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1、1,蚀刻流程教材,修改日期：03/30/2001,2,课堂纪律,一、防止外来因素干扰，关掉传唤机，手机等传唤工具二、急事离开可事先提出，不可尚自离座位，有固定的休息时间。三、在导师未允许时，禁止互相谈论。,3,目录：,蚀刻简介-3蚀刻工艺流程及原理-4-5蚀刻常见质问题及对策-6-9环保-10,4,蚀刻简介：蚀刻由显影、蚀刻、褪膜三大部份组成。显影为将未曝光部份溶解，曝光部份保留。显影的决定速度可按露铜点50-70%决定。蚀刻是将裸露的铜面蚀掉，从而得到我们所需的图形。褪膜是利用强碱将干膜溶解剥离原理，将干膜冲洗干净。NaOH浓度控制1-4%。浓度过高会造成板面氧化，太低又冲洗不干净。,5,蚀
2、刻工艺流程：,显影蚀刻褪膜显影目的是将末曝光之干膜溶解。曝光部份保留下来，其原理是经曝光后的干膜遇弱碱不能溶解，而末曝光部份能溶解掉，蚀刻目的是将露铜面的铜溶解掉，而有干膜部分保留下来。其工作原理为：Cu+CuCl22CuCl2CuCl+HCl+H2O22CuCl2+2H2O2CuCl+HCl+1/2O22CuCl2+H2O,6,各种药物在蚀刻液中的必要性及效果。HCL作用1、使CuCl转化为CuCl22、使蚀刻速度增高。3、促进蚀刻速度长期稳定化4、HCL浓度过高会伤ResistH2O2作用1、使Cu+Cu2+起催化作用2、起再生作用,7,蚀刻常见的品质问题有：1、开路2、短路3、蚀刻末净4
3、、线幼5、蚀刻过度药水控制浓度及工艺参数：Na2CO30.9-1.3%HCL3.0-5.0NCu2+100-120g/lNaOH1.0-4.0%显影压力为25-30PSI蚀刻压力为35-45PSI显影的速度控制应保持露铜点50-70%,8,对策：对于开路在蚀刻段主要原因有：1、运输轮的擦花2、压辘会粘起干膜。我们可检查运输轮将变形之运输轮的胶圈更换解决这问题，同时可定期更换运输轮来预防这一问题的发生。3、对于压辘粘起干膜，我们要求每天每次开机前用清水清洗压辘，将结晶盐溶解，同时每星期定时用酒精擦压辘。,9,短路的成因有：1、显影不干净2、运输轮本身粘有干膜碎对策：1、对于显影不净可控制显影速度的合理性和采用圆锥形的喷嘴，并保持显影压力。2、运输轮本身粘有干膜可停止开风刀来防止3、油粘在铜板的表面我们可用吸油绵或更换过滤棉蕊来解决。,10,蚀刻未净的原因有：1、蚀刻速度过快2、蚀刻药水太稀对策：可适当降低蚀刻速度线幼的原因有：1、蚀刻温度过高2、显影速度太慢对策：1、降低蚀刻温度2、加快显影速度太慢,11,环保上理方面：对于褪去的干膜，我们采用的是高温焚烧的方式去解决，关于蚀刻废液的排放，我们采用AQVA，采用小量的排放，保证废液锤度小于1.1，对于开缸前的药水采用回收药水的方式。,12,谢谢!,
