一、 工艺规范 1、本碱性蚀刻液分母液和子液，母液是开缸槽液，子液是独立添加液其成分指标如下表：母液子液铜含量150±5g/L氯含量4.8±0.2M4.8±0.2MPH值8.6±0.259.6±0.25比重1.18±0.011.05±0.02 2、操作规范铜含量氯含量PH值比重温度140-160g/L165-185g/L8.2-8.91.195-1.2148-52℃二、操作规范 1、净槽 使用前先将蚀刻机按常规的碱和酸清洗后,用5﹪的盐酸清洗,再用5﹪的氨水搅拌十 分钟后排出洗液. 2、加料调速 加入母液至液面,升温至48℃以上即开始蚀刻.先以刷磨过的裸铜板测试上下压，调整传动速度,即可正式生产. 3、最佳操作范围铜含量氯含量PH值比重温度喷压140-160g/L4.07-5.5M8.2-8.91.19-1.2145-50℃18-25PSI 4、蚀刻速度 (裸铜板测试,与设备蚀刻段的长短相关;蚀刻因子大于2.5)铜厚0.5 OZ1.0 OZ2.0 OZ时间25S左右40-50S80-90S三、添加方式 1、手动操作 l 当比重超过1.21或铜含量超过160g/L时,可除去1/5槽液,并添加子液至液面;. l 因换液后溶液温度会下降,所以须等溶液循环5-10分钟后才能恢复蚀刻; l 长时间不用或抽风太强PH值会降到8.0以下,做板时的铅锡洁白效果会降低,此时可添加20升左右的氨水恢复PH值及板面的洁白度,氨水添加时宜循环慢加,以免破坏成分比例. 2、自动添加 l 当工作温度达到后,设定比重1.21或铜含量150g/L; l 自动添加开始动作时取槽液测试含铜量和比重，了解与设定值之误差； l 自动添加器必须只有在温度达到后才能启动（铜量一定温度不同比重不同） l 因管路输送的关系，槽液在自动控制器值为150g/L时,槽内的实际含铜量会超过150g/L,通常有±5g/L的误差，要正确掌握. 四、槽液维护和管理 1、定期检查自动控制之比重和槽液比重是否相符而适当校正. 2、定期分析槽液的PH值,铜含量和氯含量,汇总制成图表以作参考. 3、长期不使用时可多加子液以避免氨气的过量损失 4、氯化铵添加时应先在槽外溶解再加入槽内,其添加量的计算为:(氯含量单位为g/L) 添加量(Kg) = (氯标准-分析值)×槽体升数×0.00151 5、同样的溶液PH值在50℃时与常温会表现不同的值,换算公式如下: PH(50℃) = PH(T) – 0.021×(50-T) 例如T=24℃时, PH(50℃) = PH(24) – 0.021×(50-24)=8.86-0.021×26 6、溶液PH值的影响因素:温度,校正用的标准液,设备等 7、同样的溶液比重在50℃时与常温会表现不同的值,差约0.01,比重差0.01表现的铜含量约差10g/L.50℃25℃铜含量(g/L)1.1901.2001401.2001.2101501.2101.2201601.2151.225165五、分析 1、CU 的含量测定 方法: 吸取10毫升槽液于250毫升的锥形瓶中,加水100毫升,加入50% 硫酸至溶液兰色消失为止;加入50%的KCNS 10毫升,KI 1克,淀 粉指示剂5毫升;用0.1N 的Na2S2O3标准液滴至兰色刚好消失 为终点,记下所耗用的Na2S2O3滴定ml数. 计算: 铜含量g/L = 6.4×NV 式中: N -- Na2S2O3标准液的实际当量浓度 V --- 所耗用的Na2S2O3 滴定ml数. 2、氯含量的测定 需要试剂•0.5M AgNO3溶液 •25% HNO3溶液 •K2CrO4指示剂分析方法：①取1.0ml样品到一个250ml烧杯中，加30ml DI水;②若样品为无铜的子液则加1ml5%的硫酸铜溶液使其变为兰色,含铜的槽液不需添加;③用25% HNO3溶液加入样品中以调整溶液颜色至透明,微带浅兰色的状态(须小心不可过量,否则要滴加氨水还原成深色后再重复操作);④加入数滴K2CrO4指示剂(注意溶液加入后须仍为清澈透明,否则可滴加25% HNO3调整,此时溶液微带浅绿色);⑤用0.5M AgNO3溶液滴定,同时搅拌被滴定溶液,不可有大颗粒的沉淀产生,溶液沉淀物由粉白转为出现褐色颗粒时即为终点,记下所耗用的AgNO3溶液体积.计算: 氯含量(g/L) = 17.75×V 或 (M) = 0.5×V式中: V --- 所耗用的AgNO3溶液滴定ml数.六、问题与对策问 题可 能 原 因对 策速度降低1. 温度低或加热失灵2. 比重高铜含量大1. 加热升温2. 添加子液蚀刻不匀上下两面1. 喷嘴阻塞2. 喷嘴方向不好3. 滚轮位置不好4. 喷管流量不匀1. 检查喷管(嘴)2. 调整位置和角度3. 调整4. 调压局部1. 显影去膜不彻底2. 干膜制程发生膜渣3. 压膜前板面清洁不够4. 去膜液碱性太强5. 电镀渗锡1. 加强2. 修补底片上微孔3. 加强清洁4. 降低碱性5. 改善电镀沉淀1. 氯- 铜比值不对2. PH低或漏水,进水太多3. 比重过高1. 调整氯- 铜比2. 提高PH3. 添加子液侧蚀大,蚀铜过度1. PH值过高2. 速度太慢3. 压力过大4. 比重太低1. 降低2. 减速3. 降压4. 增加铜浓度。