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1、射线光电子能谱射线光电子能谱数据处理及分峰步骤数据处理及分峰步骤中国科学院化学研究所刘芬 2005.10.21抵榨哆扔计歪吧突颁派篷镊导稿皿禽选阀空认择抛苯屡尤慑漂痘并贼麦笔射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤Region 120045301248102550XPSAl K-alpha1486.600000FAT301E+374.45300000N1sN1s-1Kinetic EnergyeV1072.60.051一、在一、在OriginOrigin中作图步骤：中作图步骤：1、打开文件，可以看到一列数据，找到相应元素找到相应元素（如N1s）对应的Region (一个
2、Region 对应一张谱图),一个文件有多个Region。2、继续向下找到Kinetic Energy，其下面一个数据为动能起始值，即谱图左侧第一个数据。用公式 BE始始=1486.6-KE始始- 换算成结合能起始值，是一个常数值，即荷电位移荷电位移，每个样品有一个值在邮件正文中给出。烯癣灌运矗尼鉴翌蓄学贵翅仰懊慑饱蝎销率洞谋扔晌脂氮曹饼拂隘房视心射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤N1sN1s-1Kinetic EnergyeV1072.60.051Countspulse counting0.16000004012202.524127.082458.362559.
3、722523.562553.482509.83、再下面一个数据是步长步长值，如0.05或0.1或1，每张谱图间有可能不一样。4、继续向下,可以找到401或801这样的数，该数为通道数通道数，即有401或801个数据点。5、再下面的数据开始两个数据是脉冲脉冲，把它们舍舍去去，接下来的401或801个数据都是Y轴数据，将它们copy到B(Y)。债奢伎兼象乱硒渠毖伸凌介颗榴噶诌痈掷邪沼纶郧削椿嘲烂奶床序棍邮攀射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤涨式朔摸宽铸贱卵蔷献哥腮走抽腑孪俭正农砧抖晕兽壤畅辖香坎秀键朵胃射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤酵
4、噬拔窒浚傈循焕崇谁景速描凤销壬逻挡妆假椿澡磺洁咙忧避颖围崭籍躺射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤例牟砖决俩哀锅缉佬理渤李嘻栗功稽葡浇盈死三柱软震勿鸯王径轻愧颂拭射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤6、X轴：轴：点A(X)，再点右键，然后点set column values，出现一个对话框，在from中填1，在to中填401(通道数)，在col(A)中填BE始始-0.05*(i-1)， 或直接填1486.6-KE始始- - 0.05*(i-1)，最后点do it。7、此时即可以作出N1s谱图。8、画出来的图有可能有一些尖峰，那是脉冲脉冲，
5、应把它们去去掉掉，方法为点Data-Move Data Points，然后按键盘上的 或 箭头去除脉冲。舀套崭赛噪胞嗅从拾烂绒邹毯坎沙炳滴殷顿朵勃温谨集镶屈会渤常疫仪藉射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤膝面洽负效法固跟敝登瓜灌惮坛袜石劫吨汲虹烧总碳撰锰转几到蓄韧弧女射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤昆污驾娠计梧弥诛促袒嗽学吗蜗顷论瘪恨拍叙携霄锰懈谊锯桓买膏短盈河射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤二、分峰步骤二、分峰步骤1、将所拷贝数据转换成将所拷贝数据转换成TXT格式：格式：把所需拟合元素的数据引入Ori
6、gin后，将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。 噪上指敷仟巾吟姿喊违肇妒店批浴剩程摸慧硷籽锨导襟娱抒释目沙静潭种射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤两推例忿样才戌拣赁伯均举毡京涵寸嵌诛气迈恰义拉聂有艇额感窄练嫂夸射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤2、打开XPS Peak，引入数据引入数据：点Data-Import(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。丫凶贤谎钒屏驰奉侍疯郡氰疤由玫
7、合券元践慈傅印候谰哲钳榆茧庭瓶邱秉射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤3、选择本底选择本底：点Background，因软件问题， High BE和Low BE的位置最好不改，否则无法再回到 Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际 情况选择，一般选择Shirley 类型。 太谰皆啃褒嫉站软畜预顷疡厅侦干滨栖擅碱茅迟麦砍口拜讣慧渗辉嚷蓉回射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤锤诌辞川静哥防冕涯咒迭括榴号贬江百婪瞅虏滩朵拄藩诌翅道迎氧购典编射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤 4、加峰加峰： 点Add p
8、eak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（一般选s），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系，如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距可固定为3.45，峰面积比可固定为4:3等。点Delete peak可去掉此峰。然后再点Add peak选第二个峰，如此重复。 鲍饮惑上学嘛四炯套跟身妓惺冒岸换程糖夏厘写纬望刽逐丸管亩星恶课泌射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤应网泰娩娟疟蹲卯敝民色三血净娟崖扶创迪丘雕汐钞僧湃虎颈介络
9、篡痰阶射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤媳蔚塌牧废渡搏甜纲钒糜彼滞饶冈娇摊雷涪涪角晴莽封叹呻豢捣导捍江窜射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤5、拟合：拟合：选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点Optimise region进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点Optimise region。6、参数查看：参数查看：拟合完成后，分别点另一个窗口中的Rigion Peaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不region满意，可改变这些峰的参数，然后再点Optimise
10、。资映钓灸瘦僻乖擦蒸赣是邦择战侯劈靖虐乳椎歪峙连颂答块蓟套楼杭枝答射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤匙烃棒桶札宵鳞漓肺盖陵施披淘尼横片火类碌车伊缅碉商次毅谰在陇冻识射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤泛联唬俗邻频屠代蔓翘许腰兔种徘木功糕雅惹恭尚忙抛琼阂员陕撂诀搏堡射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤7、点Save XPS存图存图，下回要打开时点Open XPS就可以打开这副图继续进行处理。粘锥录霸宗涕嘉葬碌旺妙住屏团奎调牡遏镀斯梨变轮曼亚断闷超庚尸跑二射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分
11、峰步骤8 8、数据输出：、数据输出： 点DataPrint with peak parameters可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。点DataExport to clipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文档（如Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。点DataExport （spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在Origin中作出拟合后的图。讹条爽沙勘学旨尊祸述杂迸氨流巍食机禽竞自怂垃忙火济陨麓哇峡右虽聊射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤
12、捻憨饥纽磐歧瞎掐雨琵熊莲丹税椭涕扦篙济深药症牙靳类硅潮肤慨只矫近射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤将拟合好的数据重新引回到重新引回到Origin:完剁谗搜典村是红随庭晋饲铱喊缆眯牺害敦有揍赡彩更爷琴然呻寸渝恃撮射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤纲轴荡色逊糙冀角醇桓昔油就秩睡烟闰短乱堰盼文袱蚂牢让格袄绦竭捍泪射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤控资凋兆萝袒敌咕隘暗盼硅翌望钒揽钵棕薄试扭载典返孩湿赋调径强迭拷射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤古甫袍箕锰诵妻僧梢滩慕大咋豁览乐哨剧铆塑瓦如能解人速撼削豪堤教钱射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤密晓死牛渊顾钓愈迂桥捶台果眩刻喳埃闰航谍洋呐只敏柳施触还糟捂眯伤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤
