机床精度检验常用工具和装置

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1、01000100010010001001010000武武汉华中数控股份有限公司中数控股份有限公司数控机床精度数控机床精度检验常用工具和装置常用工具和装置01000100010010001001010000 A1 A1 一般说明一般说明 本课程所叙述的测量装置时用来检验机床的几何精度的。本课程所叙述的测量装置时用来检验机床的几何精度的。必要时，可参考有关的标准。必要时，可参考有关的标准。 A2 A2至至A5A5叙述了用于机床精度检验的精密工具。这些精密工叙述了用于机床精度检验的精密工具。这些精密工具的精度是验收时常用的测量工具的精度（不是针对计量室具的精度是验收时常用的测量工具的精度（不是针对计

2、量室测量工具的精度）。测量工具的精度）。 实际工作中，这些工具的测量误差应等于或小于被检对象实际工作中，这些工具的测量误差应等于或小于被检对象的公差带的的公差带的10%10%。 根据计量方面的要求，测量装置每隔一定时间应同已知的根据计量方面的要求，测量装置每隔一定时间应同已知的参考标准相对照进行校核。必要时，应提供校验单，以证实参考标准相对照进行校核。必要时，应提供校验单，以证实测量装置的状况。测量装置的状况。 测量装置在它未稳定到环境温度之前不宜使用，并且在检测量装置在它未稳定到环境温度之前不宜使用，并且在检验过程中要尽量保持环境温度稳定。验过程中要尽量保持环境温度稳定。 应注意防止振动、磁

3、场、电扰动等对仪器产生的干扰。应注意防止振动、磁场、电扰动等对仪器产生的干扰。01000100010010001001010000A2 A2 平尺平尺A2.1 A2.1 说明明 平尺是具有一定精度的平直基准平尺是具有一定精度的平直基准线的的实体，参照它可体，参照它可测定定表面的直表面的直线度或平面度偏差。度或平面度偏差。 平尺有两种基本形式：平尺有两种基本形式：具有具有单一面的一面的桥型平尺型平尺【见图A1aA1a】；具有两个平行面的平尺。具有两个平行面的平尺。 后者可以是：后者可以是：具有具有实心或减心或减轻重量的工型截面重量的工型截面【见图A1bA1b】；单一的矩形截面一的矩形截面【见图A

4、1cA1c】。 平尺最好平尺最好进行行热处理和理和稳定性定性处理。理。A2.2 A2.2 精度精度 机床机床检验用的平尺用的平尺应遵守下列条件：遵守下列条件：A2.2.1 A2.2.1 允允许的的扰度度值 置平尺于两端的支承上置平尺于两端的支承上时，其截面的，其截面的惯性矩性矩应使自然使自然挠度度不超不超过每米每米0.01mm0.01mm。01000100010010001001010000 平尺最大自然挠度的精确值，应标注在平尺的一个面上。平尺最大自然挠度的精确值，应标注在平尺的一个面上。A2.2.2 A2.2.2 工作面的平面度和直线度工作面的平面度和直线度 当平尺支承在最佳位置时当平尺支

5、承在最佳位置时【见图见图A1A1】，其工作面的平面度和，其工作面的平面度和直线度误差不应超过下列数值：直线度误差不应超过下列数值： （2+0.01L2+0.01L） 1000 1000 L L是以毫米为单位的工作长度。是以毫米为单位的工作长度。 此外，任意此外，任意300mm300mm长度上的误差不应超过长度上的误差不应超过0.005mm0.005mm。A2.2.3 A2.2.3 工作面的平行度工作面的平行度 检验两个平行面的平尺，工作面的平行度误差（以毫米为单检验两个平行面的平尺，工作面的平行度误差（以毫米为单位）不应超过直线度公差的位）不应超过直线度公差的1.51.5倍，即倍，即 1.51

6、.5（2+0.01L2+0.01L） 1000 1000A2.2.4 A2.2.4 侧面的直线度（以毫米为单位）侧面的直线度（以毫米为单位） 1010（2+0.01L2+0.01L） 1000 100001000100010010001001010000A2.2.5 A2.2.5 侧面的平行度（以毫米为单位）侧面的平行度（以毫米为单位） 1515（2+0.01L2+0.01L） 1000 100001000100010010001001010000A2.2.6 A2.2.6 侧面对工作面的垂直度侧面对工作面的垂直度 每每10mm10mm测量长度上为测量长度上为0.0025mm。A2.2.7 A

7、2.2.7 工作面的最后加工工作面的最后加工 测量用的工作面应经精磨或精刮。测量用的工作面应经精磨或精刮。A2.2.8 A2.2.8 平尺的宽度平尺的宽度 当平尺和水平仪同时使用时，工作面宽度不应小于当平尺和水平仪同时使用时，工作面宽度不应小于35mm35mm。A2.3 A2.3 使用注意事项使用注意事项 平尺通常是水平使用，或依靠其侧面使工作面垂直，或依靠平尺通常是水平使用，或依靠其侧面使工作面垂直，或依靠支承使其工作面水平。支承使其工作面水平。 在后一种情况，支承位置应选择使自然挠度最小。对均匀横在后一种情况，支承位置应选择使自然挠度最小。对均匀横截面的平尺，其支承应相隔截面的平尺，其支承

8、应相隔5L/95L/9，并位于距两端，并位于距两端2L/92L/9处处【见图见图A1A1】。这些特定的支承位置应在平尺上做上明显的标记。这些特定的支承位置应在平尺上做上明显的标记。 当平尺不在最佳支承位置时，特别是在两端时，应考虑自然当平尺不在最佳支承位置时，特别是在两端时，应考虑自然挠度。挠度。 表表A1A1示出了符合这些条件的五种不同长度的平尺（仅作为例示出了符合这些条件的五种不同长度的平尺（仅作为例子）。自然挠度直接取决于所用材料的弹性模数子）。自然挠度直接取决于所用材料的弹性模数E E。表。表A2A2中给中给01000100010010001001010000出的挠度值对应于用普通铸铁

9、制造的平尺：出的挠度值对应于用普通铸铁制造的平尺：E=98kN/mmE=98kN/mm；对于钢；对于钢制平尺：制平尺： E=196kN/mm E=196kN/mm，其挠度减半。在用高级优质铸铁制造平，其挠度减半。在用高级优质铸铁制造平尺时，例如：尺时，例如： E=147kN/mm E=147kN/mm，其挠度亦与弹性模数成正比。，其挠度亦与弹性模数成正比。010001000100100010010100000100010001001000100101000001000100010010001001010000主要用来检验零部件的主要用来检验零部件的平面度。花岗石量具是平面度。花岗石量具是应用于

10、工业检验的基础应用于工业检验的基础器具，适用于对仪器仪器具，适用于对仪器仪表、精密工具、机械制表、精密工具、机械制件的检验和高精度的测件的检验和高精度的测量方面。量方面。 平面精度标准平面精度标准GB6092GB60928585，垂直度标准，垂直度标准GB6092GB60928585。为减少重量及方。为减少重量及方便加工而增加了减重孔。便加工而增加了减重孔。方尺方尺01000100010010001001010000A3 A3 带锥柄的检验棒带锥柄的检验棒 检验棒代表在规定范围内所要检查的轴线，用它检查轴线的检验棒代表在规定范围内所要检查的轴线，用它检查轴线的实际径向跳动，或检查轴线相对机床其

11、它部件的位置。实际径向跳动，或检查轴线相对机床其它部件的位置。A3.1 A3.1 说明说明 检验棒有一个为了插入被检验机床锥孔的锥柄和一个作为测检验棒有一个为了插入被检验机床锥孔的锥柄和一个作为测量基准的圆柱体量基准的圆柱体【见图见图A2aA2a和和b b】，它们用淬火和经稳定性处理，它们用淬火和经稳定性处理的钢制成，可镀或不镀硬铬。的钢制成，可镀或不镀硬铬。 技术要求：技术要求： a) a)两端有磨过或研磨过的带保护锥的中心孔，供制造和检验两端有磨过或研磨过的带保护锥的中心孔，供制造和检验之用；之用； b) b)有间隔有间隔9090的四条基准线的四条基准线r（1,2,3和和4）；在圆柱部分两

12、端）；在圆柱部分两端标记间的距离表示测量长度标记间的距离表示测量长度l l：75mm75mm，150mm150mm，200mm200mm，300mm300mm或或500mm500mm； c)对于比较小的莫氏圆锥和公制圆锥，检验棒在锥孔中是自对于比较小的莫氏圆锥和公制圆锥，检验棒在锥孔中是自锁的锁的【见图见图A2a】；带有一段螺纹，以供装上螺母从孔内抽出；带有一段螺纹，以供装上螺母从孔内抽出检验棒；检验棒；01000100010010001001010000莫氏检验棒。有莫氏检验棒。有M0M0、1 1、2 2、3 3、4 4、5 5、6 6号检验棒。号检验棒。7 7：2424锥柄检验棒。有锥柄检

13、验棒。有ISOISO、BT30BT30、4040、4545、5050等等01000100010010001001010000 d) d)锥度较大时锥度较大时【见图见图A2bA2b】，设，设置了一个螺孔，置了一个螺孔，以便使用螺纹拉以便使用螺纹拉杆来固定检验棒杆来固定检验棒（或采用与自动（或采用与自动换刀装置一起使换刀装置一起使用的一个拉钉）用的一个拉钉）（ 【见图见图A2cA2c】）。）。 最后为避免检最后为避免检验棒在磨削时调验棒在磨削时调头，检验棒可带头，检验棒可带一个长度一个长度141432mm32mm，直径稍小，直径稍小于圆柱体直径的于圆柱体直径的延伸部分延伸部分P P （【见图见图A

14、2dA2d】）。）。010001000100100010010100000100010001001000100101000001000100010010001001010000注：注：1 1、每根检验棒应提供一个拔出螺母。、每根检验棒应提供一个拔出螺母。2 2、有关锥柄的细节参见有关标准，尺寸应与其一致。检验棒、有关锥柄的细节参见有关标准，尺寸应与其一致。检验棒每一端应有磨过和研磨过的带保护锥的中心孔。每一端应有磨过和研磨过的带保护锥的中心孔。3 3、检验棒上双点划线表示的部分见图、检验棒上双点划线表示的部分见图A2dA2d：该延伸部分：该延伸部分P P是便是便于制造而增加的，总的长度和第一个

15、孔的长度将随之增加，于制造而增加的，总的长度和第一个孔的长度将随之增加，但端部堵头不变。但端部堵头不变。 图图A3 A3 检验棒检验棒 图图A3A3示出了一系列相应检验棒（作为例子），除示出了一系列相应检验棒（作为例子），除0 0号和号和1 1号号莫氏圆锥外，这些检验棒的外部尺寸（直径和长度）以及内莫氏圆锥外，这些检验棒的外部尺寸（直径和长度）以及内孔轮廓都以规定。用这些工具检验时，对由于检验棒悬伸部孔轮廓都以规定。用这些工具检验时，对由于检验棒悬伸部分的重量所引起的自由端的挠度和由于指示器在其上的压力分的重量所引起的自由端的挠度和由于指示器在其上的压力所引起的挠度均可忽略不计。所引起的挠度均

16、可忽略不计。 表表A3A3给出了各种挠度值。这些挠度值时按给出了各种挠度值。这些挠度值时按E=206kN/mmE=206kN/mm计算计算的，对于稍小的数值（的，对于稍小的数值（ E=176kN/mm E=176kN/mm至至E=186kN/mmE=186kN/mm），挠度），挠度仍可忽略不计。仍可忽略不计。01000100010010001001010000 表表A4A4示出了在示出了在7/247/24锥度情况下圆柱部分和椎体尺寸之间的对锥度情况下圆柱部分和椎体尺寸之间的对应关系。应关系。 如果用与图如果用与图A3A3中的尺寸不同的检验棒检验重合度时，则应在中的尺寸不同的检验棒检验重合度时，

17、则应在检验棒上清楚地标明它们的挠度，并应在检验机床时考虑到它检验棒上清楚地标明它们的挠度，并应在检验机床时考虑到它们的挠度。们的挠度。 最后要注意，最后要注意，5kg5kg以上重量的检验棒插入主轴势必会引起主以上重量的检验棒插入主轴势必会引起主轴的挠曲。轴的挠曲。A3.2 A3.2 精度精度 检验棒应符合表检验棒应符合表A3A3，A4A4和和A5A5的要求。的要求。 为在检测锥孔内获得好的配合，锥柄的精度与锥孔塞规的精为在检测锥孔内获得好的配合，锥柄的精度与锥孔塞规的精度应一致。度应一致。 空心检验棒的端面堵头应牢固和可靠的固定，防止以后发生空心检验棒的端面堵头应牢固和可靠的固定，防止以后发生

18、变形（例如：使用低温压配）。变形（例如：使用低温压配）。 对检验棒的检验：两顶尖间安装检验棒，沿其轴线的若干等对检验棒的检验：两顶尖间安装检验棒，沿其轴线的若干等距点处检验径向跳动，在相对于四条标准基线的两个轴向平面距点处检验径向跳动，在相对于四条标准基线的两个轴向平面内测量圆柱部分的直径，检验棒应符合表内测量圆柱部分的直径，检验棒应符合表A5A5所给出的相应测量所给出的相应测量010001000100100010010100000100010001001000100101000001000100010010001001010000长度的公差。长度的公差。 最后，圆柱体部分应经精磨，以减少与指

19、示器测头端的摩擦最后，圆柱体部分应经精磨，以减少与指示器测头端的摩擦A3.3 A3.3 使用注意事项使用注意事项 检验棒的锥柄和机床主轴的锥孔必须擦净以保证接触良好。检验棒的锥柄和机床主轴的锥孔必须擦净以保证接触良好。 测量径向跳动时，检验棒应在相应测量径向跳动时，检验棒应在相应9090的的4个位置依次插入个位置依次插入主轴，误差以主轴，误差以4次结果的平均值计。次结果的平均值计。 检查零部件侧向位置精度或平行度时，应将检验棒和主轴旋检查零部件侧向位置精度或平行度时，应将检验棒和主轴旋转转180，依次在检验棒圆柱表面两条相对的母线上进行检测，依次在检验棒圆柱表面两条相对的母线上进行检测 检验棒

20、插入主轴后，应稍等一些时间，以消除操作者手传来检验棒插入主轴后，应稍等一些时间，以消除操作者手传来的热量，使温度稳定。的热量，使温度稳定。 对于对于0号和号和1号莫氏圆锥的检验棒，必须考虑其自然挠度，它号莫氏圆锥的检验棒，必须考虑其自然挠度，它们仅与示值读数为们仅与示值读数为0.001mm且压力不超过且压力不超过0.5N的指示器一起的指示器一起使用。指示器最好与检验棒下边接触，以抵消检验棒的自然挠使用。指示器最好与检验棒下边接触，以抵消检验棒的自然挠度。度。A4 顶尖间的检验棒顶尖间的检验棒A4.1 说明说明01000100010010001001010000 带锥柄的检验棒作为一旋转轴线的实

21、体，而安装在两顶尖之带锥柄的检验棒作为一旋转轴线的实体，而安装在两顶尖之间的检验棒间的检验棒【见图见图A4A4】则代表通过两点间的一条直线。该检验则代表通过两点间的一条直线。该检验棒应是直的，并具备理想的圆柱形表面。棒应是直的，并具备理想的圆柱形表面。 每端有每端有4 4个位于两垂直的轴向平面的标记和带保护锥的中心孔。个位于两垂直的轴向平面的标记和带保护锥的中心孔。 检验棒一般有热拔无缝钢管制成。管子末端装有堵头，堵头检验棒一般有热拔无缝钢管制成。管子末端装有堵头，堵头带有磨过和研磨过的供制造和检验用的中心孔。末端堵头应牢带有磨过和研磨过的供制造和检验用的中心孔。末端堵头应牢固和可靠地固定，以

22、防止变形。管子的外表面应经磨削达到所固和可靠地固定，以防止变形。管子的外表面应经磨削达到所要求圆柱精度等级。机械加工需要有足够的壁厚，这种壁厚通要求圆柱精度等级。机械加工需要有足够的壁厚，这种壁厚通常不是普通制管所具备的，因此必须使用高强管。在精磨前必常不是普通制管所具备的，因此必须使用高强管。在精磨前必须对金属进行稳定性处理。圆柱体应经过淬火，并可镀硬铬以须对金属进行稳定性处理。圆柱体应经过淬火，并可镀硬铬以增加它的耐磨性。增加它的耐磨性。A4.2 A4.2 精度精度 与顶尖间的检验棒有关的唯一实际问题是在制造它们时如何与顶尖间的检验棒有关的唯一实际问题是在制造它们时如何获得必要的精度。当由

23、于机床准直要求其被测精度在获得必要的精度。当由于机床准直要求其被测精度在300mm300mm长度长度上为上为0.01mm0.01mm时，圆柱检验棒的直线度误差应在同样长度上小时，圆柱检验棒的直线度误差应在同样长度上小01000100010010001001010000于于0.003mm.0.003mm. 300mm 300mm以上的检验棒应是管状的，壁厚的选择要使重量减以上的检验棒应是管状的，壁厚的选择要使重量减轻，但不牺牲刚性。轻，但不牺牲刚性。 长度大于长度大于1600mm1600mm的检验棒目前制造很困难，并且它们的重量的检验棒目前制造很困难，并且它们的重量势必使它们使用不便。对于较长的

24、长度必须依靠另外的试验方势必使它们使用不便。对于较长的长度必须依靠另外的试验方法，例如：光学仪器、钢丝和显微镜等。或分段法。法，例如：光学仪器、钢丝和显微镜等。或分段法。 表表A6A6给出了适用于在机床上所要进行的大多数检验的四种尺给出了适用于在机床上所要进行的大多数检验的四种尺0100010001001000100101000001000100010010001001010000寸范围的检验棒。寸范围的检验棒。 将检验棒安装在两顶尖间，在若干等距点处，例如：每将检验棒安装在两顶尖间，在若干等距点处，例如：每30mm30mm或或50mm50mm检查径向跳动，并检验圆柱表面标出的四条母线相应的检

25、查径向跳动，并检验圆柱表面标出的四条母线相应的两个垂直轴向平面内的直线度。两个垂直轴向平面内的直线度。A4.3 A4.3 所要注意事项所要注意事项 为了检查平行度，在检验棒圆柱体表面上的一条母线上测取为了检查平行度，在检验棒圆柱体表面上的一条母线上测取读数，然后将检验棒旋转读数，然后将检验棒旋转180180，在相对的母线上测取读数，在相对的母线上测取读数，将检验棒调头后在同样的那条母线上再重复检验一遍，平行度将检验棒调头后在同样的那条母线上再重复检验一遍，平行度偏差以偏差以4次读数的平均值计。这种测量方法可以消除因检验棒次读数的平均值计。这种测量方法可以消除因检验棒本身不精确而引起的大部分偏差

26、。本身不精确而引起的大部分偏差。01000100010010001001010000A5 A5 角尺角尺 角尺的基本型式有：角尺的基本型式有： 1) 1)用一个平面和一个与它垂直的侧棱面组成的普通角尺，可带用一个平面和一个与它垂直的侧棱面组成的普通角尺，可带或不带加强筋或不带加强筋【见图见图A5a)A5a)】。 2) 2)代表垂直于某平面的一轴线的圆柱形角尺代表垂直于某平面的一轴线的圆柱形角尺【见图见图A5b)A5b)和和A5c)A5c)】。 3) 3)可带或不带加强筋的矩形角尺可带或不带加强筋的矩形角尺【见图见图A5d)A5d)】。010001000100100010010100000100

27、0100010010001001010000A5.1 A5.1 说明说明 角尺的尺寸一般不超过角尺的尺寸一般不超过500mm500mm，为了在较大的长度上检查垂，为了在较大的长度上检查垂直度应采用更加实用的一些光学方法。直度应采用更加实用的一些光学方法。 角尺用钢、铸铁和全套适当的材料制造，应经过淬火和稳定角尺用钢、铸铁和全套适当的材料制造，应经过淬火和稳定性处理。性处理。A5.2 A5.2 精度精度 角尺的制造应遵守下列要求：角尺的制造应遵守下列要求：A5.2.1 A5.2.1 平面度和直线度公差平面度和直线度公差 普通角尺的平面度公差或圆柱形角尺的直线度公差如下：普通角尺的平面度公差或圆柱

28、形角尺的直线度公差如下： （2+0.01L2+0.01L） 1000 1000 L L是以毫米为单位的工作长度。是以毫米为单位的工作长度。A5.2.2 A5.2.2 垂直度公差垂直度公差 任意任意300mm300mm测量长度上为测量长度上为0.005mm0.005mm。 角度可小于或大于角度可小于或大于9090。 对于图对于图A5a)所示的角尺，垂直边的两个工作面均应垂直于所示的角尺，垂直边的两个工作面均应垂直于01000100010010001001010000基面。基面。A5.2.3 A5.2.3 工作面的最后加工工作面的最后加工 工作面应精磨或精刮。工作面应精磨或精刮。A5.2.4 A5

29、.2.4 普通角尺的刚度公差普通角尺的刚度公差 在角尺刚度较弱的长边末端处平行于短边的方向上施加一个在角尺刚度较弱的长边末端处平行于短边的方向上施加一个2.5N2.5N的负载（见图的负载（见图A6A6），其挠度（），其挠度（mm)mm)不应超过不应超过 (0.7(0.7L) 1000 1000 L L为角尺长边以毫米为单位的工作长度。为角尺长边以毫米为单位的工作长度。01000100010010001001010000A5.3 A5.3 使用注意事项使用注意事项 在机床上通常遇到的垂直度公差从在机床上通常遇到的垂直度公差从0.03mm/1000mm0.03mm/1000mm至至0.05mm/1

30、000mm0.05mm/1000mm，角尺能方便适用于这样的公差。对于更小的，角尺能方便适用于这样的公差。对于更小的公差，则应考虑所用角尺带来的误差。另外，也可选用不使用公差，则应考虑所用角尺带来的误差。另外，也可选用不使用角尺的其它测量方法。角尺的其它测量方法。A6 A6 精密水平仪精密水平仪 精密水平仪有两种基本型式：气泡水平仪（见图精密水平仪有两种基本型式：气泡水平仪（见图A7A7）和电子）和电子水平仪（见图水平仪（见图A8A8）。）。 这两种水平仪有两个主要功能：这两种水平仪有两个主要功能： a) a)确定绝对水平；确定绝对水平； b) b)比较角度或斜率的微小变化；比较角度或斜率的微

31、小变化； 根据检验所要求的精度来确定所需的水平仪的灵敏度及其型根据检验所要求的精度来确定所需的水平仪的灵敏度及其型式。式。A6.1 A6.1 气泡水平仪气泡水平仪A6.1.1 A6.1.1 说明说明 水平仪上备有测微螺钉或在管子上带有刻度，带或不带调整水平仪上备有测微螺钉或在管子上带有刻度，带或不带调整01000100010010001001010000螺钉。螺钉。 在第一种情况下，斜率的变化由测微计上的偏离量读出；在在第一种情况下，斜率的变化由测微计上的偏离量读出；在第二种情况下，则直接在管子的刻度上读出。第二种情况下，则直接在管子的刻度上读出。01000100010010001001010

32、000 水平仪的常数或示灵敏度水平仪的常数或示灵敏度n n是以每米上若干毫米（或以角度是以每米上若干毫米（或以角度秒）表示斜率的变化，它表示了一格刻度气泡的移动量。秒）表示斜率的变化，它表示了一格刻度气泡的移动量。A6.1.2 A6.1.2 精度精度 在检验机床时，推荐采用精度为在检验机床时，推荐采用精度为0.005/1000mm0.005/1000mm至至0.01mm/1000mm0.01mm/1000mm及在角度变化不大于及在角度变化不大于0.05mm/1000mm0.05mm/1000mm时，气泡至时，气泡至少要移动一个刻度的水平仪。少要移动一个刻度的水平仪。 基座的平面度应遵守以下公差

33、：基座的平面度应遵守以下公差： 0.004mm 0.004mm 适用于适用于L L250mm； 0.006mm 0.006mm 适用于适用于LL250-500mm；A6.1.3A6.1.3使用注意事项使用注意事项 用水平仪检验时，应在尽可能短的时间内进行，考虑到在最用水平仪检验时，应在尽可能短的时间内进行，考虑到在最初和最后读数之间可能出现的温度变化，应在相反方向上进行初和最后读数之间可能出现的温度变化，应在相反方向上进行重复测量。重复测量。 由于它们的玻璃管日久容易变形，所以气泡水平仪在一定周由于它们的玻璃管日久容易变形，所以气泡水平仪在一定周期内应重新检定，每次检定的日期应填入检定单内。期

34、内应重新检定，每次检定的日期应填入检定单内。A6.2 A6.2 电子水平仪电子水平仪01000100010010001001010000A6.2.1 A6.2.1 说明和精度说明和精度 电子水平仪同气泡水平仪相比，灵敏度更高，反应更快，受电子水平仪同气泡水平仪相比，灵敏度更高，反应更快，受温度的影响较小并可与自动绘图仪连接。温度的影响较小并可与自动绘图仪连接。0100010001001000100101000001000100010010001001010000A6.2.2 A6.2.2 使用注意事项使用注意事项 由于电子水平仪的放大倍数是可调的，所以使用一个正弦规由于电子水平仪的放大倍数是可

35、调的，所以使用一个正弦规把电子水平仪倾斜成一已知角度定期对放大倍数较小检验是很把电子水平仪倾斜成一已知角度定期对放大倍数较小检验是很重要的。有些电子水平仪易受磁力（如：电磁卡盘、磁性指示重要的。有些电子水平仪易受磁力（如：电磁卡盘、磁性指示器座）的影响。器座）的影响。 应按仪器制造商的说明书确保平面处于与水平测量方向呈应按仪器制造商的说明书确保平面处于与水平测量方向呈9090的附近。当检查绝对水平时，水平仪须两次读数，第一次的附近。当检查绝对水平时，水平仪须两次读数，第一次读数后，将水平仪旋转读数后，将水平仪旋转180，再进行第二次读数。，再进行第二次读数。 两次读数的代数值相加，除以两次读数

36、的代数值相加，除以2，以读数值的平均值作为测，以读数值的平均值作为测量结果。量结果。 当测量表面的形状时，了解水平仪支承点中部间的距离当测量表面的形状时，了解水平仪支承点中部间的距离L（见图（见图A7和和A8）是很重要的。在每次读数之间，以）是很重要的。在每次读数之间，以L的增量的增量形式移动水平仪和它的支座进行读数，并确保后一个支脚所处形式移动水平仪和它的支座进行读数，并确保后一个支脚所处的位置同前一个支脚在前一次读数时所处的位置一样。的位置同前一个支脚在前一次读数时所处的位置一样。A7 线性位移测试器线性位移测试器 举例示出两种型式：指示器和电子测试器。举例示出两种型式：指示器和电子测试器

37、。01000100010010001001010000A7.1 A7.1 指示器（见图指示器（见图A9A9和和A10A10） 有关指示器的详细说明，参见有关的检定规程。普通的检有关指示器的详细说明，参见有关的检定规程。普通的检验可采用验可采用0.01mm0.01mm的指示器。对于较精密的检验（例如：机床的指示器。对于较精密的检验（例如：机床主轴的跳动）应采用分辨率为主轴的跳动）应采用分辨率为0.001mm0.001mm的指示器。的指示器。 应注意这些检具的下列技术要求：应注意这些检具的下列技术要求： a) a)误差曲线；误差曲线； b) b)回程误差的最大值；回程误差的最大值； c) c)在测

38、头全行程（从始端到末端）上测量力的极限值；在测头全行程（从始端到末端）上测量力的极限值；0100010001001000100101000001000100010010001001010000 d) d)测量力的最大局部变化（在行程的每个位置上测头向内及测量力的最大局部变化（在行程的每个位置上测头向内及向外移动时，该测量力的数值常常不同）；向外移动时，该测量力的数值常常不同）； e) e)颠倒使用的一致性。颠倒使用的一致性。 推荐优先采用行程小的指示器，特别是那些具有回程误差小推荐优先采用行程小的指示器，特别是那些具有回程误差小和接触力小的检具。和接触力小的检具。A7.2 A7.2 电子测试器

39、电子测试器 电子测试器由测头及与其相连接的放大器组成。放大器能显电子测试器由测头及与其相连接的放大器组成。放大器能显示出由测头测得的精度很高的线性位移值。测头可以是轴向伸示出由测头测得的精度很高的线性位移值。测头可以是轴向伸缩的，也可是旁向摆动的（见图缩的，也可是旁向摆动的（见图A11A11和和A12A12）。）。01000100010010001001010000A7.3 A7.3 使用注意事项使用注意事项 指示器和电子测试器的支架应有足够的刚性，以免产生额外指示器和电子测试器的支架应有足够的刚性，以免产生额外的误差。的误差。 指示器和电子测试器的测头应垂直于被测面，以免不精确。指示器和电子

40、测试器的测头应垂直于被测面，以免不精确。A8 A8 平板平板A8.1 A8.1 说明说明 平板的面积在平板的面积在160mmx100mm160mmx100mm至至2500mmx1600mm2500mmx1600mm范围内。范围内。 小于小于400mmx250mm400mmx250mm的铸铁平板应带有合适的手柄以便于操作的铸铁平板应带有合适的手柄以便于操作（见图（见图A13A13），大于），大于400mmx250mm400mmx250mm的铸铁平板应有可拆卸手柄。的铸铁平板应有可拆卸手柄。花岗石平板不需要手柄（见图花岗石平板不需要手柄（见图A14A14）。）。010001000100100010

41、01010000A8.2 A8.2 使用注意事项使用注意事项 大于等于大于等于1000mmx630mm1000mmx630mm的平板应提供三个可调支点；大于大的平板应提供三个可调支点；大于大于于400mmx250mm400mmx250mm的平板为防止倾斜应在一个支点的一侧靠近平的平板为防止倾斜应在一个支点的一侧靠近平板端部安放保险支承。大于板端部安放保险支承。大于1000mmx630mm1000mmx630mm的平板应安放的平板应安放5 5个或个或更多的可调支承点（见图更多的可调支承点（见图A15A15）。）。01000100010010001001010000A9 A9 钢丝和显微镜（见图钢

42、丝和显微镜（见图A16A16）A9.1 A9.1 说明说明 测量装置由带分划板的显微镜和可显示出相对于钢丝的精确测量装置由带分划板的显微镜和可显示出相对于钢丝的精确位置的可调测微装置组成。位置的可调测微装置组成。01000100010010001001010000A9.2 A9.2 精度精度 显微镜放在机床上，通过水平仪（与显微镜支架结为一体）显微镜放在机床上，通过水平仪（与显微镜支架结为一体）进行调节。钢丝两端通过目镜的十字架调成同一状态。移动进行调节。钢丝两端通过目镜的十字架调成同一状态。移动工作台读取在水平面内的读数。工作台读取在水平面内的读数。A9.3 A9.3 使用注意事项使用注意事

43、项 当装钢丝时，应仔细小心，钢丝不可出现死弯并应尽量绷当装钢丝时，应仔细小心，钢丝不可出现死弯并应尽量绷紧。钢丝的直径应尽可能小，在任何情况下都不能超过紧。钢丝的直径应尽可能小，在任何情况下都不能超过0.2mm0.2mm。对于长度大于等于。对于长度大于等于20m20m的床身，不需要特殊的保护措施也可的床身，不需要特殊的保护措施也可以进行检验。以进行检验。A10 A10 准直望远镜准直望远镜A10.1 A10.1 说明说明 带附加装置的准直望远镜（见图带附加装置的准直望远镜（见图A17A17）是用来检验直线度、）是用来检验直线度、平行度和垂直度的。通过对管形架内一组透镜的调整，水平平行度和垂直度

44、的。通过对管形架内一组透镜的调整，水平的和垂直的分划线的影像能投影到标靶上。的和垂直的分划线的影像能投影到标靶上。A10.2 A10.2 精度精度 使用测微计可用毫米为单位直接测量分划线到标靶的水平使用测微计可用毫米为单位直接测量分划线到标靶的水平0100010001001000100101000001000100010010001001010000位移和垂直位移（见图位移和垂直位移（见图A18A18），调整刻度盘改变调焦镜的位置，），调整刻度盘改变调焦镜的位置，使测量目标从零到无穷远间聚焦，直到分划线的焦点出现在目使测量目标从零到无穷远间聚焦，直到分划线的焦点出现在目镜上。望远镜通常安装在带

45、球形套的水平支座上（见图镜上。望远镜通常安装在带球形套的水平支座上（见图A17A17），），以便对瞄准线进行横向和垂向调整，通过沿瞄准线移动测量目以便对瞄准线进行横向和垂向调整，通过沿瞄准线移动测量目标对直线度进行测量（见图标对直线度进行测量（见图A19A19）。附加一个精密水平仪和光）。附加一个精密水平仪和光学角尺就可以使工具具有测量平行度和垂直度的能力。附加一学角尺就可以使工具具有测量平行度和垂直度的能力。附加一个多面棱镜，也个多面棱镜，也可以使工具具有测量旋转轴分度精度的能力。可以使工具具有测量旋转轴分度精度的能力。A10.3 A10.3 使用注意事项使用注意事项 使用中应注意如下事项：

46、使用中应注意如下事项： a) a)当存在能引起过度折射的温度变化时避免使用；当存在能引起过度折射的温度变化时避免使用； b) b)应确保磁性靶座的基面清洁；应确保磁性靶座的基面清洁； c) c)应确保测微计刻度盘读数价格不要反号，即：正和负不要应确保测微计刻度盘读数价格不要反号，即：正和负不要混淆。建议采用传统的混淆。建议采用传统的“上下左右上下左右”原则（见图原则（见图A20A20）；）； d) d)确保聚焦准确；确保聚焦准确； c) c)在一切需要的场合下，均应确保测量仪器安全牢靠。在一切需要的场合下，均应确保测量仪器安全牢靠。01000100010010001001010000A11 A

47、11 自准直仪（见图自准直仪（见图A21A21）A11.1 A11.1 说明说明 在光源处有目标线，目标线由居于一侧的灯泡和聚光器照在光源处有目标线，目标线由居于一侧的灯泡和聚光器照亮，光通过透光的反射镜沿光轴反射。亮，光通过透光的反射镜沿光轴反射。 反射回来的与目标线自身生成在同一平面内的目标线影像，反射回来的与目标线自身生成在同一平面内的目标线影像，通过一个配有测微目镜的低放大倍数显微镜加以观测，用测通过一个配有测微目镜的低放大倍数显微镜加以观测，用测微目镜测量出被反射回来的目标线的位置变动量。微目镜测量出被反射回来的目标线的位置变动量。A11.2 A11.2 精度精度 测微鼓轮是用测微鼓

48、轮是用0.50.5角秒分度的，在具有优质的反射面时，可角秒分度的，在具有优质的反射面时，可获得获得0.250.25角秒以内重复读数。角秒以内重复读数。A11.3 A11.3 使用注意事项使用注意事项01000100010010001001010000 在测量过程中，自准直仪望远镜应与提供被检线的部件连成一体，在测量过程中，自准直仪望远镜应与提供被检线的部件连成一体，并应安装在刚性高的支座上。装置的任何偏差都应予以注意。并应安装在刚性高的支座上。装置的任何偏差都应予以注意。 避免振动或温度的急剧变化非常重要。避免振动或温度的急剧变化非常重要。01000100010010001001010000A

49、12 A12 光学扫描仪光学扫描仪A12.1 A12.1 说明说明 光学扫描仪通常同准直望远镜一起使用，并由三个基准标靶光学扫描仪通常同准直望远镜一起使用，并由三个基准标靶建立一个基准平面，该基准平面使一个平面的平面度检测成为建立一个基准平面，该基准平面使一个平面的平面度检测成为可能（见图可能（见图A22A22）。望远镜安装在一个支架上，该支架内带有一）。望远镜安装在一个支架上，该支架内带有一个装有五棱镜的可转动光学装置，支架上有可调支承点，是测个装有五棱镜的可转动光学装置，支架上有可调支承点，是测量仪器对准二个基准标靶的中心，进行平面扫描。量仪器对准二个基准标靶的中心，进行平面扫描。0100

50、0100010010001001010000A12.2 A12.2 精度精度 测量标靶的聚焦如测量标靶的聚焦如A10A10所述，用装在回转光学装置上的测微所述，用装在回转光学装置上的测微计刻度盘测量标靶相对于分划线的垂直位移。计刻度盘测量标靶相对于分划线的垂直位移。A12.3 A12.3 使用注意事项使用注意事项 a) a)当存在能引起过度折射的温度变化时避免使用；当存在能引起过度折射的温度变化时避免使用； b) b)应确保磁性靶座的基面清洁；应确保磁性靶座的基面清洁； c)c)应确保测微计刻度盘读数价格不要反号，即：正和负不要应确保测微计刻度盘读数价格不要反号，即：正和负不要混淆。建议采用传

51、统的混淆。建议采用传统的“上下左右上下左右”原则（见图原则（见图A20A20）；）； d) d)确保聚焦准确；确保聚焦准确； c) c)在一切需要的场合下，均应确保测量仪器安全牢靠。在一切需要的场合下，均应确保测量仪器安全牢靠。A13 A13 激光干涉仪激光干涉仪A13.1 A13.1 说明说明 激光干涉仪的开发，给机床工业提供了高精度的标准，它适激光干涉仪的开发，给机床工业提供了高精度的标准，它适用于各种型号和各种规格的机床。稳态的氦氖激光代表了当前用于各种型号和各种规格的机床。稳态的氦氖激光代表了当前激光长度测量标准的工艺水平，而且在实际上成为已采用的长激光长度测量标准的工艺水平，而且在实

52、际上成为已采用的长度标准。度标准。01000100010010001001010000A13.2 A13.2 精度精度 激光干涉仪的精度是由激光的波长来定的，其精度优于百万激光干涉仪的精度是由激光的波长来定的，其精度优于百万分之分之0.50.5。 激光干涉仪可以测出六个自由度中的五个：线性定位、水平激光干涉仪可以测出六个自由度中的五个：线性定位、水平面内直线度、垂直面内直线度、俯仰和偏摆，也可测两轴之间面内直线度、垂直面内直线度、俯仰和偏摆，也可测两轴之间的垂直度。由于不应有的角位移或直线度误差转换成的定位误的垂直度。由于不应有的角位移或直线度误差转换成的定位误差可能大于一个坐标轴上的线性定位

53、误差，因此，所有六个自差可能大于一个坐标轴上的线性定位误差，因此，所有六个自由度是同等重要的。由度是同等重要的。 在开始测量前，应考虑的另一些误差源是：在开始测量前，应考虑的另一些误差源是： a) a)环境误差环境误差 对于线性测量有必要了解激光干涉仪的绝对精度，它取决于对于线性测量有必要了解激光干涉仪的绝对精度，它取决于周围条件精确程度并且还取决于其稳定程度。周围温度每产生周围条件精确程度并且还取决于其稳定程度。周围温度每产生11的变化，绝对压力每产生的变化，绝对压力每产生2.3mmHg2.3mmHg和相对湿度每产生和相对湿度每产生30%30%的误的误差时，将会导致大约百万分之一的测量误差。

54、这些误差可用人差时，将会导致大约百万分之一的测量误差。这些误差可用人工补偿或用联接在激光显示器上的自动补偿装置来部分克服工补偿或用联接在激光显示器上的自动补偿装置来部分克服 因此，在检验期间保持这些条件的稳定非常重要。因此，在检验期间保持这些条件的稳定非常重要。01000100010010001001010000 b) b)机床表面温度机床表面温度 另外一个干涉机床评定显著的误差源也值得注意，这就是机另外一个干涉机床评定显著的误差源也值得注意，这就是机床本身温度变化的影响。对于用钢制丝杠确定滑鞍位置的机床，床本身温度变化的影响。对于用钢制丝杠确定滑鞍位置的机床，丝杠温度每升高丝杠温度每升高11

55、，它将膨胀近，它将膨胀近0.0000108mm/m0.0000108mm/m，如果整个滑，如果整个滑鞍移动了鞍移动了1000mm1000mm，丝杠的温度每变化，丝杠的温度每变化11，丝杠可能变化，丝杠可能变化0.0108mm0.0108mm。 c) c)死行程误差死行程误差 死行程误差是一种在测量期间与环境条件的变化有关联的误死行程误差是一种在测量期间与环境条件的变化有关联的误差。简单说，这个误差是由于当围绕激光束的大气压发生改变差。简单说，这个误差是由于当围绕激光束的大气压发生改变（引起了激光波长变化）时以及当固定有光学干涉仪和目标反（引起了激光波长变化）时以及当固定有光学干涉仪和目标反射镜

56、的材料温度发生变化（引起干涉仪和反射镜之间的距离增射镜的材料温度发生变化（引起干涉仪和反射镜之间的距离增加或减少）时，激光束行程长度得不到补偿而造成的（见图加或减少）时，激光束行程长度得不到补偿而造成的（见图A23A23）。）。 激光测量行程的死行程区是指光学干涉仪与测量复位点（或激光测量行程的死行程区是指光学干涉仪与测量复位点（或0 0点）位置间的距离（点）位置间的距离（L1L1）。如果激光干涉仪和角隅棱镜（反）。如果激光干涉仪和角隅棱镜（反射镜）间没有运动，围绕激光光束行程的大气压条件发生变化射镜）间没有运动，围绕激光光束行程的大气压条件发生变化0100010001001000100101

57、0000则遍于整个光格（则遍于整个光格（L1+L2L1+L2）的波长将发生变化。如果用光速率）的波长将发生变化。如果用光速率补偿值进行修正使它适应新的环境条件，激光测量系统将修正补偿值进行修正使它适应新的环境条件，激光测量系统将修正用于改变用于改变L2L2的激光波长，但是，对死行程长度的激光波长，但是，对死行程长度L1L1不能修正。不能修正。01000100010010001001010000 d) d)余弦误差余弦误差 激光束路径对机床运动轴线如未对准，将在测量长度同实际激光束路径对机床运动轴线如未对准，将在测量长度同实际移动长度间产生一个误差。由于这个误差与光束和运动间未对移动长度间产生一

58、个误差。由于这个误差与光束和运动间未对准角的余弦成正比，所以未对准误差通常称为余弦误差。准角的余弦成正比，所以未对准误差通常称为余弦误差。 当激光测量系统与机床移动轴线未对准时，余弦误差将使测当激光测量系统与机床移动轴线未对准时，余弦误差将使测量长度小于实际长度（见图量长度小于实际长度（见图A24A24）。）。 当机床的实际移动长度为当机床的实际移动长度为L LM M 时，激光测量系统测得的长度为时，激光测量系统测得的长度为L L1MS1MS ，以，以A A为原点，为原点， L L1MS1MS为半径画弧，很容易看出，为半径画弧，很容易看出， L L1MS1MS比比L LM M 短。短。 消除余

59、弦误差的唯一方法是在安装时确保良好的对准。消除余弦误差的唯一方法是在安装时确保良好的对准。01000100010010001001010000 d) d)阿贝误差阿贝误差 如果在一个偏离了被测位移的位置上进行测量时，部件的任如果在一个偏离了被测位移的位置上进行测量时，部件的任何角运动将产生一个误差（见图何角运动将产生一个误差（见图A25A25）。）。 估算角运动产生的误差的一条有益经验是：每角秒的角运动估算角运动产生的误差的一条有益经验是：每角秒的角运动产生大约产生大约5 5m/mm/m的偏移。对于阿贝偏移为的偏移。对于阿贝偏移为200mm.2200mm.2角秒的角运动，角秒的角运动，其测量位

60、移误差为其测量位移误差为200mmx5200mmx5m/m/m/m/角秒角秒x2x2角秒角秒=2=2m m。01000100010010001001010000A13.3 A13.3 使用注意事项使用注意事项 创立用激光测量系统对机床进行评价时，必须遵守下面三个创立用激光测量系统对机床进行评价时，必须遵守下面三个基本原则：基本原则： a) a)选择适当的配置来测量所需的参数；选择适当的配置来测量所需的参数； b) b)使潜在误差源（对准、补偿、死行程等）最小；使潜在误差源（对准、补偿、死行程等）最小； c) c)尽可能模拟机床的实际工作条件。尽可能模拟机床的实际工作条件。 应对每个单独的配置仔

61、细分析，以确保机床误差的测量能代应对每个单独的配置仔细分析，以确保机床误差的测量能代表工件的误差。测量应反映出刀具与工件的相对运动。在刀具表工件的误差。测量应反映出刀具与工件的相对运动。在刀具的安装处装置一个光学元件，而另一个光学元件安放在工件位的安装处装置一个光学元件，而另一个光学元件安放在工件位置上。置上。 当激光处于最大测量值上则不需改变激光头的位置。尽管用当激光处于最大测量值上则不需改变激光头的位置。尽管用激光系统测量是非常准确的，但必须考虑到其初始位置的正确激光系统测量是非常准确的，但必须考虑到其初始位置的正确性和清除潜在的误差。性和清除潜在的误差。0100010001001000100101000001000100010010001001010000010001000100100010010100000100010001001000100101000001000100010010001001010000010001000100100010010100000100010001001000100101000001000100010010001001010000010001000100100010010100000100010001001000100101000001000100010010001001010000谢谢!用中国大用中国大脑，装，装备中国装中国装备！