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1、 双频激光干涉仪 ZLM 700 / 800 /900 Dual Frequency Laser Interferometer 系统部件及附件 Components and Accessories 上海贝丁汉工业自动化设备有限公司总代理 网址： 手机：13564994396 电话：021-50265166 传真：021-23010464 QQ：909524716 德国耶拿尔测量技术有限公司制造 采用 卡尔蔡司 光学元件 请以英文为准 中文仅供参考 上海贝丁汉工业自动化设备有限公司独家代理 目录 / Table of contentsZLM 700 / 800 / 900 目录 Contents
2、 基本信息基本信息 / System information . A 技术参数/ Performance data AE950.A-1 ZLM700 激光干涉仪系统/ System summary ZLM700.A-4 ZLM800 激光干涉仪系统/ System summary ZLM800.A-5 ZLM900 LSI 激光干涉仪系统/ System summary ZLM900 LSI.A-6 ZLM900 LSI 3D 激光干涉仪系统概/ System summary ZLM900 LSI 3D.A-7 系统构成系统构成/ System versions. B 构成各系统的光学镜组件/
3、 Choice of possible system versions.B-1 光学镜模块光学镜模块/ Optical modules. C 标准模块/ Standard modules.C-1 90光束转向镜 / 90 beam bender.C-2 分光镜 / Beam splitter.C-3 反射镜 / Reflectors.C-4 直线度测量的光学模块/ Optical modules for straightness measurement.C-5 垂直度测量的光学模块 / Optical modules for squareness measurement.C-7 位移测量的光学
4、模块 / Modules for distance measurement.C-8 角度和平面度测量的光学模块 / Modules for angle and flatness measurement.C-9 振动测量的光学模块 / Modules for vibration measurement.C-11 测量 120m 长度的光学模块 / Modules for distance measurement up to 390f.C-12 使用小反射镜来测量距离的附件/ Accessories for distance measurement with small reflector.C-1
5、3 空间倾斜度测量的光学模块/ Measuring of the space slant.C-14 平行式干涉镜/ Parallel interferometer.C-15 八倍光路干涉镜的光学模块 / Optic modules for 8fold interferometer.C-16 带光阀 308 的平行式平面干涉镜 301/ Parallel plane mirror interferometer 301 with lightvalve 308.C-17 单光束干涉镜 / Single beam interferometer.C-18 调整用部件调整用部件 / Elements fo
6、r adjustment. D 调整用的扩展模块 / Extension modules for adjustment.D-1 挡板 / Stops.D-2 安装用部件安装用部件 / Mounting elements.E 上海贝丁汉工业自动化设备有限公司独家代理 目录 / Table of contentsZLM 700 / 800 / 900 目录 Contents 系统附件系统附件/ System accessories.F 激光头 / Laser measuring head. F-1 激光头中的光学模块/ Mounting optic modules on laser measuring head.
