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1、苏州江川环保科技有限公司废气处理设备操作保养说明书硅烷燃烧塔废气净化系统设备使用说明书一、硅烷燃烧塔净化系统简介工艺原理：为减少硅片表面反射，提高电池的转换效率，需要沉积一层氮化硅减反射膜。多数太阳能电池生产企业采用PECVD（即等离子增强型化学气相沉积）设备制备减反射膜，将硅片放置在PECVD设备内，通入的SiH4和NH3经高频光放电反应生成Si3N4，并沉积在硅片表面形成固态薄膜，即氮化硅薄膜。 该环节产生的废气主要为SiH4和NH3废气，针对该废气的化学性质，设计先将SiH4送至不锈钢燃烧罐内温和的燃烧，再将燃烧后的产物SiO2以及NH3通过一台2级喷淋洗涤塔进行吸收处理。吸收处理工艺为
2、：SiH4和NH3废气在风机的牵引下进入燃烧筒内，同时燃烧筒内稳定持续的充入适当比例的压缩空气和氮气，以保证硅烷在安全可控范围内温和的燃烧。燃烧产生的二氧化硅粉末大部分在重力作用下沉降到燃烧筒底部聚集，剩余部分二氧化硅粉末在风机牵引作用下通过风管进入到洗涤塔一级喷淋系统，在喷淋室内二氧化硅粉末以0.8m/s左右的速度缓慢流动，与自上而下喷淋出的水雾膜层相接触，沉降的设备底部。残余的微量二氧化硅粉末进入到洗涤塔二级喷淋系统内，由于二级喷淋系统内加有泰勒花环填充料，增大了气液接触面积，使得残余的二氧化硅粉末被洗涤，固气得以分离，经净化后的洁净气体高空排放。二、系统提示请仔细阅读以下所有的提示并以此
3、为标准进行系统的操作。1、废气净化设备在使用运行前，认真检查各设备电源是否配备正确，并严禁人员接近。2、检查风机的噪声与振动，检查水泵的流量与扬程。3、检查硅烷燃烧塔的循环水箱水位，当液位低于标记时应立即补充。4、检查硅烷燃烧罐氮气和压缩空气的流量。三、操作说明1、启动步骤： 开启电源总控制系统；将硅烷燃烧塔补水系统调制自动补水；开启循环泵浦，启动约60秒后，风机启动；2、正常运转检查事项检查风机是否运转正常，风机开启30分钟后，检查油浴式轴承座的升温状态在60-80为正常运转；检查风机有无异常磨擦声，手感风机外壳无明显振动；检查循环泵是否正常运转，是否漏水；喷头喷水是否正常；检查各阀是否在正
4、确开关位置；检查水泵工作情况；检查硅烷燃烧罐氮气及压缩空气流量计流量指数。3、停机注意事项检查各设备工作正常与否，并提出设备在停机时的保养注意事项；停机后应对加药箱中的药液进行补充，风机轴承座换油或补足油量，水泵密封处加固，清除塔体中的沉淀物，检查喷头是否有杂物堵塞等工作；检查各进出水阀门是否在正常工作状态下，并开闭灵活有效；停机前检查电控箱各指示灯应呈开启状态，绿灯亮。4、停机步骤：关闭氮气及压缩空气阀门；关闭自动补水阀门；关闭风机；打开塔体水箱中排污水阀门，使水位下降1/4；关闭循环水泵；关闭系统电源。四、常规保养及定期保养内容1、每天检查循环水箱水位并及时补充；2、每天检查水泵运转情况，
5、检查喷头喷淋正常否；3、每天检查风机运转情况，电机及轴承座的温度，风机车的噪声与振动；4、定期清理硅烷燃烧罐内的二氧化硅粉末；5、每周检查和调整皮带张力，每季度对电机皮带进行更换；6、风机初次使用一个月内更换轴承座的专用机油，以后定期每季度更换一次；7、每季度对电机注入高品质油脂（15W-40）；8、每半月定期更换水循环液，循环液应防止饱和，及时清除沉淀物，保持水箱清洁；9、每月或定期检查填料是否结垢，有杂质或者损坏；10、检查泵浦的磨损状况及轴承，垫片及操作平滑性。五、异常现象的原因分析、硅烷燃烧塔的静压异常之情况：填充材底部的支撑板可能发生阻塞而异致压降增加。填充材可能由于积垢之固体沉淀而
6、发生沉陷，需要清理或更换。风机压力未调整好，穿过洗涤塔之气流可能因为节流阀调整而出现除雾不净。、喷淋异常之情况：回流管上过滤器或滤网线发生堵塞。喷嘴堵塞。管线也许因为固体粒子部份堵塞而需要清理。液体量减少，而导致泵吸入空气。泵体吸入异物过度的磨损。泵的进流或出流口设计不当。内部的分散管发生破裂。喷嘴不适当的安装、松脱导致。泵的排水部份节流阀改变，允许很大流量通过，必须重新调整。、由硅烷燃烧塔出口处排出过量的液滴之情况：由于除雾层部份堵塞发生偏流现象并使收集之液滴向外扩散。进流气体量超过设计容量而产生液滴扩散。若使用填充液滴分散器，则可能是因为填料没有平整而导致偏流偏流及湿粒子的扩散。使用填充式液滴分散器。若发生气流突然涌入时会将填料冲出或使其向某一边聚集，形成开放式的“洞”气流穿过不均匀。液漏分散器、支撑板可能损坏并落掉以致发生偏流现象。六、声明请严格按照此手册维护保养设备，如没有按照说明书要求保养维护造成设备无法正常运行，本公司派专业人员到现场维修，需收取费用。5
