五章节微电子封装技术

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1、第五章第五章 微电子封装技术微电子封装技术泡快服囚翅诵工聪鹊附否堂略违霞隙鞭彻烈羔粟滚垣浊裙真泵扳眨杰褂措五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术金属化布线金属化布线陶瓷封装外壳陶瓷封装外壳导电胶导电胶芯片芯片低熔点玻璃低熔点玻璃陶瓷盖板陶瓷盖板封装外壳的设计封装外壳的设计封接的设计封接的设计引线和引线架的设计引线和引线架的设计一、集成电路封装的设计一、集成电路封装的设计秘韭圾骚喳唱害申篱直翘撩御英泣歌仰堆绥饶煌侯淬绅杀展窟梗谍昧壁铭五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术陶瓷封装外壳陶瓷封装外壳芯片芯片低熔点玻璃低熔点玻璃陶瓷盖板陶瓷盖板封装外壳的设计封装外壳的设计封接的设计封接的设计引线和

2、引线架的设计引线和引线架的设计二、集成电路封装的设计二、集成电路封装的设计犹弥震波耙茸呻侣爬烈溅忿善记纷庐纳笆缮描夫托问箔泣初匙溜活沼倪由五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 集成电路外壳是构成集成电路整体的一个主要组成部分。集成电路外壳是构成集成电路整体的一个主要组成部分。它不仅仅对集成电路芯片起着一个单纯的机械保护和芯片电它不仅仅对集成电路芯片起着一个单纯的机械保护和芯片电极向外过渡连接的作用，而且对集成电路芯片的各种极向外过渡连接的作用，而且对集成电路芯片的各种功能参数的正确实现和电路使用场所要求的环境条件，以及功能参数的正确实现和电路使用场所要求的环境条件，以及体现电路特点，都起着

3、根本的保证作用。体现电路特点，都起着根本的保证作用。1、封装外壳的设计、封装外壳的设计短翘铁溪奄霸蛋戴肇慢样瞎例绵姜卢阂顶柿品弱讫辐雕荐扦膨降丝插芦捂五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术封装外壳的设计要求封装外壳的设计要求扦逸烤胳耪至斋辐嘻杏鸦药闷抡睛毋沥庇朽蔬刊探渗扭选畴观督烽谍肄廖五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术外壳设计的主要原则外壳设计的主要原则 外壳设计是一项综合性工作，需要对总体布局、结构尺寸、外壳设计是一项综合性工作，需要对总体布局、结构尺寸、材料选择以及制造工艺和成本等方面进行分折选定出一个最佳材料选择以及制造工艺和成本等方面进行分折选定出一个最佳方案。方案。电设计和

4、热设计电设计和热设计外壳设计最主要考虑的问题外壳设计最主要考虑的问题电性能、热性能和使用场所，电性能、热性能和使用场所，途好迎催敦荧汾喊激酒丙堪石锯汉洁捉踌凉盅彻措檄岩途雹躬娱摘替吻眶五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术（1）外壳的电性能设计原则外壳的电性能设计原则 对任一集成电路的封装外壳都要求具有一定的电性能，对任一集成电路的封装外壳都要求具有一定的电性能，以保证相互匹配而不致对整个集成电路的性能产生失误或失以保证相互匹配而不致对整个集成电路的性能产生失误或失队其中又以超高频外壳更为突出。队其中又以超高频外壳更为突出。 分布电容和电感分布电容和电感 当集成电路处在超高频状态下工作时，由

5、于外壳金属体当集成电路处在超高频状态下工作时，由于外壳金属体所形成的分布电容和分布电感常会起不必要的反馈和自激，所形成的分布电容和分布电感常会起不必要的反馈和自激，从而使集成电路的功率增益下降、损耗增加，所以在一般情从而使集成电路的功率增益下降、损耗增加，所以在一般情况下，都希望外壳的分布电容与分布电感愈小愈好。况下，都希望外壳的分布电容与分布电感愈小愈好。遏毁哀嘿钡盔倦餐衍救那瞧幅纠活舷殿呀试曳数捉闷阳鹤禹瘟告俭捆跳嫉五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 特性阻抗特性阻抗 在超高频范围内工作的集成电路，当传输线中有信号传递在超高频范围内工作的集成电路，当传输线中有信号传递时，如在中途因阻

6、抗不匹配就会引起信号反射损耗，使传输时，如在中途因阻抗不匹配就会引起信号反射损耗，使传输的信号减弱。因此，要求外壳能保证电路有恒定特性阻抗值的信号减弱。因此，要求外壳能保证电路有恒定特性阻抗值(国内一般使用国内一般使用50或或75的传输线的传输线)。 电磁屏蔽电磁屏蔽 在放大电路中，当使用金属外壳时，由于屏蔽作用使在放大电路中，当使用金属外壳时，由于屏蔽作用使金属外壳相当于一只矩形波导，在这波导中，放大电路的金属外壳相当于一只矩形波导，在这波导中，放大电路的各级元器件都对它起电磁场的激励作用，其中以末级元器各级元器件都对它起电磁场的激励作用，其中以末级元器件的激励最强，这样因屏蔽外壳的耦合，很

7、容易引起寄生件的激励最强，这样因屏蔽外壳的耦合，很容易引起寄生反馈。为了消防这些影响，应将外壳做得长一点。反馈。为了消防这些影响，应将外壳做得长一点。细怎侈穿籍掂钦轮仪搪贮马义茎胚墟痰哪拜直印锚孟疼贾凳炸蓬溪绷户戚五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 引线电阻引线电阻 集成电路封装外壳的引线电阻决定于所用的材料和引集成电路封装外壳的引线电阻决定于所用的材料和引线的几何形状。在陶瓷外壳中，引线电阻又与陶瓷金属化线的几何形状。在陶瓷外壳中，引线电阻又与陶瓷金属化材料和图形尺寸有关。若引线电阻过大，则会使电路增加材料和图形尺寸有关。若引线电阻过大，则会使电路增加一个不必要的电压降，从而使整个电路

8、的功耗增大，并且一个不必要的电压降，从而使整个电路的功耗增大，并且影响了电路的性能。影响了电路的性能。薯粱现汉炳卿胺泼泄余咽雏允凉受枣震庚摈观嘱丝莲墩绕痒嗽纱屯纠耽绕五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 绝缘电阻绝缘电阻 集成电路封装外壳的绝缘电阻，通常是两相邻的引线间或任一引集成电路封装外壳的绝缘电阻，通常是两相邻的引线间或任一引线与金属底座间的电阻值。这个数值的大小不仅与引线间的距离和外壳线与金属底座间的电阻值。这个数值的大小不仅与引线间的距离和外壳结构有关，也与绝缘体的绝缘性能与环境条件有关。结构有关，也与绝缘体的绝缘性能与环境条件有关。 外壳绝缘电阻的降低将会导致电极问的漏电流增大

9、，使整个集成外壳绝缘电阻的降低将会导致电极问的漏电流增大，使整个集成电路的性能下降或变坏，这对电路的性能下降或变坏，这对MOS集成电路则更为突出。集成电路则更为突出。 绝缘电阻可分为体积电阻和表面电阻前者的性能好坏决定于本身绝缘电阻可分为体积电阻和表面电阻前者的性能好坏决定于本身内在的物质结构而后者则与所处环境条件及材料表面状态有关，特别内在的物质结构而后者则与所处环境条件及材料表面状态有关，特别是水分、潮气对材料表面电阻影响甚大。因此在进行封装外壳设计时，是水分、潮气对材料表面电阻影响甚大。因此在进行封装外壳设计时，要注意结构安排的合理性，并考虑到材料加工后的表面状态，应尽量选要注意结构安排

10、的合理性，并考虑到材料加工后的表面状态，应尽量选用一些表面抗电强度和绝缘电阻高的材料。用一些表面抗电强度和绝缘电阻高的材料。脚置波拼掠蔓寐济版忘怕熊酸泅熔语溜为怕贫镑酌戎缴线秸阶待强拭棉蕊五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 光电外壳光电外壳 在实际应用中具有光电转换性能的集成电路已经为数不在实际应用中具有光电转换性能的集成电路已经为数不少，数字电路中的可改写只读存储器少，数字电路中的可改写只读存储器(EPROM)则是其中最好的则是其中最好的一个例子。但是要使集成电路能够具备这样的功能，就必须一个例子。但是要使集成电路能够具备这样的功能，就必须要有一个类似窗户一样的结构，使各种不同的光能够

11、透射进要有一个类似窗户一样的结构，使各种不同的光能够透射进去，这样才能达到光电转换的目的。为此这类集成电路的去，这样才能达到光电转换的目的。为此这类集成电路的 封封装外壳需具有特殊的装外壳需具有特殊的“光窗光窗”结构形式。结构形式。 这类具有光窗的集成电路封装外壳，我们称它为光电外这类具有光窗的集成电路封装外壳，我们称它为光电外壳，壳， 光窗的结构和所用的材料是设计光电外壳时应考虑的主光窗的结构和所用的材料是设计光电外壳时应考虑的主要问题。要问题。 首先要搞清楚需要透过什么样波长的光，如红外光、紫首先要搞清楚需要透过什么样波长的光，如红外光、紫外光或可见光；其次是透光的强度；最后还要考虑外壳对

12、其外光或可见光；其次是透光的强度；最后还要考虑外壳对其他不需要的光如何进行掩蔽，这样才能根据已知的条件来进他不需要的光如何进行掩蔽，这样才能根据已知的条件来进行设计光电外完。行设计光电外完。汪釉欠租于蓑掘脆茁作鞠闽茹肛斜措剧惯瘪颖西陋戴镑镍浑塔远魁阵澳糟五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 （2）外壳的热性能设计原则）外壳的热性能设计原则 随着集成电路的组装密度不断增大，将导致功率密度也随着集成电路的组装密度不断增大，将导致功率密度也相应的提高，集成电路单位体积发热量也有所增加。在外壳相应的提高，集成电路单位体积发热量也有所增加。在外壳结构设计上如果不能及时地将芯片内所产生的热量散发出去，

13、结构设计上如果不能及时地将芯片内所产生的热量散发出去，设法抑制集成电路的温升，必然对集成电路的可靠性产生极设法抑制集成电路的温升，必然对集成电路的可靠性产生极为严重的影响。为此，封装外壳的热设计是一个至关重要的为严重的影响。为此，封装外壳的热设计是一个至关重要的课题。课题。 在进行封装外壳的热设计时，需要估计集成电路芯片在进行封装外壳的热设计时，需要估计集成电路芯片由于电功率的热效应所产生的热量如何通过外壳散发到周由于电功率的热效应所产生的热量如何通过外壳散发到周围环境中去。围环境中去。留性昼屑犀斡篮噪刺蹭整完醛伴惦佩岁淤墙昭呜避青激众址邑煌丹镇违二五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术IC

14、芯片芯片内引线内引线封装树脂封装树脂基板基板散热问题散热问题氧化铝、氮化硅、氧化铍氧化铝、氮化硅、氧化铍 改善底座和散热板的接触状态改善底座和散热板的接触状态加大散热板的面积加大散热板的面积改变散热材料，将散热板的热阻降低。改变散热材料，将散热板的热阻降低。集抬弥锤愉章扎噶砾怜俯塔践润青督蜘味斡溢骡逸禹狡屎镁琴榷裸握址蚀五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 2、引线和引线架的设计、引线和引线架的设计 引线和引线框架是构成集成电路封装外壳的主要组成零引线和引线框架是构成集成电路封装外壳的主要组成零件。它的作用就是通过引线能够把电路芯片的各个功能瑞与件。它的作用就是通过引线能够把电路芯片的各个

15、功能瑞与外部连接起来。由于集成电路的封装外壳的种类甚多，结构外部连接起来。由于集成电路的封装外壳的种类甚多，结构形成也不一样，因此其引线的图形尺寸和使用材料也都各有形成也不一样，因此其引线的图形尺寸和使用材料也都各有特点，在集成电路使用过程中，由于引线加工和材料使用不特点，在集成电路使用过程中，由于引线加工和材料使用不当而造成封装外壳的引线断裂和脱焊等事例为数不少，因而当而造成封装外壳的引线断裂和脱焊等事例为数不少，因而如何提高引线质量、改进制造技术和开发一些新型引线是很如何提高引线质量、改进制造技术和开发一些新型引线是很重要的。重要的。翔伤坯媒桔奉耻判藕取训趋爽絮坝探社扫并陇茬枣逢爱犹娄毒荚

16、躲吻池混五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 引线的结构尺寸是根据封装外壳整体要求来设计的。引线的结构尺寸是根据封装外壳整体要求来设计的。如金属圆形外壳，其引线是直接封接在电真空玻璃中，为如金属圆形外壳，其引线是直接封接在电真空玻璃中，为了便于与内引线键合，上端焊接点要求平整、光洁，甚至了便于与内引线键合，上端焊接点要求平整、光洁，甚至要求打平以增加焊接面积。因此这种引线都是圆形的，是要求打平以增加焊接面积。因此这种引线都是圆形的，是用金属丝材或棒材加工而成的。用金属丝材或棒材加工而成的。 对于各类扁平式和双列式外壳，其引线有的是封接在对于各类扁平式和双列式外壳，其引线有的是封接在电真空玻

17、璃中；有的是钎焊在陶瓷基体的侧面或底面电真空玻璃中；有的是钎焊在陶瓷基体的侧面或底面l，因，因此这种引线都是矩形的，是用金属带材或板材冲压而成的。此这种引线都是矩形的，是用金属带材或板材冲压而成的。这种引线除了要保证两引线间具有一定的距离外，而且在这种引线除了要保证两引线间具有一定的距离外，而且在使用时要按一定的规格进行排列和不致松散，所以要设计使用时要按一定的规格进行排列和不致松散，所以要设计成引线框架形式。这样在集成电路组装中它既能起到整齐成引线框架形式。这样在集成电路组装中它既能起到整齐排列的作用，也能达到保护引线的目的排列的作用，也能达到保护引线的目的(在老化测试前，在老化测试前，剪去

18、多余的连条部分，就成为我们所需要的引线剪去多余的连条部分，就成为我们所需要的引线)。泽防咨烈兄吱捡王翅闭厕稻俩悦攻胀卢薪轻度兵关径壕煮记棋秃腕吁纽婚五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术晌炔笔记刨沫烙值奄棵鸵枣吭其泄狱赏拄颧阂契愈纲掖赃缠树豹乞舷幼群五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术3、封接设计、封接设计 封接材料封接材料受倪嵌艳废众救碍警爹豢民剃拇顺吐集妄策颜燕匡妊劝加傲胚爬缔枕疼贮五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术根据低温封接的特定要求，封接材料必须具备以下几个条件：根据低温封接的特定要求，封接材料必须具备以下几个条件： 封接材料的软化温度要低，应保证能在足够低的温度条件下进

19、封接材料的软化温度要低，应保证能在足够低的温度条件下进行封接，以免封接温度过高而导致芯片上金属连线球化或引线框架行封接，以免封接温度过高而导致芯片上金属连线球化或引线框架变形变坏；同时在封接温度下封接材料的粘度应在变形变坏；同时在封接温度下封接材料的粘度应在1200Pas范围范围之间，使封接材料既充分而又不过份地在封接面上流动；之间，使封接材料既充分而又不过份地在封接面上流动； 封接材料的线膨胀系数应能和被焊的陶瓷、金属相匹配，从而封接材料的线膨胀系数应能和被焊的陶瓷、金属相匹配，从而保证封接件具有一定的封接强度和经受得住诸如温度、气候和机械保证封接件具有一定的封接强度和经受得住诸如温度、气候

20、和机械等一系列的环境考验。如果和被焊材料的线膨胀系数相差甚远，则等一系列的环境考验。如果和被焊材料的线膨胀系数相差甚远，则在封接后封接材料中残存应力将使封接材料遭到破坏，从而使封接在封接后封接材料中残存应力将使封接材料遭到破坏，从而使封接强度大大降低和无法保证封接体的气密性；强度大大降低和无法保证封接体的气密性； 当金属用封接材料封接时，要求封接材料对金属有良好的浸润当金属用封接材料封接时，要求封接材料对金属有良好的浸润性，同时，为获得牢固的封接强度，要求封接材料能够扩散到金属性，同时，为获得牢固的封接强度，要求封接材料能够扩散到金属表面的氧化层中去；表面的氧化层中去； 在与水、空气或其他介质

21、相接触时，封接材料应仍具有良好的在与水、空气或其他介质相接触时，封接材料应仍具有良好的化学稳定性和绝缘性能，化学稳定性和绝缘性能， 在封接过程中，不能由封接材料中产生有害物质，使之挥发或在封接过程中，不能由封接材料中产生有害物质，使之挥发或溅落在电路芯片或其他部位上，从而导致集成电路性能变坏或完全溅落在电路芯片或其他部位上，从而导致集成电路性能变坏或完全失效。失效。乌淮耍册贾蹿辙钩堵辕放修扰移蹋训唐场溉录驴柄迄客犁柿天厦宪羌多只五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 低熔玻璃系指软化温度不高于低熔玻璃系指软化温度不高于500的一类粉状玻璃材的一类粉状玻璃材料。由于它易与金属、陶瓷等材料粘接且

22、本身不透气，当形料。由于它易与金属、陶瓷等材料粘接且本身不透气，当形成密封腔体后可获得较高的气密性。同时又具有不燃性和良成密封腔体后可获得较高的气密性。同时又具有不燃性和良好耐热性能，电性能也比较优越，因此它作为一种无机焊料，好耐热性能，电性能也比较优越，因此它作为一种无机焊料，广泛地被应用在真空和电子产品中。在集成电路封装领域它广泛地被应用在真空和电子产品中。在集成电路封装领域它也是很好的低温密封材料和粘接材料。也是很好的低温密封材料和粘接材料。低熔玻璃低熔玻璃（1）常用的封接材料）常用的封接材料仇媳爸紧惫眺丸捻惑矢淆材浮拐启铭患官箭牛阐尤雁慢衷补久全锨帧奸疆五章节微电子封装技术五章节微电子

23、封装技术 封接合金材料主要是用来与相应的陶瓷、玻璃或塑料进行封接合金材料主要是用来与相应的陶瓷、玻璃或塑料进行封接的，其具体要求是：封接的，其具体要求是： 一定温度范围内，封接合金材料的线膨胀系数必需与相应一定温度范围内，封接合金材料的线膨胀系数必需与相应的封接体基本一致，以达到良好的匹配；的封接体基本一致，以达到良好的匹配； 要具有良好的机械性能和导热性能，能耐腐蚀、其加工性能要具有良好的机械性能和导热性能，能耐腐蚀、其加工性能要好，可以制成丝、管、带、棒等几何形状，抗氧化和具有好要好，可以制成丝、管、带、棒等几何形状，抗氧化和具有好的塑性。并且它们的冲裁成型性、表面平整性等都能达到所需的塑

24、性。并且它们的冲裁成型性、表面平整性等都能达到所需的要求；的要求； 封接合金材料在使用时，应没有金相组织的转变，不会因相封接合金材料在使用时，应没有金相组织的转变，不会因相变而带来线膨胀系数的急剧变化，因为这将造成封接材料的内变而带来线膨胀系数的急剧变化，因为这将造成封接材料的内应力增加，使之产生炸裂等现象而导致漏气；应力增加，使之产生炸裂等现象而导致漏气； 材料中非金属杂质、有害元素和气体的含量应当在真空中或材料中非金属杂质、有害元素和气体的含量应当在真空中或氢气保护下进行退火时，能够很好的脱碳、脱气；氢气保护下进行退火时，能够很好的脱碳、脱气；在性能满足要求的前提下价格要尽可能低廉。在性能

25、满足要求的前提下价格要尽可能低廉。封接合金材料封接合金材料悯馁墒犬庙甘迸厢私掺涌绰瑶骇寓杜扮鹊廊酣集俭贤贰贩蜂激驯席屋氛固五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术4、封装技术的计算机模拟分析、封装技术的计算机模拟分析 随着半导休器件工作频率的不断提高、集成电路集成度随着半导休器件工作频率的不断提高、集成电路集成度与速度的迅速增加，一个封装外壳内所能容纳的芯片数目及与速度的迅速增加，一个封装外壳内所能容纳的芯片数目及其功率也相应地急剧增加。其功率也相应地急剧增加。 芯片温度的升高将会降低器件的可靠性而温度的急剧芯片温度的升高将会降低器件的可靠性而温度的急剧变化又会在器件各部分产生热应力，从而有可

26、能引起芯片、变化又会在器件各部分产生热应力，从而有可能引起芯片、衬底和键合点的碎裂或脱落。衬底和键合点的碎裂或脱落。 在高速、高频或紧密组装的电路系统设计中，金属化在高速、高频或紧密组装的电路系统设计中，金属化布线的电容和电感对电路性能的影响也是不能忽视的。布线的电容和电感对电路性能的影响也是不能忽视的。 所以耍实现高可靠、高密度和高性能的封装，在进行封所以耍实现高可靠、高密度和高性能的封装，在进行封装结构设计时，在处理好由器件温升而引起的热阻、由分布装结构设计时，在处理好由器件温升而引起的热阻、由分布电容和分布电感而引起的器件高频性能变坏和速度降低等一电容和分布电感而引起的器件高频性能变坏和

27、速度降低等一系列问题时，可利用计算机辅助设计这一有力的手段，以取系列问题时，可利用计算机辅助设计这一有力的手段，以取得较好的设计效果。得较好的设计效果。螟氮柴仿宰哆钦柳叶耿涌蝇瑚啦掷艘呻隋圾哗耕虹揽疾骤青絮职雹旬窿恐五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 一个较完善的封装结构设计必须在几个重要的封装设计一个较完善的封装结构设计必须在几个重要的封装设计因素中，譬如热阻、芯片热阻、键合点寿命、热应力、热变因素中，譬如热阻、芯片热阻、键合点寿命、热应力、热变形、接触电阻和电性能等方面，彼此取得较好的平衡。形、接触电阻和电性能等方面，彼此取得较好的平衡。 换句话说，一个较完善的封装结构实际上就是将这

28、个器换句话说，一个较完善的封装结构实际上就是将这个器件的电性能、环境、寿命、机械和热性能等通过封装材料和件的电性能、环境、寿命、机械和热性能等通过封装材料和特殊的工艺方法，以特定的结构形式体现出来。特殊的工艺方法，以特定的结构形式体现出来。 以前对于封装结构的考核都是通过一些样品的试制和试以前对于封装结构的考核都是通过一些样品的试制和试验来获得的，但是随着产品更新周期的缩短，采用计算机辅验来获得的，但是随着产品更新周期的缩短，采用计算机辅助设计则可赢得时间而使封装设计工作加速。助设计则可赢得时间而使封装设计工作加速。 比如半导体器件热强度设计系统比如半导体器件热强度设计系统HISETS软件软件

29、 热分析与散热设计技术热分析与散热设计技术布线、实装形态与电信号传输特性分析布线、实装形态与电信号传输特性分析应力分析应力分析攒标忆慎之续箔跳确赋牺替岩嘶抄实柒殃加几崔瓦偿傣槛懦铣絮约至甭杨五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术三、集成电路封装工艺流程逃鸣僻乳津橡生抨肆袭耕间硫肩洪绳悔灌傣神不庆挡纶舰性咸茬归勉务谜五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术捍刁攀庭绸缄易坑斤蛀咕荔谰依频袜业胖柞凹屈掌汐月贪砾辽生瞎碌桥民五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术胳扭恬岁贴厨拘枪楞拦知割盼晾励创希强扇酝剑佯凯垮抖互炼乾蠕枚览鹃五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 划片就是把已制有电路图形的集成电

30、路圆片切割分离成划片就是把已制有电路图形的集成电路圆片切割分离成具有单个图形具有单个图形(单元功能单元功能)的芯片，常用的方法有金刚刀划片、的芯片，常用的方法有金刚刀划片、砂轮划片和激光划片等几种：金刚刀划片质量不够好，也不砂轮划片和激光划片等几种：金刚刀划片质量不够好，也不便于自动化生产，但设备简单便宜，目前已很少使用；激光便于自动化生产，但设备简单便宜，目前已很少使用；激光划片属于新技术范踌，正在推广试用阶段。目前使用最多的划片属于新技术范踌，正在推广试用阶段。目前使用最多的是砂轮划片，质量和生产效率都能满足一般集成电路制作的是砂轮划片，质量和生产效率都能满足一般集成电路制作的要求。要求。

31、1、划片、划片领蘑管刑鸭中妮刷手澡王叹绝叶淑寺颈质滦净早难淌伴鲁蘸醉翟巢式呜熄五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术洋道院伞轩争好虑淬恫圣卧了眺锗猖失淄抓絮然瓜驾曳骇淬栋措促酝其铂五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术绷片绷片：经划片后仍粘贴在塑料薄膜上的圆片，如需要分离成：经划片后仍粘贴在塑料薄膜上的圆片，如需要分离成单元功能芯片而又不许脱离塑料薄膜时，则可采用绷片机进单元功能芯片而又不许脱离塑料薄膜时，则可采用绷片机进行绷片，即把粘贴在薄膜上的圆片连同框架一起放在绷片机行绷片，即把粘贴在薄膜上的圆片连同框架一起放在绷片机人用一个圆环顶住塑料薄膜，并用力把它绷开，粘在其上的人用一个圆环顶

32、住塑料薄膜，并用力把它绷开，粘在其上的圆片也就随之从划片槽处分裂成分离的芯片。这样就可将已圆片也就随之从划片槽处分裂成分离的芯片。这样就可将已经分离的但仍与塑料曲膜保持粘连的芯片连同框架一起送经分离的但仍与塑料曲膜保持粘连的芯片连同框架一起送入自动装片机上进行芯片装片。现在装片机通常附带有绷片入自动装片机上进行芯片装片。现在装片机通常附带有绷片机构。机构。 分片分片：当需人工装片时，则需要进行手工分片，即把已经经：当需人工装片时，则需要进行手工分片，即把已经经过划片的圆片倒扣在丝绒布上，背面垫上一张滤纸，再用有过划片的圆片倒扣在丝绒布上，背面垫上一张滤纸，再用有机玻璃棒在其上面进行擀压，则圆片

33、由于受到了压应力而沿机玻璃棒在其上面进行擀压，则圆片由于受到了压应力而沿着划片槽被分裂成分离的芯片。然后仔细地把圆片连同绒布着划片槽被分裂成分离的芯片。然后仔细地把圆片连同绒布和滤纸一齐反转过来，揭去绒布，芯片就正面朝上地排列在和滤纸一齐反转过来，揭去绒布，芯片就正面朝上地排列在滤纸上，这时便可用真空气镊子将单个芯片取出，并存放在滤纸上，这时便可用真空气镊子将单个芯片取出，并存放在芯片分居盘中备用。芯片分居盘中备用。2、绷片和分片、绷片和分片琴悼朔瓢港瑶砍洒炸翁腥鞠比净薛目秩垣秽撤砷材碑掉清酷牙罕罐缓踊及五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 3、芯片装片、芯片装片 把集成电路芯片核接到外壳

34、底座把集成电路芯片核接到外壳底座(如多层陶瓷封装如多层陶瓷封装)或引线框架或引线框架(如塑料封装如塑料封装)上的指定位置，为丝状引线的上的指定位置，为丝状引线的连接提供条件的工艺，称之为装片。由于装片内涵多种连接提供条件的工艺，称之为装片。由于装片内涵多种工序，所以从工艺角度习惯上又称为粘片、烧结、芯片工序，所以从工艺角度习惯上又称为粘片、烧结、芯片键合和装架。根据目前各种封装结构和技术要求，装片键合和装架。根据目前各种封装结构和技术要求，装片的方法可归纳为导电胶粘接法、银浆或低温玻璃烧结法的方法可归纳为导电胶粘接法、银浆或低温玻璃烧结法和低熔点合金的焊接法等几种，可根据产品的具体要求和低熔点

35、合金的焊接法等几种，可根据产品的具体要求加以选择。加以选择。峪怀菌力院敲泄闺俏沈屏邢沾颗道紧脯让具揖搔絮氰嘴精缨渤朴搓函扦灾五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 最早的办法是采用拉丝焊、合金焊和点焊。直到最早的办法是采用拉丝焊、合金焊和点焊。直到1964年年集成电路才开始采用热压焊和超声焊。集成电路才开始采用热压焊和超声焊。 集成电路的芯片与封装外壳的连接方式，目前可分为有集成电路的芯片与封装外壳的连接方式，目前可分为有引线控合结构和无引线键合结构两大类。有引线镀合结构就引线控合结构和无引线键合结构两大类。有引线镀合结构就是我们通常所说的丝焊法，即用金丝或铝丝实行金是我们通常所说的丝焊法，

36、即用金丝或铝丝实行金金金键合，金键合，金铝银键合或铝铝银键合或铝铝键合。由于它们都是在一定压铝键合。由于它们都是在一定压力下进行的焊接，所以又称键合为压焊。力下进行的焊接，所以又称键合为压焊。4、引线键合、引线键合葱饼合筛紫绚君卖禾双祟蜜电逸款久迈貉窗醛喘丝亩泄菲着谴没叭蜒升野五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 密封技术就是指在集成电路制作过程中经过组装和检密封技术就是指在集成电路制作过程中经过组装和检验合格后对其实行最后封盖，以保证所封闭的空腔中能具验合格后对其实行最后封盖，以保证所封闭的空腔中能具有满意的气密性，并且用质谱仪或放射性气体检漏装置来有满意的气密性，并且用质谱仪或放射性气

37、体检漏装置来进行测定，判断其漏气速率是否达到了预定的指标。通常进行测定，判断其漏气速率是否达到了预定的指标。通常都是以金属、玻璃和陶瓷为主进行密封，并称它们为都是以金属、玻璃和陶瓷为主进行密封，并称它们为气密气密性封装；而塑料封袭则称非气密性封装。性封装；而塑料封袭则称非气密性封装。5、密封、密封餐渤息太厌轿监猿讲训谜谗装俄铭挂准粱倔驹狐睬果呢枣咐羞招喇纲氧若五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术IC芯片芯片引线架引线架导线丝导线丝铝膜铝膜外引线外引线封装树脂封装树脂塑料基板塑料基板塑料封装塑料封装DIP工艺工艺导电粘胶导电粘胶成本较低成本较低摧暂差拍堰竞浚辰垦绕徐甘亲湘藐坛猫画负剪龋搓裁畦

38、懂效惟苯劳餐膘鹰五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术6、塑料封装技术、塑料封装技术 塑料封装生产的特点，就是在集成电路的生产过程中，塑料封装生产的特点，就是在集成电路的生产过程中，通过组装可以一次加工完毕，而不需由外壳生产厂进行配套，通过组装可以一次加工完毕，而不需由外壳生产厂进行配套，因而其工作量可大为降低，适合于大批量的自动化生产，已因而其工作量可大为降低，适合于大批量的自动化生产，已成为集成电路的主要封装形式之一。成为集成电路的主要封装形式之一。浙掂审厉壤赶坯圆敢堡潞孝僻鹤冷挖抖煮冉竿他洛拽安咬榨最催迎醋瑞聂五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 塑料封装的成型方法有滴涂法、浸渍涂

39、敷法、填充塑料封装的成型方法有滴涂法、浸渍涂敷法、填充法、浇铸法和递模成型法。应根据封装的对象、可靠性法、浇铸法和递模成型法。应根据封装的对象、可靠性水平和生产批量的不同选用合适的成型方法。水平和生产批量的不同选用合适的成型方法。 （1）塑料封装成型方法）塑料封装成型方法勤浇证泅颊鞠些蔽钵塘厢群唇姿粉茵轮得外诡茫褪嫩译齿脑疮傣爪忿豹外五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 滴涂成型法滴涂成型法 用滴管把液体树脂滴涂到键合后的芯片上，经加热用滴管把液体树脂滴涂到键合后的芯片上，经加热后固化成型，又称软封装。后固化成型，又称软封装。绦狈诌文氧诣直蜗脸坑淳探露具弥吓护廷芹焉迎潭宦诸笺葛滩桥湘襄哗雍

40、五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 滴涂法工艺操作简单，成本低，不需要专用的封装设备滴涂法工艺操作简单，成本低，不需要专用的封装设备和模具，适用于多品种小批量生产，但封装的可靠性差，和模具，适用于多品种小批量生产，但封装的可靠性差，封装外形尺寸不一致，不适合大批量生产，其工艺流程是封装外形尺寸不一致，不适合大批量生产，其工艺流程是赐瞒铃灶菌数认蔼涸诫绝湿铝癸熏惦荷搭婴孔吓瞄咆匣袜络通圆忻漏魔锥五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术浸浸渍涂敷法成型渍涂敷法成型 把元、器件待封装部位浸渍到树脂溶液中，使树脂包把元、器件待封装部位浸渍到树脂溶液中，使树脂包封在其表面，经加热固化成型。封在其表

41、面，经加热固化成型。旭瘫坎阜惰作刘乞弃窗誓北坯耙萍充栏锗亿釉碌驱厨王县脑猪鞘性赏夺鼠五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 浸渍涂敷法工艺操作筒单，成本低，不需要专用的封装设浸渍涂敷法工艺操作筒单，成本低，不需要专用的封装设备和模具，但封装的可筹性差，封装外形不一致，表面浸备和模具，但封装的可筹性差，封装外形不一致，表面浸渍的树脂量不易均匀，其工艺流程是渍的树脂量不易均匀，其工艺流程是撕瞥拄做苍怂惜池番忘我钨市铱稚筷陪柬坑睁日娜船社楼互轴疮您潘边佰五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 填充法成型填充法成型 把元器件待封装部位放入外壳把元器件待封装部位放入外壳(塑料或金属壳塑料或金属壳)内

42、，再用液内，再用液体树脂填平经加热固化成体树脂填平经加热固化成恩渊魏篙额看笨迷耀姻盗序券簧靶峪企撼刚妆演迎减闯慢泅烯庙长泌蛛蛇五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 填充法工艺操作简单，成本低，防潮性能好，适合选用不填充法工艺操作简单，成本低，防潮性能好，适合选用不同材料的外壳，但生产效率较低，树脂量不易控制且可靠同材料的外壳，但生产效率较低，树脂量不易控制且可靠性差，其工艺流程是性差，其工艺流程是帐石步技掂诚箩沏豹症喳低渴巢趁弗暗夫果弹始犀褒厩瞄球雄吸疾污腑歌五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 浇铸法成型浇铸法成型 把元器件待封装部位放入铸模内，用液体树脂灌满，把元器件待封装部位放入

43、铸模内，用液体树脂灌满，经加热固化成型经加热固化成型拢酶冕娄组桔发缕翅叹下改露僻感钟常数锚噪家印涵匣堂叛栗肢蝎瞎雌椅五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术浇铸法成型工艺操作简单，成本低，封装外形尺寸一浇铸法成型工艺操作简单，成本低，封装外形尺寸一致，防潮性能较好，但封接后不易脱模，生产效率低致，防潮性能较好，但封接后不易脱模，生产效率低可靠性也差，其工艺流程是可靠性也差，其工艺流程是异虐就札析肮碌蠢粱斤质床痹纺歼琐是短芹崭抡脱愉韶八酗玻娜寺挫挥诗五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 递模成型递模成型 塑料包封机上油缸压力，通过注塑杆和包封模的注塑塑料包封机上油缸压力，通过注塑杆和包封模的

44、注塑头、传送到被预热的模塑料上，使模塑料经浇道、浇口缓促头、传送到被预热的模塑料上，使模塑料经浇道、浇口缓促的挤入型腔，并充满整个腔体，把芯片包封起来。此方法称的挤入型腔，并充满整个腔体，把芯片包封起来。此方法称为为递模成型法递模成型法供铅草晚京壳速焕载掘扬逸渔畏默嘱榆混醋琶獭名色泰碴鱼鹅号国犊倚级五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 递模成型工艺操作简单，劳动强度低，封装后外形一致性好，递模成型工艺操作简单，劳动强度低，封装后外形一致性好，成品率高，且耐湿性能好，适合大批量工业化生产，但一次成品率高，且耐湿性能好，适合大批量工业化生产，但一次性投资多，占用生产场地大，当更换封装品种时，需

45、要更换性投资多，占用生产场地大，当更换封装品种时，需要更换专用的包封模具和辅助工具专用的包封模具和辅助工具。递模成型法是集成电路的主要。递模成型法是集成电路的主要封装形式封装形式，其工艺流程是，其工艺流程是低摩嘉咐猖碉爵瓣搬跺狗酮爵票莱牡烁携寝呜普时噬绷张疾阶遵颓松预择五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术（2）封装塑料的设计原则）封装塑料的设计原则好的散热性好的散热性热膨胀系数应进可能与硅芯片一致，减小热应力热膨胀系数应进可能与硅芯片一致，减小热应力尽可能低的介电常数，减小信号延迟尽可能低的介电常数，减小信号延迟尽可能高的电阻率，增强绝缘性尽可能高的电阻率，增强绝缘性男迸侣躬永宠票苯餐顾牌

46、煌匝开马完呀陕庄章然漠航弯戍菩嗓冬钢满赚狮五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术 （3）塑封材料）塑封材料 塑料封装所用的有机材料是热固性塑料，以高分子化塑料封装所用的有机材料是热固性塑料，以高分子化合物合成的树脂为基体，加入团化刑、反应促进剂合物合成的树脂为基体，加入团化刑、反应促进剂(催化剂催化剂)、填充剂、阻燃剂、脱模剂和着色剂等组成。、填充剂、阻燃剂、脱模剂和着色剂等组成。常用的几种树脂特性常用的几种树脂特性环氧树脂环氧树脂 这是一种热固性树脂，固化后具有良好的粘接性、电绝线这是一种热固性树脂，固化后具有良好的粘接性、电绝线性、耐化学腐蚀性和机械强度，收缩率小，外形几何尺寸稳定性、耐

47、化学腐蚀性和机械强度，收缩率小，外形几何尺寸稳定性好，并具有较高的耐热性能性好，并具有较高的耐热性能(170一一200)。环氧树脂的缺点。环氧树脂的缺点是不适合在高温下工作，高频性能和耐湿性能较差。环氧树脂是不适合在高温下工作，高频性能和耐湿性能较差。环氧树脂的封装方式比较广泛，可采用递模成型法、浇铸法、浸渍涂敷的封装方式比较广泛，可采用递模成型法、浇铸法、浸渍涂敷法、填充法和滴涂法。法、填充法和滴涂法。植霞旺喘告详淌看埃坡州榔饼体奉杨鼎畜腔暗扁窑脊三瞅拢挂尘闻归姑张五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术硅酮树脂硅酮树脂 能在较宽的频率和温度范围内工作。同时它具有更高的能在较宽的频率和温度范

48、围内工作。同时它具有更高的耐高温性耐高温性(350400)、耐气候性和抗辐照性，固化后收缩率、耐气候性和抗辐照性，固化后收缩率小，外形几何尺寸稳定性好。主要缺点就是它与金属和非金小，外形几何尺寸稳定性好。主要缺点就是它与金属和非金屑的粘接性能欠佳。屑的粘接性能欠佳。 聚丁二烯酯树脂聚丁二烯酯树脂 这也是一种热固性树脂，其优点是固化速度快、成型性好、这也是一种热固性树脂，其优点是固化速度快、成型性好、固化后交联密度大、机械强度高、耐热性好固化后交联密度大、机械强度高、耐热性好(热变形温度大于热变形温度大于260)和防潮性能好，并具有优良的电绝线性，高频损耗小，和防潮性能好，并具有优良的电绝线性，

49、高频损耗小，吸水率低。它的缺点是不适合封装大功率集成电路。常用的吸水率低。它的缺点是不适合封装大功率集成电路。常用的封装方式有递模成型法、浸渍法及浇铸法。封装方式有递模成型法、浸渍法及浇铸法。欲奢尚儒奥己吓畴挎衫绢擒中创狈总翁德甥矩哄绑疙拿惶啃唾抱峻尸壳涕五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术聚邻聚邻(间间)苯二甲酸二丙烯酯苯二甲酸二丙烯酯 这是一种热固性树脂，具有良好的防潮性、防盐雾性、耐腐这是一种热固性树脂，具有良好的防潮性、防盐雾性、耐腐蚀性和耐气候性。在高温高湿条件下它也有较高电绝缘性，且蚀性和耐气候性。在高温高湿条件下它也有较高电绝缘性，且外形几何尺寸稳定性好。它的缺点是耐热冲击性

50、能差，并只能外形几何尺寸稳定性好。它的缺点是耐热冲击性能差，并只能采用浇铸法成型。采用浇铸法成型。枯目哄度喀驰袖蜡足灾彝寨力棕欢佛狈弥汲粗稽催钠恨蒲递沫怎肆硬陀弹五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术常用的塑封添加剂及其作用常用的塑封添加剂及其作用 根据塑封电路的性能要求，为获得某种性能和改进树脂的某根据塑封电路的性能要求，为获得某种性能和改进树脂的某些性质，制备过程中增加如下添加剂。些性质，制备过程中增加如下添加剂。填充剂填充剂 填充剂的作用是改善模塑料的机械强度，减小线膨胀系数，提填充剂的作用是改善模塑料的机械强度，减小线膨胀系数，提高耐热冲击强度和耐磨损性，以增加尺寸的稳定性、热传导率

51、和高耐热冲击强度和耐磨损性，以增加尺寸的稳定性、热传导率和降低收缩率。降低收缩率。 常用的填充剂有：石英粉、玻璃纤维、云母粉、常用的填充剂有：石英粉、玻璃纤维、云母粉、氧化铝粉、氧化锌粉和有机合成纤维等。氧化铝粉、氧化锌粉和有机合成纤维等。脱模剂脱模剂 为了改善模塑料的脱模性能，提高模具的使用寿命和改善塑封为了改善模塑料的脱模性能，提高模具的使用寿命和改善塑封制品的外观性能，则在塑料的组成中加入适量的脱模剂。制品的外观性能，则在塑料的组成中加入适量的脱模剂。 常用的脱模剂称硕脂酸钙、硬脂酸、种类的高级脂肪酸等。常用的脱模剂称硕脂酸钙、硬脂酸、种类的高级脂肪酸等。曳侵格央衫呼净嗓欣查痴锦劫欲鉴需

52、腰谢锈龄世鞍遥徘甜咳寐布逾观拄勉五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术着色剂着色剂 着色刑的加入主要是使塑封后器件具有不同的颜色。着色刑的加入主要是使塑封后器件具有不同的颜色。阻燃剂阻燃剂 为了满足某些塑封器件具有阻燃性能使之安全可靠的要求，为了满足某些塑封器件具有阻燃性能使之安全可靠的要求，可在塑科中加入适量的阻然剂。如卤化物、磷系化合物和三氧可在塑科中加入适量的阻然剂。如卤化物、磷系化合物和三氧化锑等。化锑等。固化剂固化剂 这是塑封中主要添加剂，以加速塑料的交联反应而固化。这是塑封中主要添加剂，以加速塑料的交联反应而固化。根据不同的树脂和特性，可选用不同的固化剂。如环氧树脂可根据不同的树脂和特性，可选用不同的固化剂。如环氧树脂可采用胶类和酚类，硅酮树脂可采用苯丙酸、苯甲酸酐等采用胶类和酚类，硅酮树脂可采用苯丙酸、苯甲酸酐等蔷怨裴剪捧迅赢岗芜列狗淀笛登她就墒弃课伏舌足拂龚抉肪水蚜丢耽砌吩五章节微电子封装技术五章节微电子封装技术