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1、第第3 3章章 电阻式传感器原理及其应用电阻式传感器原理及其应用 3.1 3.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器 3.1.1 3.1.1 传感器的工作原理传感器的工作原理 3.1.2 3.1.2 电阻应变片的结构和分类电阻应变片的结构和分类 3.1.3 3.1.3 电阻应变式传感器的测量电路电阻应变式传感器的测量电路 3.1.4 3.1.4 电阻应变式的粘贴电阻应变式的粘贴 3.1.5 3.1.5 电阻应变式传感器的应用电阻应变式传感器的应用3.2 3.2 压阻式传感器压阻式传感器 3.2.1 3.2.1 压阻式传感器的结构压阻式传感器的结构 3.2.2 3.2.2 压阻式传感器的工作原理压
2、阻式传感器的工作原理 3.2.3 3.2.3 压阻式传感器的应用压阻式传感器的应用 电阻式传感器概述电阻式传感器概述电阻式传感器电阻式传感器是利用一定的方式将被测量的变化是利用一定的方式将被测量的变化转化为敏感元件电阻参数的变化，再通过电路转变成转化为敏感元件电阻参数的变化，再通过电路转变成电压或电流信号的输出，从而实现非电量的测量。电压或电流信号的输出，从而实现非电量的测量。可用于各种机械量和热工量的检测，如用来测量可用于各种机械量和热工量的检测，如用来测量力、压力、位移、应变、速度、加速度、温度和湿度力、压力、位移、应变、速度、加速度、温度和湿度等。它结构简单，性能稳定，成本低廉，在许多行
3、业等。它结构简单，性能稳定，成本低廉，在许多行业得到了广泛应用。得到了广泛应用。由于构成电阻的材料及种类很多，引起电阻变化由于构成电阻的材料及种类很多，引起电阻变化的物理原因也很多，这就构成了各种各样的电阻式传的物理原因也很多，这就构成了各种各样的电阻式传感元件以及由这些元件构成的电阻式传感器。感元件以及由这些元件构成的电阻式传感器。3.1 3.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器 3.1.1 传感器的工作原理传感器的工作原理 电阻应变式传感器是根据电阻应变式传感器是根据电阻应变效应电阻应变效应的原理制的原理制成的，将测量物体的变形转换成电阻的变化。主要用成的，将测量物体的变形转换成电阻的变化
4、。主要用于机械量的检测中，如力、压力等物理量的检测中，于机械量的检测中，如力、压力等物理量的检测中，其应用最为广泛的形式是电阻应变片。其应用最为广泛的形式是电阻应变片。（1）电阻应变效应）电阻应变效应 电阻应变效应：电阻应变效应：导体或半导体材料在外力作用下导体或半导体材料在外力作用下会产生机械形变，其电阻值也发生相应改变，这种现会产生机械形变，其电阻值也发生相应改变，这种现象称为电阻应变效应。象称为电阻应变效应。 金属电阻应变片的工作原理就是电阻应变效应。金属电阻应变片的工作原理就是电阻应变效应。金属导体的电阻值可表示为：金属导体的电阻值可表示为：对上式两边取对数再微分，求得电阻相应变对上式
5、两边取对数再微分，求得电阻相应变化为：化为：对圆形横截面积的电阻丝，若其半径为对圆形横截面积的电阻丝，若其半径为 所以有：所以有： 由材料力学可知，在弹性范围内，金属丝受拉力时，由材料力学可知，在弹性范围内，金属丝受拉力时，沿轴向伸长，沿径向缩短，令沿轴向伸长，沿径向缩短，令 为金属电阻丝的为金属电阻丝的轴向应变，那么轴向应变和径向应变的关系可表示为：轴向应变，那么轴向应变和径向应变的关系可表示为：所以：所以：综上可得：综上可得：3.1.2 电阻应变片的结构和分类电阻应变片的结构和分类 （1）电阻应变片的结构）电阻应变片的结构 电阻应变片又称为电阻应变计，它的结构电阻应变片又称为电阻应变计，它
6、的结构形式较多，但其主要组成部分基本相同，是由形式较多，但其主要组成部分基本相同，是由基底、敏感栅和覆盖层等组成。基底、敏感栅和覆盖层等组成。（1）敏感栅）敏感栅实现应变到电阻转换的敏感元件。实现应变到电阻转换的敏感元件。通常由直径为通常由直径为0.0150.05mm的金属丝绕成栅的金属丝绕成栅状，或用金属箔腐蚀成栅状。状，或用金属箔腐蚀成栅状。（2）基底）基底为保持敏感栅固定的形状、尺寸和位为保持敏感栅固定的形状、尺寸和位置，通常用粘结剂将其固结在纸质或胶质的基置，通常用粘结剂将其固结在纸质或胶质的基底上。基底必须很薄，一般为底上。基底必须很薄，一般为0.020.04mm。（3）引线）引线起
7、着敏感栅与测量电路之间的过渡连起着敏感栅与测量电路之间的过渡连接和引导作用。通常取直径约接和引导作用。通常取直径约0.10.15mm的的低阻镀锡铜线，并用钎焊与敏感栅端连接。低阻镀锡铜线，并用钎焊与敏感栅端连接。（4）盖层）盖层用纸、胶作成覆盖在敏感栅上的保护用纸、胶作成覆盖在敏感栅上的保护层，起着防潮、防蚀、防损等作用。层，起着防潮、防蚀、防损等作用。（5）粘结剂）粘结剂制造应变计时，用它分别把盖层和制造应变计时，用它分别把盖层和敏感栅固结于基底，使用应变计时，用它把应敏感栅固结于基底，使用应变计时，用它把应变计基底粘贴在试件表面的被测部位，它也起变计基底粘贴在试件表面的被测部位，它也起着传
8、递应变的作用。着传递应变的作用。电阻应变片的要求：电阻应变片的要求：（1）应变灵敏度系数大，且线性范围宽；）应变灵敏度系数大，且线性范围宽；（2）电阻率值大，即在同样长度、同样横截面）电阻率值大，即在同样长度、同样横截面积的电阻丝中具有较大的电阻值；积的电阻丝中具有较大的电阻值；（3）电阻稳定性能好，温度系数小，其阻值随）电阻稳定性能好，温度系数小，其阻值随环境温度变化较小；环境温度变化较小；（4）易于焊接，对引线材料的接触电势小；）易于焊接，对引线材料的接触电势小；（5）抗氧化能力高、耐腐蚀、耐疲劳，机械强）抗氧化能力高、耐腐蚀、耐疲劳，机械强度高，具有优良的机械加工性能。度高，具有优良的机
9、械加工性能。常用金属电阻丝材料的性能：常用金属电阻丝材料的性能：几种常用的国产应变片的技术数据：几种常用的国产应变片的技术数据：（2）电阻应变片的分类）电阻应变片的分类 根据应变片的制作材料，可以把应变片分为根据应变片的制作材料，可以把应变片分为金属电阻应变片金属电阻应变片和和半导体应变片半导体应变片两大类。两大类。按照电阻应变片的制造方法、工作温度以及按照电阻应变片的制造方法、工作温度以及用途，可以对电阻应变片进行不同的分类。用途，可以对电阻应变片进行不同的分类。u金属丝式应变片由基体材料、金属应变丝或金属丝式应变片由基体材料、金属应变丝或应变箔、绝缘保护片和引出线等部分组成。应变箔、绝缘保
10、护片和引出线等部分组成。金属丝式应变片有金属丝式应变片有回线式回线式和和短接式短接式二种。回二种。回线式最为常用，制作简单，性能稳定，成本线式最为常用，制作简单，性能稳定，成本低，易粘贴，但横向效应较大。低，易粘贴，但横向效应较大。丝式金属电阻应变片的敏感栅由直径丝式金属电阻应变片的敏感栅由直径0.010.05mm的电阻丝平行排列而成。应变片的阻的电阻丝平行排列而成。应变片的阻值为几十欧至几十千欧左右。值为几十欧至几十千欧左右。u金属箔式电阻应变片的结构金属箔式电阻应变片的结构它的敏感栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成。将合金它的敏感栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成。将合金先轧成厚度为先轧成厚度为0.0
11、02mm0.01mm的箔材，经过热的箔材，经过热处理后在一面图刷一层处理后在一面图刷一层0.030.05mm厚的树脂胶，厚的树脂胶，再经聚合固化形成基底。再经聚合固化形成基底。在另一面经照相制版、光刻、腐蚀等工艺制成敏感在另一面经照相制版、光刻、腐蚀等工艺制成敏感栅，焊上引线，并涂上与基底相同的树脂胶作为覆栅，焊上引线，并涂上与基底相同的树脂胶作为覆盖片。盖片。箔式应变计的主要特点：箔式应变计的主要特点： 工艺上，它能保证敏感栅尺寸准确，线条均匀。大工艺上，它能保证敏感栅尺寸准确，线条均匀。大批量生产时，电阻值一致性好，离散程度小。批量生产时，电阻值一致性好，离散程度小。箔式应变计的敏感栅的横
12、截面积为矩形，表面积和箔式应变计的敏感栅的横截面积为矩形，表面积和截面积之比大，散热性能好，允许通过的电流较大，截面积之比大，散热性能好，允许通过的电流较大，灵敏度系数较高。灵敏度系数较高。箔式应变计比丝式应变计厚度薄，其厚度一般为箔式应变计比丝式应变计厚度薄，其厚度一般为0.0030.01mm，由于它的厚度薄，具有较好的可，由于它的厚度薄，具有较好的可绕性，因此可以根据需要制成任意形状的敏感栅绕性，因此可以根据需要制成任意形状的敏感栅（即应变花）和微型小基长（如基长为（即应变花）和微型小基长（如基长为0.1mm），），有利于传递变形。有利于传递变形。由于箔式应变计的特殊工艺，适合批量生产，且
13、生由于箔式应变计的特殊工艺，适合批量生产，且生产效率高。产效率高。u金属薄膜应变片金属薄膜应变片 ：薄膜，一般指厚度不超过：薄膜，一般指厚度不超过0.1m的膜。金属薄膜应变片是采用真空蒸的膜。金属薄膜应变片是采用真空蒸镀、沉积或溅射式阴极扩散等方法按规定图镀、沉积或溅射式阴极扩散等方法按规定图形制成的掩膜版，在很薄的绝缘基底材料上形制成的掩膜版，在很薄的绝缘基底材料上制成一层金属电阻材料薄膜以形成敏感栅，制成一层金属电阻材料薄膜以形成敏感栅，再加上保护层而制成。再加上保护层而制成。u金属薄膜应变片可以采用一些高温材料制成金属薄膜应变片可以采用一些高温材料制成可在高温条件下工作的电阻应变片。可在
14、高温条件下工作的电阻应变片。 例如，采用铂或铬等材料沉积在蓝宝石例如，采用铂或铬等材料沉积在蓝宝石薄片上或覆有陶瓷绝缘层的钼条上，工作温薄片上或覆有陶瓷绝缘层的钼条上，工作温度范围在度范围在600800。u若若按按照照工工作作温温度度进进行行分分类类，可可将将电电阻阻应应变变计计分分为为低低温温（-30-30以以下下）、常常温温（-30-306060） 、 中中 温温 （ 6060 300300） 和和 高高 温温（300300以上）几种应变计。以上）几种应变计。3.1.3电阻应变式传感器的测量电路电阻应变式传感器的测量电路 电阻应变式传感器的测量电路按照工作电源分为电阻应变式传感器的测量电路
15、按照工作电源分为直流电源测量电路和交流电源测量电路两种。直流电源测量电路和交流电源测量电路两种。（1）直流电桥电路）直流电桥电路 直流电桥电路是由连接成环形的四个桥臂组成的，直流电桥电路是由连接成环形的四个桥臂组成的，每个桥臂上是一个电阻，分别为每个桥臂上是一个电阻，分别为R1、R2、R3及及R4，他们可全部或部分是应变片。他们可全部或部分是应变片。U为电源电压，给电桥供电，为电源电压，给电桥供电， 为负载电阻。为负载电阻。当当 时，可求得电桥输出电压为：时，可求得电桥输出电压为：当当 时，电桥处于平衡状态，此时电桥无时，电桥处于平衡状态，此时电桥无输出，则有：输出，则有： 当当 时，称为电桥
16、的平衡条件。时，称为电桥的平衡条件。这说明欲使电桥平衡，其相邻两臂电阻的比这说明欲使电桥平衡，其相邻两臂电阻的比值应相等，或相对两臂电阻的乘积应相等。值应相等，或相对两臂电阻的乘积应相等。u不对称电桥不对称电桥不对称电桥满足电桥平衡条件：不对称电桥满足电桥平衡条件： 若接入桥臂的四个电阻均为应变片，且当受若接入桥臂的四个电阻均为应变片，且当受应力作用时，每个应变片电阻变化量分别为应力作用时，每个应变片电阻变化量分别为 ，此时电桥的输出电压变，此时电桥的输出电压变化为：化为： 假如接入桥臂的四个电阻只有一个为应变片。假如接入桥臂的四个电阻只有一个为应变片。不妨设不妨设 为应变片，且受力时产生的电
17、阻增为应变片，且受力时产生的电阻增量为量为 ，其他三个为固定阻值电阻，即，其他三个为固定阻值电阻，即 。 在单臂工作状态下，电桥的输出电压变化为：在单臂工作状态下，电桥的输出电压变化为：把电桥平衡条件把电桥平衡条件 代入上式化简，并代入上式化简，并忽略高阶无穷小量得：忽略高阶无穷小量得：u对称电桥对称电桥：对称电桥在满足电桥平衡的条件：对称电桥在满足电桥平衡的条件下可分为两种。下可分为两种。 桥路输出端对称电桥。满足条件桥路输出端对称电桥。满足条件 当接入桥臂的四个电阻只有一个为应变片时，当接入桥臂的四个电阻只有一个为应变片时，电桥的输出电压变化为：电桥的输出电压变化为：若当桥臂接入两个应变片
18、，若接入的两个应若当桥臂接入两个应变片，若接入的两个应变片关于桥路输出端对称，且这两个应变片变片关于桥路输出端对称，且这两个应变片在工作时所产生电阻增量大小相等符号相反，在工作时所产生电阻增量大小相等符号相反，此时电桥输出电压变化为：此时电桥输出电压变化为：u桥路输出端对称电桥电路图。桥路输出端对称电桥电路图。 电源输入端对称电桥。满足条件电源输入端对称电桥。满足条件 若若接入的两个应变片对于电源输入端对称，且满足两接入的两个应变片对于电源输入端对称，且满足两个应变片在工作时所产生的电阻增量大小相等符号个应变片在工作时所产生的电阻增量大小相等符号相反时，电桥的输出电压变化为：相反时，电桥的输出
19、电压变化为：u全等臂电桥全等臂电桥 当当 时，称之为全等臂电桥。时，称之为全等臂电桥。其输出电压变化为：其输出电压变化为：接入一个应变片：接入一个应变片：接入两个应变片：接入两个应变片：接入四个应变片：接入四个应变片：（2）交流电桥电路）交流电桥电路 由于应变电桥输出电压很小，一般都要加放大器，由于应变电桥输出电压很小，一般都要加放大器，而直流放大器易于产生零漂，因此应变电桥多采用而直流放大器易于产生零漂，因此应变电桥多采用交流电桥。交流电桥。交流电桥的平衡条件：交流电桥的平衡条件：即：即：或或（3）电桥的调平衡）电桥的调平衡在应变片工作之前必须对电桥进行平衡调节。在应变片工作之前必须对电桥进
20、行平衡调节。对于直流电桥可采用串联或并联电位器法。对于直流电桥可采用串联或并联电位器法。常用的电桥调平衡电路如图所示。常用的电桥调平衡电路如图所示。 （a）为串联电阻调平衡法）为串联电阻调平衡法（b）为并联电阻调平衡法）为并联电阻调平衡法 对于交流电桥一般采用阻容调平衡法，如对于交流电桥一般采用阻容调平衡法，如图所示。图所示。 （d）为阻容调平衡法 （c）为差动电容调平衡法 （4）温度补偿）温度补偿应变片的阻值受环境（包括被测试件的温度）的影应变片的阻值受环境（包括被测试件的温度）的影响很大。由于测量现场环境温度的改变而给测量带响很大。由于测量现场环境温度的改变而给测量带来的附加误差，称为应变
21、片的温度误差。来的附加误差，称为应变片的温度误差。因环境温度改变而产生应变片温度误差的主要因素因环境温度改变而产生应变片温度误差的主要因素有有两个方面两个方面：环境温度变化时，敏感栅的电阻值会随温度变化而环境温度变化时，敏感栅的电阻值会随温度变化而引起误差；引起误差；环境温度变化时，试件材料和应变片电阻丝材料的环境温度变化时，试件材料和应变片电阻丝材料的线膨胀系数不同而引起误差。线膨胀系数不同而引起误差。电阻温度系数的影响：电阻温度系数的影响：敏感栅的电阻丝阻值随温度变化的关系可用下式表敏感栅的电阻丝阻值随温度变化的关系可用下式表示：示：试件和电阻丝材料的线膨胀系数的影响：试件和电阻丝材料的线
22、膨胀系数的影响：当试件（弹性元件）与电阻丝（敏感栅）材当试件（弹性元件）与电阻丝（敏感栅）材料的线膨胀系数相同时，不论环境温度如何料的线膨胀系数相同时，不论环境温度如何变化，电阻丝的变形都和自由状态一样，不变化，电阻丝的变形都和自由状态一样，不会产生附加变形。当试件与电阻丝材料的线会产生附加变形。当试件与电阻丝材料的线膨胀系数不同时，由于环境温度的变化，电膨胀系数不同时，由于环境温度的变化，电阻丝会产生附加变形，从而产生附加电阻值阻丝会产生附加变形，从而产生附加电阻值变化。变化。由于温度变化会引起应变片电阻阻值变化，由于温度变化会引起应变片电阻阻值变化，对测量造成误差，因此要进行消除误差或对对
23、测量造成误差，因此要进行消除误差或对桥路输出进行补偿，叫桥路输出进行补偿，叫温度补偿温度补偿。电阻应变。电阻应变片的温度补偿方法通常有片的温度补偿方法通常有线路补偿线路补偿和应变片和应变片自补偿自补偿两大类。两大类。线路补偿法线路补偿法 ：电电桥桥补补偿偿法法是是最最常常用用且且效效果果较较好好的的线线路路补补偿偿法法。利利用用电电桥桥相相邻邻相相等等两两臂臂同同时时产产生生大大小小相相等等、符符号号相相同同的的电电阻阻增增量量不不会会破破坏坏电电桥桥平平衡衡的的特特性性来来达达到到补补偿偿的的目的。目的。电桥输出电压与桥臂电阻参数的关系为：电桥输出电压与桥臂电阻参数的关系为：全全桥桥的的温温
24、度度补补偿偿原原理理如如图图，当当环环境境温温度度升升高高时时，桥桥臂臂上上的的应应变变片片温温度度同同时时升升高高，温温度度引引起起的的电电阻阻值值漂漂移数值一致，可相互抵消，全桥的温漂较小。移数值一致，可相互抵消，全桥的温漂较小。应变片自补偿应变片自补偿 ： 使用特殊的应变片，当温度发生变化时，应变片使用特殊的应变片，当温度发生变化时，应变片本身的电阻增量为零，该应变片称为温度自补偿片。本身的电阻增量为零，该应变片称为温度自补偿片。 单丝自补偿应变片单丝自补偿应变片：根据温度自补偿应变片的工：根据温度自补偿应变片的工作原理，由温度变化而引起的应变片总电阻相对变作原理，由温度变化而引起的应变
25、片总电阻相对变化量应为零。化量应为零。 双双丝丝组组合合式式自自补补偿偿应应变变片片：由由两两种种不不同同电电阻阻系系数数（一一种种为为正正值值，一一种种为为负负值值）的的材材料料串串联联在在一一起起形形成成一一个个应应变变片片，只只要要满满足足两两段段电电阻阻丝丝随随温温度度变变化化使使应应变变片片产产生生的的电电阻阻增增量量大大小小相相等等、符符号号相相反反的的条条件件，在一定的温度范围内即可实现温度补偿。在一定的温度范围内即可实现温度补偿。3.1.4 电阻应变式的粘贴电阻应变式的粘贴 应变片是用粘结剂粘贴到被测件上的，粘结应变片是用粘结剂粘贴到被测件上的，粘结剂形成的胶层必须准确迅速地将
26、被测件应变剂形成的胶层必须准确迅速地将被测件应变传递到敏感栅上。传递到敏感栅上。选择粘结剂时必须考虑应变片材料和被测件选择粘结剂时必须考虑应变片材料和被测件材料性能，不仅要求粘接力强，粘结后机械材料性能，不仅要求粘接力强，粘结后机械性能可靠，而且粘合层要有足够大的剪切弹性能可靠，而且粘合层要有足够大的剪切弹性模量，良好的电绝缘性，蠕变和滞后小，性模量，良好的电绝缘性，蠕变和滞后小，耐湿，耐油，耐老化，动态应力测量时耐疲耐湿，耐油，耐老化，动态应力测量时耐疲劳等。劳等。 （1）粘合剂的选取）粘合剂的选取粘合剂主要是用来将敏感栅固定于基底上，粘合剂主要是用来将敏感栅固定于基底上，并将盖片与基底粘贴
27、在一起。使用金属应变并将盖片与基底粘贴在一起。使用金属应变片时，也需用粘结剂将应变片基底粘贴在构片时，也需用粘结剂将应变片基底粘贴在构件表面某个方向和位置上。以便将构件受力件表面某个方向和位置上。以便将构件受力后的表面应变传递给应变计的基底和敏感栅。后的表面应变传递给应变计的基底和敏感栅。在选用粘合剂时应综合考虑应变片的工作条在选用粘合剂时应综合考虑应变片的工作条件、工作温度、潮湿度、有无化学腐蚀、稳件、工作温度、潮湿度、有无化学腐蚀、稳定性、加温加压固化的可能性以及粘贴时间定性、加温加压固化的可能性以及粘贴时间长短等因素，选择合适的粘合剂。长短等因素，选择合适的粘合剂。常用的粘结剂分为有机和
28、无机两大类。有机常用的粘结剂分为有机和无机两大类。有机粘结剂用于低温、常温和中温。无机粘结剂粘结剂用于低温、常温和中温。无机粘结剂用于高温用于高温。（2）粘贴工艺）粘贴工艺 在粘贴时，操作人员必须遵循正确的粘贴工在粘贴时，操作人员必须遵循正确的粘贴工艺流程，进行正确操作，以保证粘贴质量。艺流程，进行正确操作，以保证粘贴质量。粘贴工艺包括被测件粘贴表面处理、贴片位粘贴工艺包括被测件粘贴表面处理、贴片位置确定、涂底胶、贴片、干燥固化、贴片质置确定、涂底胶、贴片、干燥固化、贴片质量检查、引线的焊接与固定以及防护与屏蔽量检查、引线的焊接与固定以及防护与屏蔽等。等。粘结剂的性能及应变片的粘贴质量直接影响
29、粘结剂的性能及应变片的粘贴质量直接影响应变片的工作特性，如零漂、蠕变、滞后、应变片的工作特性，如零漂、蠕变、滞后、灵敏系数、线性以及它们受温度变化影响的灵敏系数、线性以及它们受温度变化影响的程度。可见，选择粘结剂和正确的粘结工艺程度。可见，选择粘结剂和正确的粘结工艺与应变片的测量精度有着极重要的关系。与应变片的测量精度有着极重要的关系。应变片的粘贴步骤一般可分为：应变片的粘贴步骤一般可分为： （1）应变片的检查与选择）应变片的检查与选择（2）试件的表面处理）试件的表面处理（3）底层处理）底层处理（4）贴片）贴片（5）固化）固化（6）粘贴质量检查）粘贴质量检查（7）引线焊接与组桥连线）引线焊接与
30、组桥连线应变片的选用应变片的选用 ：（1）选择类型）选择类型使用目的、要求、对象、环境使用目的、要求、对象、环境（2）材料考虑）材料考虑使用温度、时间、最大应变量使用温度、时间、最大应变量及精度。及精度。（3）阻值选择）阻值选择根据测量电路和仪器选定标称根据测量电路和仪器选定标称电阻电阻（4）尺寸考虑）尺寸考虑试件表面、应力分布、粘贴面试件表面、应力分布、粘贴面积积（5）其他考虑）其他考虑特殊用途、恶劣环境、高精度特殊用途、恶劣环境、高精度3.1.5电阻应变式传感器的应用电阻应变式传感器的应用 电阻应变片的应用有两个方面：一是作为敏感元件，电阻应变片的应用有两个方面：一是作为敏感元件，可直接用
31、于被测试件的应变测量；另一方面作为转可直接用于被测试件的应变测量；另一方面作为转换元件，通过弹性元件构成传感器，可用于对任何换元件，通过弹性元件构成传感器，可用于对任何能转换成弹性元件应变的其他物理量的间接测量。能转换成弹性元件应变的其他物理量的间接测量。应变片式传感器的特点：应变片式传感器的特点：应用和测量范围广；应用和测量范围广；分辨率和灵敏度高、精度较高；分辨率和灵敏度高、精度较高；结构轻小，对试件影响小，环境适应性强，频率响结构轻小，对试件影响小，环境适应性强，频率响应好；应好；商品化，选用方便，便于实现远距离、自动化测量。商品化，选用方便，便于实现远距离、自动化测量。金属应变计：金属
32、应变计：（1）测力传感器）测力传感器 ：（2）压力传感器）压力传感器 ：（3）应变式位移传感器）应变式位移传感器 ： 应应变变式式位位移移传传感感器器是是把把被被测测位位移移量量转转变变成成弹弹性性元元件件的的变变形形和和应应变变，然然后后通通过过应应变变计计和应变电桥，输出正比于被测位移的电量。和应变电桥，输出正比于被测位移的电量。（4）应变式加速度传感器）应变式加速度传感器 ： 通通过过质质量量块块与与弹弹性性元元件件的的作作用用，还还可可将将被被测测加加速速度度转转换换成成弹弹性性应应变变，从从而而构构成成应应变式加速度传感器。变式加速度传感器。3.2 3.2 压阻式传感器压阻式传感器
33、3.2.1压阻式传感器的结构压阻式传感器的结构 有些固体材料在某一轴向受到外力作用时，除了产有些固体材料在某一轴向受到外力作用时，除了产生变形外，其电阻率生变形外，其电阻率也要发生变化，这种由于应也要发生变化，这种由于应力的作用而使材料电阻率发生变化的现象称为力的作用而使材料电阻率发生变化的现象称为压阻压阻效应效应。半导体材料的压阻效应特别强。利用压阻效。半导体材料的压阻效应特别强。利用压阻效应制成的传感器称为应制成的传感器称为压阻式传感器压阻式传感器。压阻式传感器的灵敏系数大，分辨率高，频率响应压阻式传感器的灵敏系数大，分辨率高，频率响应好，体积小。它主要用于测量压力、加速度和载荷好，体积小
34、。它主要用于测量压力、加速度和载荷等参数。等参数。压阻式传感器是利用半导体材料的压阻效应而制成压阻式传感器是利用半导体材料的压阻效应而制成的一种纯电阻性元件。它主要有三种类型：的一种纯电阻性元件。它主要有三种类型：体型体型、薄膜型薄膜型和和扩散型扩散型。（1）体型压阻传感器）体型压阻传感器 利用半导体材料电阻制成粘贴式的应变片（半导体利用半导体材料电阻制成粘贴式的应变片（半导体应变片），用此应变片制成的传感器称为半导体应应变片），用此应变片制成的传感器称为半导体应变式传感器，其工作原理是基于半导体材料的压阻变式传感器，其工作原理是基于半导体材料的压阻效应。效应。这是一种将半导体材料硅或锗晶体按
35、一定方向切割这是一种将半导体材料硅或锗晶体按一定方向切割成的片状小条，经腐蚀压焊粘贴在基片上而成的应成的片状小条，经腐蚀压焊粘贴在基片上而成的应变片，其结构如图。变片，其结构如图。（2）薄膜型压阻传感器）薄膜型压阻传感器 薄膜型压阻传感器是利用真空沉积技术将半导体材薄膜型压阻传感器是利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝缘层的试件上而制成的，结构如图。料沉积在带有绝缘层的试件上而制成的，结构如图。 （3）扩散型压阻传感器）扩散型压阻传感器 扩散型压阻传感器是在半导体材料的基片上利用集扩散型压阻传感器是在半导体材料的基片上利用集成电路工艺制成扩散电阻。将成电路工艺制成扩散电阻。将P型杂质扩散到
36、型杂质扩散到N型硅型硅单晶基底上，形成一层极薄的单晶基底上，形成一层极薄的P型导电层，再通过型导电层，再通过超声波和热压焊法接上引出线就形成了扩散型半导超声波和热压焊法接上引出线就形成了扩散型半导体应变片。体应变片。它是一种应用很广的半导体它是一种应用很广的半导体应变片。扩散型压阻传感器应变片。扩散型压阻传感器的基片是半导体单晶硅。的基片是半导体单晶硅。3.2.2压阻式传感器的工作原理压阻式传感器的工作原理 1、工作原理、工作原理压阻式传感器是用半导体材料制成的，其工作原理压阻式传感器是用半导体材料制成的，其工作原理是基于半导体材料的压阻效应，当半导体应变片受是基于半导体材料的压阻效应，当半导
37、体应变片受轴向力作用时，其电阻率轴向力作用时，其电阻率 发生变化。其电阻相对发生变化。其电阻相对变化为：变化为：用应变片测量应变或应力时，在外力作用下，被测用应变片测量应变或应力时，在外力作用下，被测对象产生微小机械变形，应变片随着发生相同的变对象产生微小机械变形，应变片随着发生相同的变化，同时应变片电阻值也发生相应变化。化，同时应变片电阻值也发生相应变化。 半导体应变片与金属应变片相比，最突出的优点是半导体应变片与金属应变片相比，最突出的优点是它的体积小而灵敏度高。它的体积小而灵敏度高。2、温度误差及补偿、温度误差及补偿 由于半导体材料对温度很敏感，压阻式传感器的电由于半导体材料对温度很敏感
38、，压阻式传感器的电阻值及灵敏度系数随温度变化而发生变化，引起的阻值及灵敏度系数随温度变化而发生变化，引起的温度误差分别为零漂和灵敏度温漂。温度误差分别为零漂和灵敏度温漂。压阻式传感器一般在半导体基片上扩散四个电阻，压阻式传感器一般在半导体基片上扩散四个电阻，当四个扩散电阻的阻值相等或相差不大、电阻温度当四个扩散电阻的阻值相等或相差不大、电阻温度系数也相同时，其零漂和灵敏度温漂都会很小，但系数也相同时，其零漂和灵敏度温漂都会很小，但工艺上难以实现。工艺上难以实现。由于温度误差较大，压阻式传感器一般都要进行温由于温度误差较大，压阻式传感器一般都要进行温度补偿。度补偿。（1）零点温度补偿）零点温度补
39、偿零位温漂是由于四个扩散电阻的阻值及它们的温度零位温漂是由于四个扩散电阻的阻值及它们的温度系数不一致造成的。一般采用串、并联电阻的方法系数不一致造成的。一般采用串、并联电阻的方法进行补偿，如图所示。进行补偿，如图所示。（2）灵敏度温度补偿）灵敏度温度补偿传感器的灵敏度温度漂移是由于压阻系数随温度的传感器的灵敏度温度漂移是由于压阻系数随温度的变化引起的。为补偿灵敏度温度漂移，可采用在电变化引起的。为补偿灵敏度温度漂移，可采用在电源回路中串联二极管的方法。源回路中串联二极管的方法。3.2.3压阻式传感器的应用压阻式传感器的应用 利用半导体压阻效应，可设计成多种类型的压阻式利用半导体压阻效应，可设计
40、成多种类型的压阻式传感器。压阻式传感器体积小，结构比较简单，灵传感器。压阻式传感器体积小，结构比较简单，灵敏度高，能测量十几微帕的微压，动态响应好，长敏度高，能测量十几微帕的微压，动态响应好，长期稳定性好，滞后和蠕变小，频率响应高，便于生期稳定性好，滞后和蠕变小，频率响应高，便于生产，成本低。因此，它在测量压力、压差、液位物产，成本低。因此，它在测量压力、压差、液位物位、加速度和流量等方面得到了普遍应用。位、加速度和流量等方面得到了普遍应用。 （1）压力测量压力测量图图3-20为压阻式压力传感器结构示意图。硅为压阻式压力传感器结构示意图。硅压阻式压力传感器由外壳、硅膜片（硅杯）压阻式压力传感器
41、由外壳、硅膜片（硅杯）和引线等组成。和引线等组成。（1）压力测量压力测量（2）液位测量）液位测量 图示为投入式液位传感器。它是根据液面高度图示为投入式液位传感器。它是根据液面高度与液压成比例的原理工作的。传感器的高压侧进气与液压成比例的原理工作的。传感器的高压侧进气孔与液体相通，安装深度孔与液体相通，安装深度 处的水压处的水压 ，则被测液位为：则被测液位为：投入式液位传感器安装方投入式液位传感器安装方便，可适应于深度为几米便，可适应于深度为几米至几十米，且混有大量污至几十米，且混有大量污物、杂质的水或其他液体物、杂质的水或其他液体的液位测量。的液位测量。（3）加速度测量）加速度测量图示为压阻式加速度传感器的结构示意图。它的悬图示为压阻式加速度传感器的结构示意图。它的悬臂梁直接用单晶硅制成，在悬臂梁的根部扩散四个臂梁直接用单晶硅制成，在悬臂梁的根部扩散四个阻值相同的电阻，构成差动全桥。阻值相同的电阻，构成差动全桥。在悬臂梁的自由端装一质量块，当传感器受到加速在悬臂梁的自由端装一质量块，当传感器受到加速度作用时，由于惯性，质量块使悬臂梁发生形变而度作用时，由于惯性，质量块使悬臂梁发生形变而产生应力，该应力使扩散电阻的阻值发生变化，由产生应力，该应力使扩散电阻的阻值发生变化，由电桥的输出信号可获得加速度的大小。电桥的输出信号可获得加速度的大小。作业：作业：P43 1、2、4
