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1、洁净室STK周边气流控制方案平板显示作为继汽车和大规模集成电路之后的第三个具有全球影响力的新型产业正在迅速的崛起，也是我国“十一五”和中长期科技发展的重点产业。国内液晶显示器（TFT-LCD，Short for Thin Film Transistor Liquid Crystal Display）产业炙手可热。在TFT-LCD组线技术中，除了成膜、曝光、刻蚀等工艺设备外，自动物料搬运系统（AMHS，Shor for Automatic Material Handling System）起到了非常重要的作用。其包含一系列组成部分，在不需要人为干预的情况下，这些组成部分可以完成在工厂储存物料和物
2、料的搬运 工作。AMHS的组成部分为：自动导航车（AGV），高空穿梭车（OHS），轨道航车（RGV），传送带和堆料机（Stocker）根据业主提供的图纸，我们发现本厂房采用的是传送带和堆料机（Stocker）和高空穿梭车（OHS）相结合的自动物料搬运系统（AMHS）。在这种自动物料搬运系统中，Stocker担负了很多的物流传递任务。这种方式因具有更高的搬运效率而被广泛应用在目前的5代、6代和更高世代的TFT-LCD的工厂布局中。为了更好的优化Stocker的气流效果，创建更好的洁净室Stocker搬运环境，提升其搬运能力及质量。本方案试图通过业主给定的技术资料找到更符合项目实际的气流控制方案。
3、图1 AMHS设备的分布平面图图2 Stocker设备厂务需求根据厂务需求相关资料，为了能更好的了解Stocker内部的气流运动情况，决定用气流分析软件的模拟内部的流动情况。得到的结果如下：图3 气流速度分布图图4 气流速度偏转角度分布图图5 气流速度大小及方向示意图图6 气流模拟区域绝对压力分布图图7 气流模拟区域静压力分布图图8 气流模拟区域动压力分布图根据以上的结果我们很容易发现设备厂商范围内的侧吹FFU会形成水平向的洁净气流，这对带走放有玻璃的卡夹(Cassette)间隙的可能含有的尘埃是十分有必要的。这是Stocker作为物料储存单元保证储料的质量必不可少的部分。但是相应的由于水平气
4、流的带入，会导致Stocker内部存在一定的气流扰动。这样原本理想状态的垂直单向流洁净室会出现一些意外的气流偏转角（如图4所示）。如果气流扰动过大就有可能将Stocker以外大空间的气流带入其运行环境中，出现洁净度不达标从而污染卡夹上玻璃基材的问题。根据设计院提供的图纸，我们发现Stocker运行区域的洁净度为Class100.1m，此区域的FFU类型需选用U15（ULPA 风机过滤机组，效率99.9995%（0.12m），面风速0.45m/s ,过滤材料：PTFE）型的滤网，布置率近100%。图9 M1建筑二层洁净室洁净等级区划为了保证Stocker内部的相对正压，其周边的FFU的布置率应尽
5、量的低于75%。且在实际生产运行的过程中需要尽可能的调整Stocker区域的FFU的转速高于周边的FFU转速。有鉴于本次洁净室工程需要优先设备厂商进行施工，但是Stocker的隔墙又属于设备厂商的施工范围，洁净包商需要在施工之前拿到设备包商的画线图，这样才有可能更好的配合设备报上完成界面上的衔接工作。比如stocker的隔断墙体应尽量坐在T-Grid龙骨的正下方（如详图），如果错开之后将会与FFU交叉，出现气密无法施工，进而影响到此区域的洁净度。图10 隔墙与FFU吊顶龙骨连接的建议做法根据设备的构造情况，及气流模拟的气流情况，为了使Stocker内部的气流不致过大，STK隔墙内部的高架地板均采用开孔率25%的1500型孔板。这样可以有效的增加气流通路，使内部的气流速度不会太高。图11 STK区域高架地板的分布对于一层的所有管线，在施工之前会通过空间管理进行整合，尽量避免其穿行STK区域，以保证此区域的气流通畅。5
