的驰豫氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 思考题:二氧化碳激光器中充入He气和N2气的作用分别是什么？二氧化碳激光器的“瓶颈效应”指什么？怎么克服？氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 3-2 纵向放电激励的CO2激光器（一） 器件结构 尽管结构形式各异,但一般都是由工作气体,放电管, 谐振腔和电源所组成.图2.2-3 纵向放电封离型 激光器的典型结构氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 谐振腔内两行波的传播氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: （二） 输出功率及其影响因素1. 输出功率设: - 驻波场中两列相反方向传播 的行波的光强. - 归一化光强 - 谐振腔的两反射镜 - 反射率 (3.2-1)氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: (3.2-2)(3.2-3)有:得:(3.2-4)(3.2-5)由激光原理知，氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 所以则(3.2-7)将(3.2-1)式代入(3.2-7)式得由(3.2-4)和(3.2-7)式可得(3.2-9)(3.2-8)氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 将上式积分得(3.2-10)同理得(3.2-11) 将(3.2-10)和(3.2-11)两式相加,并将(3.2-1), (3.2-7)和(3.2-8)式代入和式中,可得 (3.2-12)氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: (3.2.2-13) 于是激光输出功率可表示为 除透射损耗外,腔内其他单程损耗为a, 又可写为: 氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: (3.2-14)2. 影响输出功率的几个重要因素(1) 放电管的长度和内径 长度: 内径:影响不大氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: (2) 气体成分和气压 CO2激光器中含有适量N2,CO,He,Xe,Ne,H2, H2O等气体时,能显著提高输出功率,而含有Ar,N2O时,能大大降低激光器的输出功率. 含N2组份主要充入CO2+N2+He+Xe+H2 含CO组份主要充入CO2+CO+He+Xe 增加总气压可增加产生激光的分子数目,所以总气压升高应该增加输出功率,总气压存在最佳值.最佳气压与放电管内径有关,粗管的最佳总气压比细管的低.氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: (3) 放电电流 放电电流也有最佳值,电流升高,放电管内的电子数目增多,可以激发更多的反转粒子数,但电子过多又会因碰撞消激发而使反转粒子数减少. 最佳放电电流与放电管的直径,管内的总气压以及气体混合比有关.氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: (4) 温度温度升高引起输出功率下降的三点原因: 温度升高后,激光上能级的消激发速率增加,而激 光下能级由于热激发则会使粒子数增多,两者都 导致粒子反转数降低. 气体温度升高后,谱线宽随之增宽,增益系数下 降. 气体温度升高还会造成CO2分子分解,导致放电管内 CO2分子浓度降低.氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 冷却的方法: 冷却激光管壁 流动气体法(5) 谐振腔 振荡模的体积要尽量大,最理想的情况是振荡模的体积与等离子体的体积相等.对应最大输出,存在最佳透过率.氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: （三） 器件寿命 影响封离型CO2激光器寿命,有个重要的因素是CO2分子在工作过程中发生离解. 离解后的O2仅有小部分能与CO在复合成CO2,大部分在阴极表面与金属材料形成化合物或与N2分子结合成N2O化合物,而这些化合物都比较稳定.因此,随着放电的不断进行,CO2分子浓度越来越低,激光输出则越来越小,使器件寿命明显降低. 氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 为了提高器件寿命,要设法减小氧的损失:一是选择合适的放电管材料和电极材料,减小对氧的吸收和限制氧化物的生成;（Ni作阴极等）二是加入适当的辅助气体,“催化”CO与O2复合成CO2的过程.氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 小结： CO2激光器的工作原理 一、CO2分子的的能级结构四能级系统 二、CO2分子的振转跃迁 三、CO2激光器激光上能级的激发过程（3种+1复合） 四、CO2激光器激光下能级的弛豫（2步） 纵向放电激励的CO2激光器 一、器件结构 二、输出功率及其影响因素 5方面主要因素：气体成分与气压、放电电流、温度、毛 细管尺寸（l、d）、谐振腔模体积 三、 器件寿命氧化碳激光器课件Laser Device and Technology Email: ; Tel: ; :21265964; Msn: 3-3 横向放电激励的高气压CO2激光器 （简称TEACO2激光器）TEACO2激光器1969年问世。
由于其工作气压高，若仍采用纵向放电激励，则由于pl值大, 势必要求端电压V很高.为避免电压过高产生的诸多麻烦,采用横向放电激励方式，横向放电激励,可以大大减小两极间的间距但由于极间距较短,放电面积较大,不易保证在整个放电面积都能获得均匀辉光放电, 局部区域会出现弧光放电现象, 影响器件正常工作 如何获得大面积均匀放电成为TEACO。