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1、文件编号：静电防护管理规范版本：A0页次：5/5制作部门：工程部制定日期：2017.10.281 目的本文规定公司内部的ESD规范，为公司产品在生产、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESD技术支持，从整体上提高公司静电防护和控制水平，提高客户的满意度。2 适用范围本文适用于公司的防静电控制，本文中的各项要求适用于防静电敏感区域，当客户的产品有特殊要求时，采用客户要求。3 职责3.1 各部门经理负责本部门工作区域、生产制造过程中的静电防护措施的执行。3.2 工程部负责根据本规范要求实施防静电基础设施（静电线、接地线、静电皮等）的建立，防静电设施测试和记录以及所有相关记录的保存。3.3 品质部负
2、责制定公司的防静电措施要求及监督执行状况。4 定义4.1 ESDELECTROSTATIC DISCHARGE静电放电。4.2 静电的危害：就电子行业而言，静电放电能够改变半导体器件的电气性能，使之退化或者完全毁掉。静电放电还可能干扰电子系统的正常运行，导致器件故障或瘫痪。4.3 静电的产生方式4.3.1摩擦、接触（传导）、分离、感应、冲洗、辐射、压电、点解等；4.3.2固体、液体、粉末流体都可能产生静电。4.4 静电的特点4.3.1高电位：可达到数万至十万伏，操作时常达数百和数千伏（人通常对3.5KV以下静电不易感觉到）；4.3.2低电量：静电流多为微安级（尖端放电例外）；4.3.3作用时间
3、短：微秒级；4.3.4受环境影响大：特别是湿度，湿度上升则静电积累减少，静电电压下降，如下表：修改记录版次修订日期编 制审 核批 准 产生方式10-25% RH65-90% RH在地毯上行走35000V1500V在乙烯瓦上行走12000V250V坐在椅子上的工人6000V100V从椅子上拿起涤纶包20000V1200V4.5 人体静电4.5.1人体是最主要的静电源之一；4.5.2人体的活动使部分机械能转换为电能；4.5.3人体对地电阻主要由鞋、袜、地面决定；4.5.4人体等效电容：100PF（电容有充电放电效应）；4.5.5人体等效电阻：1KW（1.5KW）；4.5.6安全静电电压：100V（
4、国标 SJ/T10630-95）。5 静电防护的基本方法5.1 ESD控制的基本原则5.1.1做好ESD防护设计：器件选型、合理布线、设计保护电路等；5.1.2消除和减少静电的产生：减少或消除静电产生的过程、维持过程和材料处于等电势等；5.1.3使静电荷泻防与中和：使用静电导体、接地、电离器来泻放于中和静电；5.1.4保护产品免遭ESD伤害：使用防静电材料包装和储运。5.2 防静电区设计原则5.2.1控制静电荷的积累和静电压的产生。如设备、仪器、工装不使用材料、有机玻璃、普通塑料袋；5.2.2安全、迅速、有效地消除已产生的静电荷，使用有绳防静电腕带、防静电椅、防静电周转箱；5.2.3保证静电压
5、小于100V。5.3 静电系统要素 5.3.1地面：防静电地面（防静电水磨石，防静电地板）；5.3.2工位：需架设表面静电接地；5.3.3接地； 5.3.3.1防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装置，对地电阻小于4欧姆。防静电地线不得与电源零线相接，不得与防雷地线共用，使用三相五线制供电时，其地线可用作防静电地线； 5.3.3.2工作台面、地垫、座椅和其它导静电的ESD保护设施均应通过限流电阻接入地线，腕带等应通过工作台面接地点与地线连接，工作台面不可相互串联接地； 5.3.3.3防静电工作区接地系统，包括限流电阻和连接端子应连接可靠并具有一定载流能力，限流电阻阻值选择应保证漏泄电流不超过
6、5mA，下限值取为1M欧姆；5.4 温湿度：2030摄氏度，相对应湿度3070%；5.5 增湿：增湿器使空气潮湿，防止静电荷积累，此法不适用于增湿后会产生有害影响的场地；5.6 人体：穿防静电工作服、工作鞋，戴有绳防静电手腕、手套、指套等；5.7 包装：静电敏感器件必须存放在防静电容器内，并用防静电运输工具周转，凡工作中会接触“静电敏感元件”之人员均须遵守本规定。6 管理内容和方法6.1 设备接地防护措施6.1.1使用仪器设备的基座与电机系统之安全接地(SAFETY GROUND)必须连结，测试用设备、库房物料存放料架、地垫(FLOOR MATS)、输送皮带之接地以直接焊接、折缝铆钉或使用夹式
7、连接固定均可；6.1.2设备接地，每3个月量测一次，并记录于设备接地点阻抗量测记录表。6.2 工作台静电防护措施6.2.1工作台表面材料，必须是导电或静电消散性材料，如导电垫(TABLE MATS)，导电导板之材料；6.2.2作业站间之接地连结，作业站之间的接地连结可以是串联任何导线在连接点前一寸之内，必须以绝缘覆之；6.2.3工作台静电接地线，每3个月量测一次，并记录于静电接地点阻抗量测记录表；6.2.4工作台上面的静电皮必须有效接地，每三个月做一次防静电测试，结果记录于表面阻抗量测记录表。6.3 静电环管控6.3.1工作人员当日进入车间时，必须先戴静电环于腕上，静电环(Wrist Stra
8、p)必须与皮肤充分接触，然后作静电环测试，通过者方可入内工作，未通过者需更换合格静电环再作试验，静电环测试步骤参考静电环测试作业指导书；6.3.2做静电环测试时，需将腕带之导线夹在测试仪器之夹片上再以手指轻按测试台中央，合格显示绿灯，不合格显示红灯并将所测结果记录静电环测试记录表；6.3.3静电环测试器,由仪校人员按时校正并保存校验报告。6.4 静电鞋管控6.4.1进入工厂之所有人员，须先换上防静电鞋进入工作场所,来宾访客须穿防尘鞋套始可进入。6.5 材料、半成品运送与接触管控6.5.1针对重复性使用之抗静电材料或导电材料，如储存放置箱、隔板、抗静电泡棉、导电料盒等，重复使用时每周至少要用抽样
9、方式予以确认其阻抗值是否仍在规格内，否则应停止重复使用该材料。6.5.2周转车必须是金属架，并有接地的链条，人员在拿取PCBA时，须持其边缘，不能直接接触敏感元器件。6.5.3以手工焊接作业时，其焊接工具必须有充分之接地。6.6 违规处理措施6.6.1受影响之作业区应立即暂停，并依纠正和预防措施控制程序。6.6.2矫正措施及受影响产品的处理方式，必须受到品质部及生产主管认可，始准予继续作业。6.7 静电防护监测计划及规格品 名规格测 量 仪 器测量方法测量周期测 量 记 录静电环1M10%静电环测试仪SOP每天静电环测试记录表设备接地阻抗4接地电阻测量摇表专人负责 每3个月静电接地点阻抗量测记录表静电接地阻抗4接地电阻测量摇表专人负责 每3个月静电接地点阻抗量测记录表输送带、工作台面106109表面电阻测试仪专人负责每3个月ESD静电测试纪录表周转架、静电箱、静电皮106109表面电阻测试仪专人负责每6个月ESD静电测试纪录表7 相关文件7.1 设备接地点阻抗量测作业指导书7.2 静电接地点阻抗量测作业指导书7.3 表面阻抗量测作业指导书7.4 静电环测试作业指导书8 相关表单8.1 设备接地点阻抗量测记录表8.2 静电接地点阻抗量测记录表8.3 表面阻抗量测记录表8.4 静电环测试记录表 资料文件版权为三阶所有，不得私自打印、复印
