硬质涂层概况剖析

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1、硬质涂层发展概况 江苏大学江苏大学 邵红红邵红红 一、硬质涂层沉积技术 印刷用滚筒等离子陶瓷热喷涂(耐磨损) 等离子陶瓷热喷涂泵部件(耐磨损) 电极轴(铜)隔离部等离子陶瓷热喷涂 (耐磨损) 拉线机械用引导滚筒等离子陶瓷热喷涂 (耐磨损) 热喷涂存在的问题: 涂层厚,均匀性相对其他沉积方法差,难以 应用于精密部件 喷涂材料受限制,必须在熔融条件下不发 生分解、蒸发、升华、离解 沉积表面需要机械或化学粗化,基体不能 太薄 电化学沉积(电镀)与化学镀 需要基体导电 受电力线变化影响,均匀性和致密度差 仿形性差 可沉积材料相对较少 成本相对低 沉积速度相对较快 不需要基体导电 镀层均匀,致密,抗腐蚀

2、性更好 仿形性好,可对复杂部件施镀 除Pb、Cd、Sn、Bi,大多数金属可沉积 成本相对更高 沉积速度相对较慢 电镀化学镀 电镀 化学镀 精密冲压加工品的电镀 Ni化学镀 Ni-P w 沉积的硬质材料有限(Cr,Ni,Ni-P) w 沉积的硬质材料硬度一般偏小 (40GPa w 可应用于钢铁和 有色金属加工 C-BN 硬度高,但 综合性能不佳 。韧性差,应 力大,结合性 能差 沉积温度高 成本最贵 3.新型涂层的研究 纳米复合涂层 纳米多层复合涂层(nano-layered film) 纳米混合复合涂层(nano-composited film) nanonano- -compositedco

3、mposited film filmnanonano- -layedlayed film film 当调制周期达到临界值, 涂层产生超硬效应 纳米多层复合涂层 TiN/SiNx 纳米多层膜 w 无一般涂层的柱状结构,致密 w 热稳定性强, 高硬度 (50 GPa),强抗腐蚀性 TiN/SiNx 纳米多层膜TEM结构 非晶态SiNx 晶态TiN TiN/CNx纳米多层膜 Ti-Si-N纳米混合复合涂层 Si 含量 4-10 at% 硬度 39-43 GPa 晶粒大小 5-10 nm 混合复合涂层不需要严 格的旋转设备,比纳米 多层涂层制备简单得多 非晶态SiNx阻碍TiN晶体边界的滑移,并且细化 TiN晶粒使涂层产生超硬效应 结束语结束语 采用硬质涂层制备技术,不但可大 幅度提高工件的质量和性能,成倍地 延长使用寿命,而且它们大多在技术 上成熟,工艺上简便,经济上可行, 能够取得事半功倍的效果。 谢谢 谢!谢!

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