光阻剥除剂产品用途

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1、清洗劑,產品用途 (PURPOSE) 本產品是專門為清洗附著於玻璃基板/LED等相關產業的表面污染物所設計開發之優良洗淨劑。本清洗劑洗淨效果顯著,只需少許用量,能在短時間內將污染物徹底去除、清洗容易,使玻璃基板表面光亮,不留痕跡並具有生物分解性,達到清潔、保潔的目的,又符合經濟環保概念。,產品特性 (CHARACTER) eSolv CG-121 Glass Cleaner為高濃縮經濟配方,可依髒污程度的不同,經由機台電導度計調整稀釋程度,用量經濟實惠,可大量節省成本。 適用於高科技平面顯示器相關產業中玻璃基板的濕式清洗,微塵、指紋、油污、有機物等材質均能輕易去除,為具有優良效果的洗淨劑。 含

2、特殊的金屬防蝕劑,對於金屬材料不會產生腐蝕。 無刺激味及低COD、BOD配方,使用時既環保又安心。,顯影液,產品用途 (PURPOSE) 本產品的配方特別設計在用於彩色濾光片(CF) RGB/LED等相關電子產業光阻之顯影,主要針對在解決RGB光阻顯影後快速將被顯影液lift off之光阻分解並且降低泡沫,使其不會因藥液循環而導致回沾至玻璃表面因而產生殘留現象。,產品特性 (CHARACTER) eSolv DS-310 series 為AB型濃縮經濟配方,可依使用情形的不同,調配AB藥液比例,用量節省,可大量降低成本,適用於平面顯示器製程 。 eSolv DS-305 series 為單一配

3、方,只需以DIW稀釋即可應用至CF顯影製程上 eSolv DS-310 and DS-305顯影時線寬穩定性高,適當自動添加可使Life Time 增加 eSolv DS-310 A型成分主要為高濃度之KOH及各項親水配方 B型成分主要為界面活性劑 建議eSolv DS-310 產品操作濃度為 A:B:DIW=22:20:20000 , 如此即可得到20042kg20ton之RGB顯影液。而eSolv DS-305產品操作濃度為個drum倒入混酸筒中直接加入DIW即可使用,產品用途 (PURPOSE) 光電產業用於導電ITO(氧化銦錫)蝕刻製程之化學品,利用特定氧化銦錫蝕刻液溶液(eSolv

4、EG-418)與ITO薄膜間所進行的氧化還原化學反應,去除未被光阻覆蓋的ITO膜,以達到ITO線路成形之目的。,產品特性 (CHARACTER) ITO(氧化銦錫)薄膜玻璃是驅動液晶顯示器,有機發光二極體(OLED)等相關產業不可或缺的零組件,eSolv EG-418 series產品對其蝕刻線路成形效果優良,與ITO化學反應速度快且不傷害光阻pattern ,能避免蝕刻所造成undercut過大之情形發生,目前此系列產品有3種, 、 EG-418 系列,此系列以王水為主,二、EG-422系列,此系列為氯化鐵base,三、 EG-420 系列,此產品為草酸系列,兩者接可輕易完成ITO所需蝕刻要

5、求,除此之外,並能依據客戶需求研發針對客戶所需之ITO蝕刻液。,ITO Etchant,Cr Etchant,產品用途 (PURPOSE) 半導體光電產業用蝕刻製程化學品,適用於蝕刻鉻金屬層,利用特定鉻金屬蝕刻液溶液(eSolv EC-201)與鉻金屬薄膜間所進行的氧化還原化學反應,去除未被光阻覆蓋的鉻金屬,以達到鉻金屬線路成形之目的。 。,產品特性 (CHARACTER) 為光電產業用之特殊金屬蝕刻液,其蝕刻效果優良,可輕易達成所需蝕刻要求。 與鉻金屬化學反應速度快且不傷害光阻pattern ,能避免蝕刻所造成undercut過大之情形發生,目前此系列產品有EC-201 系列,此系列以硝酸為

6、主,另一產品為EC-203 ,此產品為過氯酸系列,兩者皆可輕易完成鉻金屬所需蝕刻要求,除此之外,並能依據客戶需求研發針對客戶所需之鉻金屬蝕刻液。,Al Metal Etchant,產品用途 (PURPOSE) 光電產業用導電金屬蝕刻製程化學品,適用於蝕刻鋁金屬層,利用特定鋁金屬蝕刻液溶液(eSolv EA-855)與鋁金屬薄膜間所進行的氧化還原化學反應,去除未被光阻覆蓋的鋁金屬,以達到鋁金屬線路成形之目的。,產品特性 (CHARACTER) 鋁金屬線路具有優良導電特性,因此FPD ,LED ,有機發光二極體(OLED)或其他產業皆以其為首要考量成為產品導線,如TFT之Source及Gate l

7、ayer , OLED之陰極均以鋁金屬為主, eSolv EA-855 series產品對其鋁金屬蝕刻效果優良。可輕易完成所需蝕刻要求,並能依據客戶需求研發針對客戶所需之鋁合金金屬蝕刻液。 eSolv EA-855 series蝕刻鋁金屬可得到極佳等向性蝕刻,降低under cut CD值,光阻剝除劑,產品用途 (PURPOSE) 本產品的設計能夠有效且迅速地去除正及負型光阻劑,且不會對鋁、鋁合金、鉻、鎳、銅等金屬造成腐蝕現象。且因不含苯酚及氯化物溶劑,可降低對人體及環境的不良影響。,產品特性 (CHARACTER) eSolv RE-295泛用型光阻剝除劑能迅速有效地剝除正及負型光阻劑,廣泛

8、適用於半導體、發光二極體、光罩板、印刷電路板等相關產業。 對於去除陶瓷封裝上環氧樹脂的油墨,玻璃器皿上的油脂及有機物質,分解晶圓殘留的蠟也很有效。,無塵室地板清潔劑,產品用途 (PURPOSE) 特別為需要潔淨環境之場所,所設計之地板清潔劑,由於本產品為低鈉,低鉀等金屬成分,並經過0.2微米之過濾器,於無塵室環境下裝填,以減少金屬及粒子等材質之污染,因此非常符合光電產業以及半導體等相關行業之需求。,產品特性 (CHARACTER) eSolv CF-88 Floor Cleaner為濃縮液,需稀釋後使用。 可用於清洗聚氯乙烯(PVC)、油布、壓克力板及不銹鋼等材質之地板而不會傷害漆面。 可減少靜電之生成。,

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