半导体厂消防设施安全基准半导体厂消防设施安全基准半导体厂消防设施安全基准(建议草案)适用范围引用标准及说明目的：本基准旨在提供半导体制造厂之制程区及支持区消防设施之安全规范危害物(HPM)的储存、运送和使用应以本规范为依归相关的消防安全设施和系统必须随时维持在可使用的状态本基准草案主要是根据 UFC Article 51 的内容，并参酌我国消防法、NFPA 318、FM Loss Prevention Data、及 SEMI S-2 0>Doc. 2697 等资料编写而成名词解释：制程区(Fabrication area)危害物(Hazardous Production Material；HPM)危害物易燃性液体(HPM Flammable Liquid)危害物储存场所(HPM Storage Room)紧急紧报系统(Emergency Alarm System)防灾中心(Emergency Control Station)服务走道(Service Corridor)制程设备(Workstation)闪点(Flash point)沸点(Boiling point)1.半导体厂火灾之预防我国消防法1.1 通则:尽量减少火源与可燃物接触的机会。
1.2 火源管制:1.2.1 一般火气：严禁吸烟，使用火柴、打火机1.2.2 作业用热源：不使用直接燃烧气体进行加热干燥，应采用热媒间接加热方式1.2.3 临时动火：应在责任者之充分监督下才准使用1.2.4 电气设备：密闭室内使用防爆型以外之电气设备时，不得使用会发生可燃性蒸气之溶剂若无法避免，即使在电源切断时，应须进行充分换气作业1.2.5 静电：讲求抑制静电发生及防止带电之方法1.3 可燃物之管制：1.3.1 周围之不燃化:钢瓶、容器储存场所，应采耐火构造，并与其它建筑物隔离，并尽可能避免可燃物之进入排气系统之风管，应使用不燃材料；但一般所称难燃材料（耐燃三级） ，在长时间火焰作用下仍会引燃，故排气风管不得使用该种材质排放管内之沉积物，应定期检查排放及清洗耐燃三级系由中国国家标准 CNS6532 所规范者1.3.2 气体漏泄之防止:由于不可能完全不使气体漏泄，故重点在于万一漏泄发生时，如何防止起火或产生滞留爆炸1.3.3 可燃性液体泄漏防止：A.使用密闭容器B.配管之使用：可燃性液体之处理场所应设置于与贮存处所或作业场所有别之安全场所，再使用配管将制程所需必要的最小量送入制程区C.泄漏之局限化：作业场所之楼地板应为液体不会浸透之构造，并有适度之坡度或排液沟。
处理槽应设于安全位置1.3.4 爆炸性混合气体形成之防止(换气)：引火点(闪点)在周围最高温度以上之可燃性液体，可采自然换气方式；引火点在环境气温以下者，须采强制换气方式可燃性液体蒸气通常较空气重，其换气装置之排气口应设于靠近蒸气发生源之低处，而进气口则以设于高处为原则换气装置应使用防爆机型危险装置附近应设于气体侦测器俾能随时检测2.半导体厂之消防设施2.1 制程区之火灾侦测：2.1.1 洁净室之探测器应选用能适应平时洁净环境能感应其变化程度设定之侦烟器，并应安装在在回风管之吸气口处火灾侦测系统应采极早期预警型式NFPA 318 和 FM LPD 7-7 之规范2.1.2 氢(H2)之燃烧火焰几乎完全不会释放出红外线，因此其储存区域或使用区必须使用紫外线火焰探测器2.1.3 排放管路之火灾探测系统：应采感知速度较快之火焰探测器2.2 自动洒水系统：洒水设备系统必须符合相关建筑法规和「各类场所消防安全设备设置标准」之要求警报讯号必须送至防灾中心可参见第 43 条至第 60 条之规定海龙灭火设备可防止制程设备之二次损害，但有环保(破坏臭氧层)问题，可采用海龙替代品(须经内政部消防技术委员会审议通过者)防护之。
例如 FM-200 (LPD 7-7，17-12)2.3 火警警报系统：凡在高度危险工作场所必须全面性的备有手动火警警报系统其激活必须能在原地发出警报声，同时相关讯号须传送至防灾中心该系统之设计及安装应符合「各类场所消防安全设备设置标准」之要求可参见「各类场所消防安全设备设置标准」第 129 条至第 132 条之规定2.4 防排烟设备：火灾时，空调机之运转应予停止必要处所，应设置排烟设备或参考防火防烟区划安全基准 6.7 之规定2.5 通报设备：除前述洁净室内极早期警报系统或风管内适用之火警探测系统外，其它厂务设施空间适用之火警通报设备，与一般防护空间相同2.6 电气防灾设备：2.6.1 通则：应特别注意停电时所造成的不当灾害2.6.2 感电部分：A.电气设备之接地B.应设有感电防止用漏电遮断器等控制设备C.高电压、大电力之半导体制程设备，应依下列规定：明白标示作业中不致接触或接近之安全棚架、绝缘覆体等设接地棒应有微控开关门扇不动作之防止应有作业前之自动检查并予纪录2.6.3 停电部分: 灭火设备、照明、引导灯、特定制程设备、有害气体排气设备、制程装置用冷却水设备等应设置不断电设备（UPS） 、蓄电池、紧急发电机。
2.7 避难救助设备:半导体厂房多属台湾消防法规之无开口楼层，故应有建筑技术规则第八十九条至九十九条A.避难器具之设置B.出口标示灯、避难指示灯C.紧急进口D.紧急照明设备2.8 安全保护器具：使用毒性气体区域，应设有适应各毒性气体特性之呼吸用保护器具，其种类如下：过滤式 防尘罩防毒罩 呼吸用保护器具 送气罩 hose-mask供给式 airline mask自给式呼吸器 空气呼吸器O2 呼吸器3.制程区3.1 制程区必须符合建筑法规或防火防烟区划安全基准之相关规定见前述之「防火防烟区划安全基准」3.2 位置：制程区之位置必须位于一楼或以上之楼层3.3 危害物最高储存量：单一制程区内危害物的平均密度不得超过下表（表一）所规定之上限 若任何单一制程区之总量未超过表二所规定之总量上限，则不受上述 3.3 之限制表一 单一制程区中危害物平均密度上限 1.2状态单位易燃性氧化剂腐蚀性固态液态气态Kg/m2L/m2m3/m20.0051.633320.151.220.3810.0153.260.914上标说明：1 该平均密度不适用于管路中之危害物。
2 易燃性，有毒性气体的最大容许总量不得超过表二之上限3 易燃性和可燃性液体的平均密度不得超过下述之量Class (I-A)+(I-B)+(I-C)（混合之易燃性液体）=1.020其中 Class 1-A 不得超过=0.102Class II=0.41Class III-A=0.82说明:Class I-A 液体：闪点(23(C，沸点(38(CClass I-B 液体：闪点(23(C，沸点(38(CClass I-C 液体：闪点(23(C，沸点(38(CClass II 液体：38(C(闪点(60(CClass IIIA 液体：60(C(闪点(94(CClass III-B 液体：闪点(94(C上述公制数字系相关英制数字转换而来，原英制数字可见下页表二 单一制程区中危害物最大容许总量物 质最 大 容 许 总 量易燃性液体341 LClass I-A681 LClass I-B1022 LClass I-C1363 L混合之易燃性液体可燃性液体Class II1363 LClass III-A2839 L易燃性气体255 m3【常压常温(21℃)下】液化易燃性气体681 L易燃性固体680 Kg腐蚀性液体625 L氧化性物质－气体510 m3氧化性物质－液体568 L氧化性物质－固体680 Kg过氧化性13.6 Kg高有毒性物质及有毒性或高有毒性气体包括在上述易燃性气体之总量，而不论其可燃界限范围。
上述公制数字系相关英制数字转换而来，原英制数字可见下页3.4 通风要求：3.4.1 通则：每平方公尺楼地板面积至少有每分钟 0.3 立方公尺之通风量原数字 1ft3/min./ft2 楼地板面积3.4.2 分离系统：在建筑物内任何制程区的回风系统不得与其它系统连结3.4.3 通风控制：空气供应或循环系统，或两者，都应在制程区外设有手动控制开关消防主管机关得要求设立额外的手动开关位置3.5 特别要求：3.5.1 溢流控制：若危害物之气体供应高压管线破裂，必有一失效－安全(Fail-Safe)系统来关闭气体供应若供应管线是源起于危害物储存场所，则溢流控制阀必须设在此场所内；若管线源起于建筑物外，则溢流控制阀则应设置于建筑物外，亦尽可能接近于供应源处3.5.2 管线设备：管线设备必符合相关要求标准除非管线是置放在密闭管道空间，否则具有 3 或 4 人体健康危害等级（health hazard ranking）之危害物的供应管线，其所有接头处必须焊接和钢制管线不能兼容的物质，或许可用非金属管线，但其接头仍须经过验证3.5.3 气体监测系统：在危害物气体之使用或分装的储存区域或场所，不论其否对人体有害，都必须设有持续性之气体监测系统。
在运送过程中，若易燃性气体或蒸汽量有超过其爆炸下限百分二十之可能性时，必须有持续性之气体监测系统这些监测系统须和防灾中心联机4.制程区内之制程设备4.1 制程区内之制程设备之材质必须和其使用之化学品原料兼容制程设备之危害物气体和可燃性液体流经之处必须为不燃材料若为金属，则厚度不得小于 1.12 公厘(18 号钢)另外危险气体和液体储槽必具有经认证之抗震性原数字 0.044-inch(18gage)4.2 危害物最大容许总量：如表三所示表三：制程设备中危害物最大容许总量材 料状 态最大容许总量易燃性及有毒性气 体液 体固 体3 瓶57 L2.3 Kg腐蚀性气 体液 体固 体3 瓶95 L9 Kg氧化性气 体液 体固 体3 瓶45 L9 Kg上述公制数字系相关英制数字转换而来，原英制数字可见下页4.3 排气通风4.3.1 设计基准：应能完全排除制程过程中产生的熏气(Fume)和蒸汽4.3.2 管道系统A.材质：管道材质必须符合机械法规B.反应物：若排放之物质会在管道内造成火灾，爆炸或危险之化学反应，则应有两种以上之排放选择，且不能和主排放系统结合。
C.穿墙：若排放系统必须穿墙至制程区外，其应置于具有防火时效之管道间内排气管道不得穿越制程区内区域之区划不得在排气管道中设有防火闸门（板） D.消防设施：在下列情形，排放管道内部必须设有洒水装置i)管道之最大管径大于或等于 25 公分原数字 10-inch(ii)管道系在建筑物内iii)该管道系用来运送在可燃范围内之气体或蒸汽若管道系可燃非金属材质所构成，且其最大管径大于或等于 25 公分，则须加撒水装置原数字 10-inch**若管道已明定不须有撒水装置或其装设在天花板下且其长度未超过 3.7公尺，则不受上述限制原数字 12 ft4.3.3 紧急电源及控制：排气系统必须具有紧急电源其设计及设置必须符合电力法规该紧急电源必须能维持至少一半正常风扇运转速度，以保持环境的安全4.4 消防设施：撒水设备之有效范围须能覆盖制程设备之水平平面且不得受到任何阻碍若制程设备系由可燃材质所构成，则撒水设施必须设置在排放装置与装备接壤处，或者不得超过该接壤处 1.2 公尺以上之距离洒水头及接到管道之管线必要时，应有防腐蚀之保护层该洒水装置应易于作定期性的检查撒水系统设计必须考虑到喷洒型式及其对设备的影响。
原数字 4 ft**若使用下方式，则不受上述条件限制1.经审核认可之其它替代灭火系统，其激活可使相关的制程设备停止运作2.若制程设备操作温度超过 500℃，且附有自动停止危害物供应装置者3.若易燃性气体之钢瓶柜系在制程设备内，且其排气管线管径在 25 公分以下者原数字 10-inch4.5 电器设备：若电器设。