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1、形貌分析的内容和方法形貌分析的内容和方法形貌分析的主要内容是分析材料的几何形形貌分析的主要内容是分析材料的几何形貌，材料的颗粒度，及颗粒度的分布以及貌，材料的颗粒度，及颗粒度的分布以及形貌微区的成份和物相结构等方面形貌微区的成份和物相结构等方面 常用的形貌分析方法主要有：扫描电子显常用的形貌分析方法主要有：扫描电子显微镜微镜(SEM)、透射电子显微镜、透射电子显微镜(TEM)、扫描、扫描隧道显微镜隧道显微镜(STM)和原子力显微镜和原子力显微镜(AFM)电子与物质相互作用电子与物质相互作用工作原理对比工作原理对比光学显微镜光学显微镜 透射电子显微镜透射电子显微镜 （TEM)光源光源中间象中间象
2、物镜物镜试样试样聚光镜聚光镜目镜目镜毛玻璃毛玻璃电子镜电子镜聚光镜聚光镜试样试样物镜物镜中间象中间象投影镜投影镜观察屏观察屏TEM形貌分析形貌分析很高的空间分辩能力，特别适合纳米粉体很高的空间分辩能力，特别适合纳米粉体材料的分析材料的分析测试样品厚度要小于测试样品厚度要小于100nm特点是样品使用量少，不仅可以获得样品特点是样品使用量少，不仅可以获得样品的形貌，颗粒大小、分布以外还可以获得的形貌，颗粒大小、分布以外还可以获得特定区域的元素组成及物相结构信息特定区域的元素组成及物相结构信息申克孢子丝菌申克孢子丝菌 复合陶瓷复合陶瓷扫扫描描电电子子显显微微镜镜（ SEM)SEM形貌分析形貌分析较高
3、的放大倍数，较高的放大倍数，10-20万倍之间连续可调万倍之间连续可调很大的景深，视野大，成像富有立体感，很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构结构可放置大块试样直接进行观察。可放置大块试样直接进行观察。 目前的扫目前的扫描电镜都配有描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析分析花粉花粉跳蚤跳蚤扫描探针显微镜（扫描探针显微镜（SPM）是所有机械式地用探针在样本上扫描移动是所有机械式地用探针在样本上扫描移动以探测样本影像的显微镜
4、的统称以探测样本影像的显微镜的统称包括扫描隧道显微镜（包括扫描隧道显微镜（STM）（第一个被发明的扫描探针显微镜 ，1981年），原子力显微原子力显微镜（镜（AFM）,激光力显微镜（激光力显微镜（LFM），磁力），磁力显微镜（显微镜（MFM）等等）等等STMSTM形貌分析形貌分析原子级的高分辨率，横向分辨率可达原子级的高分辨率，横向分辨率可达0.1nm，垂直分辨率已达，垂直分辨率已达0.01nm可在真空，大气溶液等不同环境下工作，可在真空，大气溶液等不同环境下工作，工作温度可从热力学零度到摄氏几百度工作温度可从热力学零度到摄氏几百度是纳米结构加工的有力工具，还可操纵原是纳米结构加工的有力工具，
5、还可操纵原子和分子子和分子要求试样有一定程度的导电性；对表面微要求试样有一定程度的导电性；对表面微粒间的某些沟槽不能准确探测粒间的某些沟槽不能准确探测原子力显微镜原子力显微镜AFM利用微悬臂感受和利用微悬臂感受和放大悬臂上尖细探放大悬臂上尖细探针与受测样品原子针与受测样品原子之间的作用力来实之间的作用力来实现表面成像现表面成像AFM形貌分析形貌分析可以测量包括绝缘可以测量包括绝缘体在内的固体表面体在内的固体表面结构，达到原子分结构，达到原子分辨水平辨水平还可以测量表面原还可以测量表面原子间力，测量表面子间力，测量表面的弹性、塑性、硬的弹性、塑性、硬度、黏着力、摩擦度、黏着力、摩擦力等性质力等性质
