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1、多晶截断机相关多晶截断机相关改善建改善建议硅片硅片硅片硅片设备设备部部部部方迪山方迪山方迪山方迪山提案人：王提案人：王提案人：王提案人：王文海文海文海文海 目前，公司多晶截断机存在目前，公司多晶截断机存在诸多多问题，严重影响了消重影响了消费效率。要效率。要处理理这些些问题，那么，那么需求各部需求各部门相互配合。相互配合。 2021年年12月月8日，日，经硅片硅片设备部、消部、消费部、技部、技术部、部、质量部就多晶截断机一系列量部就多晶截断机一系列问题进展展讨论研研讨后，一致以后，一致以为锯条切割力下降引起的一条切割力下降引起的一连串串问题。而。而锯条切割力下降的条切割力下降的缘由，由，有客有客
2、观要素也有客要素也有客观要素。客要素。客观存在的存在的问题是不能改是不能改动的，的， 但我但我们可以根据客可以根据客观问题来来从客从客观上做改上做改动，以，以顺应客客观问题。 客客观上，部分操作人上，部分操作人员违背目前背目前质量部、技量部、技术部制定的工部制定的工艺参数参数规范。如范。如进给速率的速率的选择超出了其参数可超出了其参数可选范范围。 客客观上，主要是多晶上，主要是多晶锭内含有高硬度的内含有高硬度的杂质，而目前工，而目前工艺参数能否科学合理的参数能否科学合理的问题。如如锯条运用能否有条运用能否有规范指点范指点书；进给速率能否合理等。速率能否合理等。 实践上，践上，锯条的运用缺乏一个
3、条的运用缺乏一个严厉的管理制度运用周期，运用的管理制度运用周期，运用记录跟踪！跟踪！ 客观与客观的矛盾客观与客观的矛盾现 状状经察看和察看和调查发现 113号机切号机切边皮料、皮料、头杂料或回炉料或回炉锭 1424号机切正常晶料或回炉号机切正常晶料或回炉锭 80%左右的左右的6005RZ轴承用于承用于113#机机 70%左右的左右的带轮磨磨损、晃、晃动维修修发生在生在113#机机 70%左右的主左右的主轴承承6310损坏坏发生在生在113#机机 95%以上的断以上的断锯条条发生在生在113#机机报废的锯条调查：95%是有裂纹的30%是完全断裂的切正常晶棒进给速率：规定1825mm/min实践有
4、出现2835mm/min锯条运用周期：正常锭实践切割150220刀，甚至更高 头杂边皮实践是到切不动为止或是锯条断裂规定切割正常锭120130刀 头杂边皮2030刀锯条运用不条运用不规范范报废底线太低，存报废底线太低，存在宏大平安隐患在宏大平安隐患客观违背客观违背客观违背客观违背调查发现调查发现 经过技术部得知，多晶棒不同于单晶棒，多晶内部含有一定量的杂质，而有的杂质硬度很高，这对锯条的损害是不可防止的。客观上降低了锯条切割才干使其向后游走，从而加剧6005轴承、带轮的损坏等一系列问题。 实践对比，切单晶几乎不用6005轴承 切多晶实践用量超越150个/月 月方案为50个轴承紧缺轴承紧缺600
5、5轴轴承作用：承作用：当切割力缺乏当切割力缺乏锯锯条向后走条向后走时时，可以，可以挡锯挡锯条条 防止其向后跑出防止其向后跑出带轮带轮 防止切到防止切到导导向器向器铁块铁块上，呵斥卡上，呵斥卡锯锯条或崩断条或崩断锯锯条条 所以，所以，6005轴轴承作用是相当大的！承作用是相当大的！锯锯条切割力缺乏引起的一系列条切割力缺乏引起的一系列条切割力缺乏引起的一系列条切割力缺乏引起的一系列问题问题新锯条新锯条汰旧后汰旧后切头杂切头杂切割力切割力下降下降锯条受压锯条受压断锯条断锯条带轮、轴承带轮、轴承过载损坏过载损坏客观存在的客观存在的客观人为客观人为提高进给速度呵斥的提高进给速度呵斥的切歪晶棒切歪晶棒卡锯
6、条卡锯条切裂切裂6005RZ轴承轴承带斜度带斜度挤压挤压隐裂隐裂垂直挤压垂直挤压张力上升张力上升张力计损张力计损坏坏变频器报变频器报警或损坏警或损坏变形变形因果关系图因果关系图消消费部：部： 1.严厉按要求运用按要求运用锯条，并条，并对锯条运用情况条运用情况进 行跟踪行跟踪记录相关数据。相关数据。技技术部、部、质量部：量部： 1.制定制定锯条运用条运用规范范 2.制定制定锯条运用跟踪情况表，并突条运用跟踪情况表，并突击稽核稽核设备部：部： 根据以上情况及消根据以上情况及消费部提出的部提出的问题做相做相应的的设备改善改善共共同同降降低低设备缺缺点点提提高高消消费效效益益可行性建可行性建议一、付一
7、、付带轮的改善的改善 1. 根据根据锯条切割力缺乏引条切割力缺乏引起的起的锯条向后跑并且一直有条向后跑并且一直有一个向后的力一个向后的力F的情况，我的情况，我设备部将部将对付付带轮进展改善，展改善，加装四加装四块挡板或加工成台板或加工成台阶见图一一图二，其作用相二，其作用相当于当于6005RZ轴承，可以承，可以挡锯条，防止条，防止锯条跳出引起缺条跳出引起缺点。点。主带轮主带轮付带轮付带轮锯条锯条床台床台晶棒晶棒6005RZ轴承轴承导向器导向器F挡板挡板床台进床台进给方向给方向设备设备改善方案改善方案改善方案改善方案图一图一 2. 消消费费部反响：部反响：带轮带轮反面反面污污泥无法去除，会卡泥无
8、法去除，会卡锯轮锯轮。 这这是由于原装是由于原装带轮带轮是全是全实实心面的心面的 无开孔无开孔 ，机台又没有合理的空，机台又没有合理的空间间用于清用于清理作理作业业。导导致致长长期期结结垢卡死垢卡死锯轮锯轮。 改善方法：在改善方法：在实实心面上开几个孔心面上开几个孔 见图见图二二 ，以便于去除，以便于去除污污垢。垢。改善前改善前改善后改善后改善前后改善前后对比比方案方案1方案方案2孔孔80台阶台阶挡板挡板图二图二3. 带轮轴带轮轴承承 6310 改改换频换频繁，除繁，除了切割力缺乏引起了切割力缺乏引起张张力力过过高高导导致致轴轴承疲承疲劳损劳损坏之外，坏之外，还还有就有就是端盖密封方式有缺陷。
9、其密是端盖密封方式有缺陷。其密封是采用密封胶密封，每次打封是采用密封胶密封，每次打胶能胶能够够没打好没打好导导致致进进水或胶太水或胶太多漏多漏进进去等情况，引起去等情况，引起轴轴承磨承磨损损和走和走处圆处圆。现现我我设备预备设备预备在在端盖上开槽，采用端盖上开槽，采用O型密封圈密型密封圈密封，以提高其密封性能，降低封，以提高其密封性能，降低缺点率。缺点率。槽、槽、O型圈型圈改善前改善前改善后改善后OO型圈可反复运用，密封胶只需一型圈可反复运用，密封胶只需一型圈可反复运用，密封胶只需一型圈可反复运用，密封胶只需一次性，此次性，此次性，此次性，此项项项项改善可以改善可以改善可以改善可以节节节节省一
10、定省一定省一定省一定费费费费用。用。用。用。二二. 伸伸缩防防护罩罩经常性常性损坏坏 主要主要缘由是，切割由是，切割过程中含硅粉的程中含硅粉的污水浸到防水浸到防护罩上，消罩上，消费人人员未及未及时清理又在其上面堆放晶清理又在其上面堆放晶块呵斥防呵斥防护罩受力不平衡，左右行走不一致呵罩受力不平衡，左右行走不一致呵斥的斥的损坏。另，机台上有个小缺陷：排水口在防坏。另，机台上有个小缺陷：排水口在防护罩之上，大量罩之上，大量污水直水直排到防排到防护罩上。罩上。针对这一缺陷，我一缺陷，我设备部将部将对其其进展必要的改善。展必要的改善。1 . 消消费人人员要要经常常对防防护罩罩进展清理展清理 2 . 设备部将部将对排水道排水道进展加展加长，防止水直接流到防，防止水直接流到防护罩上。罩上。 目前已在目前已在试用，用，见以下以下图改善前改善前改善后改善后加装的引水盒加装的引水盒回流水回流水引出的水流引出的水流 希望各部分积极配合，相互监视，共同营造一个良好的消费环境，从而降低消费本钱提高效益！ 为了公司更是为了我们本人！
