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1、首都经济贸易大学 硕士学位论文 半导体材料制造企业实施清洁生产的问题和对策分析 姓名：张满 申请学位级别：硕士 专业：企业管理 指导教师：于启武 20080530 I 摘 要 信息技术产业的飞速发展，对作为该产业的底层支撑的半导体材料有着非 常大的需求。特别是以砷化镓材料为主的新型的高性能半导体材料有着非常良 好的市场前景。但随着半导体行业的发展，半导体材料的生产制造成本越来越 高，生产过程中排放的大量废水、废气、固废和其它种类繁多的有毒有害污染 物对环境的影响也越来越大。在半导体材料制造行业中推行和实施清洁生产， 无论对于环境保护还是对企业自身的发展都是势在必行的。 首先，通过对半导体材料行
2、业的发展过程介绍，了解半导体材料行业的生 产过程和市场应用前景以及对环境的影响，认识到半导体材料行业实施清洁生 产的必要性。然后从企业管理、政策规定、清洁生产成本、生产技术以及环境 保护执法等不同层面分析归纳出半导体材料制造企业的实施清洁生产的问题。 并针对问题成因，给出半导体行业推行清洁生产的政策和措施建议以及具体实 施方案。 对清洁生产的产生背景、定义、目的、实施目标、特点以及内容进行了阐 述，并详细说说明了清洁生产与 ISO14000 及环境标志的区别与关系，三者共同 体现了治理污染预防为主的思想，相辅相成，互相促进。围绕半导体材料制造 企业实施清洁生产中的问题，人们现已取得了那些研究成
3、果，进行文献综述和 经验分析，总结出清洁生产的意义。 实例分析，介绍北京通美晶体技术有限公司的背景，产品、生产过程以及 市场前景；然后说明其具体清洁生产的现状和问题；详细说明北京通美晶体技 术有限公司针对主要问题的所制定出的总体方案、具体措施、主要方法，包括 主要的改进措施，创新内容（具体活动）；再后对真实的实施效果进行评价， 论述清洁生产管理给企业带来的的社会效益和经济效益，指出存在的不足之处 以及对行业的普遍借鉴意义。 最后，得出总的结论：半导体材料制造企业应始终不渝的坚持推行清洁生 产，并按照 ISO14000 环境管理体系和环境标志的要求，改进企业的管理，走出 一条高效率、低投入、低消
4、耗、低排放的发展新路子，最终实现企业和社会双 赢。 关键词：关键词：半导体材料，清洁生产,问题与分析 II Abstract As the information industrys developing, the demand for semi-conductor which is the bottom of the industry becomes more and more. Especially, the high quality semi-conductor like GaAs and other - group compound semiconductor will have a
5、bigger market.according to the developing of semiconductor industry. The cost of producing semiconductor material is getting higher and higher nowdays, and its bad effect for the environment is becoming more serious.Therefore, for these reasons, actualizing cleaner production in semiconductor indust
6、ry is inevitable. At first, by introducing the process of the semiconductor industry development, we know the productive process of semiconductor, market foreground and its effect for environment. And then, from different angles, such as enterprise management、 policy and rules、productive cost、techni
7、c and environmental preotection etc. We can analyse the problems and difficulties of actualizing cleaner production in semiconductor industry. Aiming at the reasons, we give the suggestions and methods for practising cleaner production in semiconductor industry. We expatiate cleaner productions back
8、ground、definition、purpose、target、 characteristic and content, and particularly explain the relationship and differences between cleaner production and ISO14000. We discuss and analyse the experiences, and summarize the meaning of cleaner production.Moreover, on the basic of the analysis, we can make
9、 the resolution for semiconductor industry doing cleaner production works. For instance,after introducing the background、main products、productive process and market demand of Beijing Tongmei Xtal Technology Co., Ltd.,we can know the fact of its cleaner production and other relative problems.For this
10、, we establish the totally promoted project, and give the idiographic countermeasures to solve the problems, and appraise the result of the practice, and specialze the benift of cleaner production management brings. In the end ,we can make the conclusion that semiconductor industry must keep actuali
11、zing the cleaner production all days, so tha they can step on a new developing road with high efficiency and low cost. Key words: semiconductor material, cleaner production，problem and analysis 1 1 引言 1 引言 随着信息产业的发展，对半导体材料的市场需求在日益增加，我国半导体 材料制造企业的生产规模也在迅速扩大，而由此给环境带来的不良影响也越来 越大。尤其当前国家对节能减排提出了非常明确的要求，这
12、涉及到半导体制造 行业生产的每一个环节，从材料的选择、设备和工艺的优化、废水废物的排放 与回收利用一直到产品标准的采用，都应该把节能减排贯穿于始终。实践证明， 清洁生产是实现企业绿色经营，使企业获得社会效益和经济效益双赢的最佳途 径。而在我国所颁布的一系列清洁生产标准中，尚没有对半导体材料制造行业 的清洁生产标准作出规定。因此，我国半导体行业实施清洁生产的企业并没太 多可借鉴的经验。 在李静江先生所著的企业绿色经营可持续发展的必由之路 （2006 年 4 月出版）一书中指出，企业实现可持续发展，进行绿色经营的生产模式，就是 清洁生产。文章列举了我国清洁生产的推行进程和存在的问题，指出我国企业
13、应积极主动地实施清洁生产。半导体材料制造企业作为高投入高污染的企业， 更应转变思想观念，将清洁生产纳入正常的企业战略中，为半导体行业的可持 续发展奠定坚实的基础。 目前我国从事半导体材料制造的企业不多，虽然清洁生产是行业发展的必 由之路，但清洁生产工作仍未得到广泛开展。究其原因，一是政府并未制定出 完善的半导体行业清洁生产标准，二是企业管理仍是传统模式，并未将清洁生 产与环境管理体系相结合，企业管理高层并没有真正认识到清洁生产能给企业 带来的经济和社会效益。本文以从事半导体材料生产的北京通美晶体技术有限 公司为例，分析和研究我国半导体材料生产企业的清洁生产现状，提出解决办 法，并根据具体的实施
14、效果分析，总结出半导体材料制造行业实施清洁生产的 管理方法和措施。 本文以下主要分五个部分：第二章阐述了半导体材料制造行业实施清洁生 产的背景和必要性；第三章介绍了清洁生产的相关理论和应用实例；第四章对 半导体材料制造行业的清洁生产现状和成因进行了分析；第五章是以北京通美 晶体技术有限公司为例，根据提出的解决问题办法和具体实施成效，引出半导 体材料制造企业实施清洁生产的管理方法和措施，为同行业提供借鉴。最后， 得出结论。 2 2 半导体材料制造企业实施清洁生产的必要性 2 半导体材料制造企业实施清洁生产的必要性 2.1 半导体材料制造企业实施清洁生产的背景 随着信息技术产业的飞速发展，将会对作
15、为这项产业底层支撑的半导体材 料有着非常大的需求。特别是以砷化镓材料为主的新型的高性能半导体材料有 着非常良好的市场前景。但随着半导体行业的发展，半导体材料的生产制造成 本越来越高，生产过程中排放的大量废水、废气、固废和其它种类繁多的有毒 有害污染物对环境的影响也越来越大。 欧盟“ROHS”指令已在 2006 年 7 月 1 日尘埃落定。8 个月后，我国的电 子信息产品污染控制管理办法也于 2007 年 3 月 1 日正式出台。为了消除种种 不利的环境因素，未来将会有更多的节能减排标准相继出现，这是不可逆转的 时代潮流。近年出台的诸多绿色指令，给半导体材料制造企业提出了许多新的 课题。 清洁生
16、产是一种创新思想。该思想是将整体预防的环境战略运用于生产过 程、产品和服务中，以提高生态效率并减少对人类和环境的风险。在半导体材 料制造行业中推行和实施清洁生产，无论对于环境保护还是对企业自身的发展 都是势在必行的。 2.2 半导体材料产品简介 2.2.1 半导体材料的发展历程 第一代半导体是“元素半导体”，典型如硅基和锗基半导体。其中以硅基 半导体技术较成熟，应用也较广，一般用硅基半导体来代替元素半导体的名称。 第二代半导体材料是化合物半导体。化合物半导体是以砷化镓（GaAs）、磷化 铟（InP）和氮化镓(GaN)等为代表，包括许多其它 III-V 族化合物半导体。 化合物半导体不同于硅半导体的性质主要有二: 一是化合物半导体的电子 迁移率较硅半导体快许多，因此适用于高频传输，在无线电通讯如手机、基地 台、无线区域网络、卫星通讯、卫星定位等皆有应用；二是化合物半导体具有 直接带隙，这是和硅半导体所不同的，因此化合物半导体可适用发光
