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1、微机电系统微机电系统Micro-Electro-Mechanical Systems1详细课资引引 言言?信息系信息系统微型化微型化系系系系统统体体体体积积大大减小大大减小大大减小大大减小性能、可靠性大幅度上升性能、可靠性大幅度上升性能、可靠性大幅度上升性能、可靠性大幅度上升功耗和价格大幅度降低功耗和价格大幅度降低功耗和价格大幅度降低功耗和价格大幅度降低?信息系信息系统的目的目标：微型化和集成化：微型化和集成化微微微微电电子解决子解决子解决子解决电电子系子系子系子系统统的微型化的微型化的微型化的微型化非非非非电电子系子系子系子系统统成成成成为为整个系整个系整个系整个系统进统进一步一步一步一步缩
2、缩小的关小的关小的关小的关键键2详细课资机械机械部分部分传感传感执行执行控制部分控制部分电子学电子学MEMS微电子学微电子学3详细课资4详细课资MEMS技术技术?从广从广从广从广义义上上上上讲讲，MEMSMEMS是指集微型是指集微型是指集微型是指集微型传传感器、微型感器、微型感器、微型感器、微型执执行器、行器、行器、行器、信号信号信号信号处处理和控制理和控制理和控制理和控制电电路、接口路、接口路、接口路、接口电电路、通信系路、通信系路、通信系路、通信系统统以及以及以及以及电电源于源于源于源于一体的微型机一体的微型机一体的微型机一体的微型机电电系系系系统统?MEMSMEMS技技技技术术是一种多学
3、科交叉的前沿性是一种多学科交叉的前沿性是一种多学科交叉的前沿性是一种多学科交叉的前沿性领领域，它几乎涉域，它几乎涉域，它几乎涉域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有及到自然及工程科学的所有及到自然及工程科学的所有及到自然及工程科学的所有领领域，如域，如域，如域，如电电子、机械、光学、子、机械、光学、子、机械、光学、子、机械、光学、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等5详细课资MEMS 微小型、智能、集成、高可靠微小型、智能、集成、高可靠微小型、智能、集成、高
4、可靠微小型、智能、集成、高可靠?MEMSMEMS是人是人是人是人类类科技科技科技科技发发展展展展过过程一次重大的技程一次重大的技程一次重大的技程一次重大的技术术整合整合整合整合微微微微电电子技子技子技子技术术、精密加工技、精密加工技、精密加工技、精密加工技术术、传传感器技感器技感器技感器技术术、执执行器技行器技行器技行器技术术?微小型化、智能化、集成化、高可靠性微小型化、智能化、集成化、高可靠性微小型化、智能化、集成化、高可靠性微小型化、智能化、集成化、高可靠性?MEMSMEMS能能能能够够完成真正意完成真正意完成真正意完成真正意义义上的微小型系上的微小型系上的微小型系上的微小型系统统集成集成
5、集成集成在芯片上在芯片上在芯片上在芯片上实现实现了力、了力、了力、了力、热热、磁、化学到、磁、化学到、磁、化学到、磁、化学到电电的的的的转变转变?MEMSMEMS极大地改善了人极大地改善了人极大地改善了人极大地改善了人类类生活的生活的生活的生活的质质量量量量大批量、低成本的大批量、低成本的大批量、低成本的大批量、低成本的传传感器生感器生感器生感器生产产方式方式方式方式给给人人人人们们更多的保更多的保更多的保更多的保护护?MEMSMEMS将会将会将会将会带动带动一个充一个充一个充一个充满满活力的活力的活力的活力的产业产业迅速成迅速成迅速成迅速成长长不是不是不是不是钢铁钢铁、汽、汽、汽、汽车车、微
6、、微、微、微电电子，而是微系子，而是微系子，而是微系子，而是微系统统6详细课资ADIADI公司公司公司公司生产的微生产的微生产的微生产的微加速度机加速度机加速度机加速度机MEMSMEMS芯芯芯芯片片片片7详细课资?MEMS在航空、航天、汽在航空、航天、汽车、生物医学、生物医学、环境境监控、控、军事以及几乎人事以及几乎人们接触到的所有接触到的所有领域中都有着十分广域中都有着十分广阔的的应用前景用前景微微微微惯惯性性性性传传感器及微型感器及微型感器及微型感器及微型惯惯性性性性测测量量量量组组合能合能合能合能应应用于制用于制用于制用于制导导、卫卫星控制、汽星控制、汽星控制、汽星控制、汽车车自自自自动
7、驾驶动驾驶、汽、汽、汽、汽车车防撞气囊、汽防撞气囊、汽防撞气囊、汽防撞气囊、汽车车防防防防抱死系抱死系抱死系抱死系统统(ABS)(ABS)、稳稳定控制和玩具定控制和玩具定控制和玩具定控制和玩具微流量系微流量系微流量系微流量系统统和微分析和微分析和微分析和微分析仪仪可用于微推可用于微推可用于微推可用于微推进进、伤员伤员救救救救护护MEMSMEMS系系系系统还统还可以用于医可以用于医可以用于医可以用于医疗疗、高密度存、高密度存、高密度存、高密度存储储和和和和显显示、示、示、示、光光光光谱谱分析、信息采集等等分析、信息采集等等分析、信息采集等等分析、信息采集等等已已已已经经制造出尖端直径制造出尖端直
8、径制造出尖端直径制造出尖端直径为为5 5 mm的可以的可以的可以的可以夹夹起一个起一个起一个起一个红细红细胞胞胞胞的微型的微型的微型的微型镊镊子，可以在磁子，可以在磁子，可以在磁子，可以在磁场场中中中中飞飞行的象蝴蝶大小的行的象蝴蝶大小的行的象蝴蝶大小的行的象蝴蝶大小的飞飞机等机等机等机等MEMS技术的应用技术的应用8详细课资MEMS技术的应用技术的应用?空空间应用用用用用用作作作作运运运运行行行行参参参参数数数数测测量量量量的的的的微微微微加加加加速速速速度度度度计计已已已已进进行行行行了了了了地地地地面面面面辐辐照照照照实验实验，正在，正在，正在，正在进进行行行行飞飞行搭行搭行搭行搭载实验
9、载实验微陀螺、微推微陀螺、微推微陀螺、微推微陀螺、微推进进和微和微和微和微喷喷管等微系管等微系管等微系管等微系统统基基基基础础研究研究研究研究?通信方面通信方面光光光光通通通通信信信信正正正正在在在在向向向向有有有有光光光光交交交交换换功功功功能能能能的的的的全全全全光光光光通通通通信信信信网网网网络络方方方方向向向向发发展展展展无无无无线线通通通通信信信信则则要要要要求求求求增增增增强强功功功功能能能能（如如如如联联网网网网等等等等）和和和和减减减减小小小小功功功功耗耗耗耗。包包包包括括括括美美美美国国国国朗朗朗朗讯讯公公公公司司司司在在在在内内内内的的的的一一一一些些些些公公公公司司司司和
10、和和和大大大大学学学学正正正正在在在在研研研研究究究究全全全全光光光光通通通通信信信信网网网网用用用用的的的的微微微微系系系系统统及及及及无无无无线线通通通通信信信信用射用射用射用射频频微系微系微系微系统统9详细课资MEMS技术的应用技术的应用?在生物医学方面，将光、机、在生物医学方面，将光、机、电、液、液、生化等部件集成在一起，构成一个微型生化等部件集成在一起，构成一个微型芯片芯片实验室，用于室，用于临床医学床医学检测，为医医生甚至家庭提供生甚至家庭提供简单、廉价、准确和快、廉价、准确和快捷的捷的检测手段手段?光光显示、高密度存示、高密度存储、汽、汽车、国防等微、国防等微系系统10详细课资M
11、EMS技术的应用技术的应用美国提出的硅固态卫星的概念图，这个卫星除了蓄电池外，美国提出的硅固态卫星的概念图，这个卫星除了蓄电池外，美国提出的硅固态卫星的概念图，这个卫星除了蓄电池外，美国提出的硅固态卫星的概念图，这个卫星除了蓄电池外，全由硅片构成，直径仅全由硅片构成，直径仅全由硅片构成，直径仅全由硅片构成，直径仅15cm15cm11详细课资MEMS技术的历史技术的历史?微系微系统是从微是从微传感器感器发展而来的，已有展而来的，已有几次突破性的几次突破性的进展展7070年代微机械年代微机械年代微机械年代微机械压压力力力力传传感器感器感器感器产产品品品品问问世世世世8080年代末研制出硅静年代末研
12、制出硅静年代末研制出硅静年代末研制出硅静电电微微微微马马达达达达9090年代年代年代年代喷喷墨打印墨打印墨打印墨打印头头，硬，硬，硬，硬盘读盘读写写写写头头、硅加速度、硅加速度、硅加速度、硅加速度计计和数字微和数字微和数字微和数字微镜镜器件等相器件等相器件等相器件等相继规继规模化生模化生模化生模化生产产充分展示了微系充分展示了微系充分展示了微系充分展示了微系统统技技技技术术及其微系及其微系及其微系及其微系统统的巨大的巨大的巨大的巨大应应用前景用前景用前景用前景12详细课资MEMS技术技术?MEMS用批量化的微用批量化的微电子技子技术制造出尺寸制造出尺寸与集成与集成电路大小相当的非路大小相当的非
13、电子系子系统，实现电子系子系统和非和非电子系子系统的一体化集成的一体化集成从根本上解决信息系从根本上解决信息系从根本上解决信息系从根本上解决信息系统统的微型化的微型化的微型化的微型化问题问题实现许实现许多以前无法多以前无法多以前无法多以前无法实现实现的功能的功能的功能的功能?今天的今天的MEMS与与40年前的集成年前的集成电路路类似，似，MEMS对未来的社会未来的社会发展将会展将会产生什么影生什么影响目前响目前还难以以预料，但它是料，但它是21世世纪初一个初一个新的新的产业增增长点，点，则是无可是无可质疑的疑的13详细课资研究领域研究领域?理理论基基础：随随着着MEMS尺尺寸寸的的缩小小，有有
14、些些宏宏观的的物物理理特特性性发生生了了改改变，很很多多原原来来的的理理论基基础都都会会发生生变化化，如如力力的的尺尺寸寸效效应、微微结构构的的表表面面效效应、微、微观摩擦机理等等，摩擦机理等等，微微动力学力学微流体力学微流体力学微微热力学力学微摩擦学微摩擦学微光学微光学微微结构学构学14详细课资研究领域研究领域?技技术基基础：设计、工、工艺加工加工( (高深高深宽比多比多层微微结构构) )、微装配工、微装配工艺、微系、微系统的的测量等。量等。?应用研究：如何用研究：如何应用用这些些MEMSMEMS系系统也是一也是一门非常重要的学非常重要的学问。人。人们不不仅要开要开发各种各种制造制造MEMS
15、MEMS的技的技术，更重要的是如何将，更重要的是如何将MEMSMEMS器件用于器件用于实际系系统，并从中受益。，并从中受益。15详细课资MEMS的分类的分类?微微传感器：感器：机械机械类：力学、力矩、加速度、速度、：力学、力矩、加速度、速度、角速度角速度(陀螺陀螺)、位置、流量、位置、流量传感器感器磁学磁学类：磁通：磁通计、磁、磁场计热学学类：温度：温度计化学化学类：气体成分、湿度、：气体成分、湿度、PH值和离和离子子浓度度传感器感器生物学生物学类：DNA芯片芯片16详细课资MEMS的分类的分类?微微执行器：微行器：微马达、微达、微齿轮、微、微泵、微、微阀门、微开关、微微开关、微喷射器、微射器
16、、微扬声器、微声器、微谐振器等振器等?微型构件：微膜、微梁、微探微型构件：微膜、微梁、微探针、微、微齿轮、微、微弹簧、微腔、微沟道、微簧、微腔、微沟道、微锥体、微体、微轴、微、微连杆杆等等?微机械光学器件：微微机械光学器件：微镜阵列、微光列、微光扫描器、微描器、微光光阀、微、微斩光器、微干涉光器、微干涉仪、微光开关、微可、微光开关、微可变焦透焦透镜、微外腔激光器、光、微外腔激光器、光编码器等器等17详细课资MEMS的分类的分类?真空微真空微电子器件：它是微子器件：它是微电子技子技术、MEMS技技术和真空和真空电子学子学发展的展的产物，物，具有极快的开关速度、非常好的抗具有极快的开关速度、非常好
17、的抗辐照照能力和极佳的温度特性。主要包括能力和极佳的温度特性。主要包括场发射射显示器、示器、场发射照明器件、真空微射照明器件、真空微电子毫米波器件、真空微子毫米波器件、真空微电子子传感器等感器等?电力力电子器件：包括利用子器件：包括利用MEMS技技术制制作的垂直作的垂直导电型型MOS(VMOS)器件、器件、V型型槽垂直槽垂直导电型型MOS(VVMOS)器件等各器件等各类高高压大大电流器件流器件18详细课资MEMS制造工艺制造工艺19详细课资大大机机器器加加工工小小机机器器，小小机机器器加加工工微微机器机器微机械微机械用微电子加用微电子加工技术工技术MEMS系统系统X光铸模光铸模+压压塑技术塑技
18、术(LIGA)从顶层向下从顶层向下从底层向上从底层向上分子和原子级加工分子和原子级加工国国防防、航航空空航航天天、生生物物医医学学、环环境境监控、汽车都有广泛应用。监控、汽车都有广泛应用。2000年有年有120-140亿美元市场亿美元市场 相关市场达相关市场达1000亿美元亿美元2年后市场将迅速成长年后市场将迅速成长MEMS微系统微系统20详细课资MEMS制造工艺制造工艺?大机械制造小机械，小机械制造微机械大机械制造小机械，小机械制造微机械日本日本日本日本为为代表代表代表代表?LIGA工工艺Lithograpie(Lithograpie(光刻光刻光刻光刻) )、Galvanoformung(G
19、alvanoformung(电铸电铸) ) Abformung(Abformung(塑塑塑塑铸铸) )德国德国德国德国为为代表代表代表代表?硅微机械加工工硅微机械加工工艺：体硅工：体硅工艺和表面和表面牺牲牲层工工艺美国美国美国美国为为代表代表代表代表21详细课资LIGA工艺工艺22详细课资硅硅MEMS工艺工艺?化学腐化学腐蚀?高深高深宽比深槽刻比深槽刻蚀?键合合23详细课资体硅工艺体硅工艺24详细课资表面牺牲层工艺表面牺牲层工艺?表面牺牲层与表面牺牲层与CMOS工艺集成工艺集成结结构构构构单单独制造，灵活性独制造，灵活性独制造，灵活性独制造，灵活性较较大大大大灵敏度高、寄生小、体灵敏度高、寄生
20、小、体灵敏度高、寄生小、体灵敏度高、寄生小、体积积小小小小简简化封装和化封装和化封装和化封装和组组装，可靠性高装，可靠性高装，可靠性高装，可靠性高加工工加工工加工工加工工艺艺复复复复杂杂，成品率，成品率，成品率，成品率较较低低低低工工工工艺艺兼容的材料种兼容的材料种兼容的材料种兼容的材料种类较类较少少少少电路工艺与结构加工工艺交替进行电路工艺与结构加工工艺交替进行先加工电路，后加工结构先加工电路，后加工结构先加工机械结构，再加工电路先加工机械结构，再加工电路25详细课资几种重要的几种重要的MEMS器件器件26详细课资MEMS器件器件?惯惯性性性性MEMSMEMS器件器件器件器件加速度加速度加速
21、度加速度计计陀螺陀螺陀螺陀螺压压力力力力传传感器感器感器感器?光学光学光学光学MEMSMEMS器件器件器件器件微光开关微光开关微光开关微光开关微光学平台微光学平台微光学平台微光学平台?微微微微执执行器行器行器行器微微微微喷喷微微微微马马达达达达?生物生物生物生物MEMSMEMS器件器件器件器件?其它其它其它其它27详细课资?加速度加速度计 压阻式加速度阻式加速度计电容式加速度容式加速度计压电式加速度式加速度计惯性器件惯性器件28详细课资惯性器件惯性器件29详细课资电容式微加速度计电容式微加速度计30详细课资光学光学MEMS器件器件?定定义Optical TransducersOptical T
22、ransducers，MOEMS, Optical MOEMS, Optical MEMSMEMS?分分类传统传统的光的光的光的光传传感器、感器、感器、感器、转换转换器器器器光光光光传传感、成像、感、成像、感、成像、感、成像、发发光器件（光光器件（光光器件（光光器件（光电电子）子）子）子）利用光利用光利用光利用光进进行行行行传传感的器件感的器件感的器件感的器件位置位置位置位置传传感器、光感器、光感器、光感器、光谱仪谱仪、DNADNA芯片芯片芯片芯片利用微机械加工方法形成的器件利用微机械加工方法形成的器件利用微机械加工方法形成的器件利用微机械加工方法形成的器件传统传统器件的新生命器件的新生命器件
23、的新生命器件的新生命新型器件新型器件新型器件新型器件31详细课资传统的光传感器传统的光传感器?光光光光传传感方式感方式感方式感方式?成像系成像系成像系成像系统统(Imager)(Imager)CCDCCDCMOSCMOS?发发光系光系光系光系统统LEDLED半半半半导导体激光器体激光器体激光器体激光器等离子等离子等离子等离子生物生物生物生物发发光光光光?光光光光调节调节器器器器32详细课资?发光器件光器件场发场发射（射（射（射（FEDsFEDs）未来的未来的未来的未来的显显示示示示设备设备(FPD)(FPD)33详细课资新器件新器件组件组件?微微镜MirrorSupportStructureS
24、ubstrate HingesTorsion Hinges1st DOF2nd DOFForce-redirecting Linkage34详细课资?各种光学元器件各种光学元器件透透透透镜镜、波、波、波、波带带片、片、片、片、滤滤波器、波器、波器、波器、光光光光栅栅及各种致及各种致及各种致及各种致动动机构机构机构机构新器件新器件组件组件35详细课资微光学系统微光学系统?微光学工作台（微光学工作台（Micro Optical Bench）36详细课资微型显示阵列（光调制器）微型显示阵列（光调制器）?数字数字镜面面显示（示（DMD）原理原理原理原理改改改改变变反射方向反射方向反射方向反射方向37详
25、细课资DMD应用应用38详细课资DMD应用应用39详细课资光开关光开关 微机械微机械微机械微机械1X41X4光开关光开关光开关光开关微机械微机械微机械微机械1X81X8光开关光开关光开关光开关40详细课资 微机械微机械2 2光开关光开关 微机械微机械2 2光开光开关关光开关光开关41详细课资光纤固定结构光纤固定结构?V形槽形槽?各种卡各种卡紧结构构42详细课资光栅及光栅光谱仪光栅及光栅光谱仪?原理原理?不同不同类型的光型的光栅43详细课资44详细课资新器件新器件组件组件?线性性马达达45详细课资?弧形梳弧形梳齿原理原理原理原理应应用用用用静电静电46详细课资静电静电?旋旋转马达达原理原理原理原
26、理47详细课资美美美美国国国国喷喷喷喷气气气气推推推推进进进进实实实实验验验验室室室室(JPL)(JPL)展展展展 示示示示 的的的的 采采采采 用用用用MEMSMEMS技技技技术术术术的的的的电电电电阻阻阻阻电电电电热热热热式式式式微微微微推推推推进进进进器器器器样样样样机机机机（液液液液体体体体气气气气化化化化方方方方式式式式）。微微微微推推推推进进进进器器器器由由由由薄薄薄薄膜膜膜膜加加加加热热热热器器器器、微微微微型型型型喷喷喷喷口口口口等等等等组组组组成成成成。其其其其性性性性能能能能目目目目标标标标为为为为：比比比比冲冲冲冲7575125s125s，推推推推力力力力0.5mN0.5
27、mN， 功功功功 率率率率 5W5W， 效效效效 率率率率 50%50%，质质质质量量量量为为为为几几几几克克克克，大小为大小为大小为大小为1cm1cm2 2。微推进器微推进器48详细课资美美美美国国国国喷喷喷喷气气气气推推推推进进进进实实实实验验验验室室室室(JPL)(JPL)展展展展示示示示的的的的采采采采用用用用MEMSMEMS技技技技术术术术的的的的电电电电阻阻阻阻电电电电热热热热式式式式微微微微推推推推进进进进器器器器样样样样机机机机( (固固固固体体体体升升升升华华华华方方方方式式式式) )。微微微微推推推推进进进进器器器器由由由由推推推推进进进进剂剂剂剂出出出出贮贮贮贮箱箱箱箱、
28、微微微微阀阀阀阀、微微微微过过过过滤滤滤滤器器器器、微微微微型型型型喷喷喷喷口口口口等等等等组组组组成成成成，微微微微型型型型喷喷喷喷口口口口利利利利用用用用MEMSMEMS技技技技术术术术中中中中的的的的体体体体硅硅硅硅工工工工艺艺艺艺制制制制作作作作。其其其其性性性性能能能能目目目目标标标标为为为为：比比比比冲冲冲冲505075s75s，推推推推力力力力0.5mN0.5mN，功率，功率，功率，功率 2W/mN2W/mN，质量为几克，大小为，质量为几克，大小为，质量为几克，大小为，质量为几克，大小为1cm1cm2 2。微推进器微推进器49详细课资美美美美国国国国TRWTRW公公公公司司司司、
29、航航航航空空空空航航航航天天天天公公公公司司司司和和和和加加加加州州州州理理理理工工工工学学学学院院院院（CITCIT）组组组组成成成成的的的的研研研研究究究究小小小小组组组组提提提提出出出出了了了了一一一一个个个个“ “数数数数字字字字推推推推进进进进概概概概念念念念” ”方方方方案案案案。硅硅硅硅片片片片上上上上有有有有集集集集成成成成电电电电路路路路来来来来开开开开启启启启和和和和控控控控制制制制每每每每个个个个微微微微推推推推进进进进器器器器。整整整整个个个个推推推推进进进进系系系系统统统统还还还还可可可可充充充充当当当当卫卫卫卫星星星星的的的的散散散散热热热热器器器器，以以以以进进进
30、进一一一一步步步步减减减减小小小小卫卫卫卫星星星星的的的的有有有有效效效效载载载载荷荷荷荷。制制制制作作作作方方方方法法法法可可可可以以以以用用用用目目目目前前前前已已已已成成成成熟熟熟熟的的的的MEMSMEMS及及及及LIGALIGA技技技技术术术术。图图图图为为为为他他他他们们们们于于于于9999年年年年初初初初发发发发表表表表了了了了3535阵阵阵阵列列列列的的的的电电电电阻阻阻阻电电电电热热热热式式式式微推进器样机。微推进器样机。微推进器样机。微推进器样机。微推进器微推进器50详细课资新概念的微型双组元火箭发动机结构图新概念的微型双组元火箭发动机结构图新概念的微型双组元火箭发动机结构图
31、新概念的微型双组元火箭发动机结构图zz 组成组成组成组成: : 由由由由5 5到到到到6 6片芯片芯片芯片芯片叠在一起，内有混合片叠在一起，内有混合片叠在一起，内有混合片叠在一起，内有混合燃烧室、喷口喷管、两燃烧室、喷口喷管、两燃烧室、喷口喷管、两燃烧室、喷口喷管、两个泵和两个阀以及冷却个泵和两个阀以及冷却个泵和两个阀以及冷却个泵和两个阀以及冷却管道的管道的管道的管道的多器件集成系统多器件集成系统多器件集成系统多器件集成系统。用液态氧和乙醇作燃料用液态氧和乙醇作燃料用液态氧和乙醇作燃料用液态氧和乙醇作燃料zz 性能：能产生性能：能产生性能：能产生性能：能产生15N15N的的的的推力，推力重量比
32、达推力，推力重量比达推力，推力重量比达推力，推力重量比达 1500:11500:1，是大火箭推进是大火箭推进是大火箭推进是大火箭推进器的器的器的器的1010010100倍，反映了倍，反映了倍，反映了倍，反映了微系统的潜力微系统的潜力微系统的潜力微系统的潜力微推进器微推进器51详细课资结结 束束 语语52详细课资?MEMSMEMS技技技技术术及其及其及其及其产产品的增品的增品的增品的增长长速度非常速度非常速度非常速度非常之高，并之高，并之高，并之高，并且目前正且目前正且目前正且目前正处处在加速在加速在加速在加速发发展展展展时时期期期期MEMS技术技术53详细课资MEMS技术技术54详细课资 一般意义上的系统集成芯片一般意义上的系统集成芯片 广义上的系统集成芯片广义上的系统集成芯片电电、光光、声声、热热、磁磁力力等等外外界界信信号号的的采采集集各各种传感器种传感器执执行行器器 、显显示示器器等等信信息息输输入入与与 模模 /数数传输传输信信息息处处理理信信息息输输出出与与 数数 /模模转换转换信息存储信息存储55详细课资作作 业业1、MEMS工工艺艺与与微微电电 子子工工 艺艺技技术术有有哪哪些些区区别别。2、列列举举几几种种你你所所知知道道的的 MEMS器器件件，并并简简述述其其 用途。用途。56详细课资
