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2、理化学特性。比能高，具有传统材料所不具备的物理化学特性。比普通薄膜有更快的响应速度，具有高灵敏度。普通薄膜有更快的响应速度，具有高灵敏度。高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析w1、气敏传感器的简介、气敏传感器的简介w2、本项目的研究意义以及研究目标、本项目的研究意义以及研究目标w3、高灵敏度阵列气敏传感器的制备工艺、高灵敏度阵列气敏传感器的制备工艺w4、数据分析及总结、数据分析及总结w5、未来前景展望、未来前景展望高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析敏感元件敏感元件传感元件传感元件非电量非电量电参量电参量电量电量 传感器组成框图传感器组成框图被测量被测量气敏传感器的基本结构：气敏传
3、感器的基本结构：转换电路转换电路高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析气敏传感器的基本原理：气敏传感器的基本原理：气敏薄膜气敏薄膜基底基底气敏薄膜气敏薄膜加热电极加热电极叉指电极叉指电极高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析 w气敏传感器的分类气敏传感器的分类气敏传感器气敏传感器半导体气敏半导体气敏传感器传感器催化燃烧催化燃烧式气敏传式气敏传感器感器电化学气电化学气敏传感器敏传感器热导池式热导池式气敏传感气敏传感器器磁性氧气传磁性氧气传感器感器高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析由于由于单个气敏器件对多种气体都有响应单个气敏器件对多种气体都有响应，我们对，我们对单个敏感器件的这一
4、特点单个敏感器件的这一特点加以研究，制备出加以研究，制备出高灵敏度高灵敏度阵列气敏传感器阵列气敏传感器。它。它不仅能克服单个气敏传感器的缺不仅能克服单个气敏传感器的缺点，更能够对混合气体加以辨别。存在多种应用和潜点，更能够对混合气体加以辨别。存在多种应用和潜在应用在应用。高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析半导体气敏传感器阵列半导体气敏传感器阵列高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析（1）氧化）氧化高温氧化炉高温氧化炉高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析（2）匀胶）匀胶光刻胶光刻胶氧化层氧化层涂胶机涂胶机高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析（3）光刻）光刻光刻机光刻机高灵
5、敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析（4）刻蚀和除胶高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析（5）掺杂）掺杂硅晶片的蚀刻掩膜去除后硅晶片的蚀刻掩膜去除后高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析叉指电极叉指电极掺杂（硼）掺杂（硼）高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析（6）划片及印刷制备的薄膜）划片及印刷制备的薄膜激光切割机激光切割机 我们在制作好的硅片上涂抹我们在制作好的硅片上涂抹特定的纳米材料薄膜，然后封装。特定的纳米材料薄膜，然后封装。制成我们所要的气敏传感器！制成我们所要的气敏传感器！高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析涂膜前涂膜前涂膜后涂膜后高灵敏度阵列气敏传感器的制备
6、与气敏特性分析纳米氧化锌的生长纳米氧化锌的生长高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析二氧化钛二氧化钛高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析ZnO气敏传感器V-G特性TiO2气敏传感器V-G特性高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析w工作总结工作总结根据半导体工艺以及相关技术，结合先进的测试方法根据半导体工艺以及相关技术，结合先进的测试方法和理论分析，建立智能化识别模式使之适应复杂环和理论分析，建立智能化识别模式使之适应复杂环境中气体的检测，实现高精度、低功耗和集成化气境中气体的检测，实现高精度、低功
7、耗和集成化气体传感器阵列结构和不同选择性的气敏薄膜的制备。体传感器阵列结构和不同选择性的气敏薄膜的制备。高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析w提出项目创新点提出项目创新点1、提出高灵敏度传感器阵列设计与制备，以实现复杂提出高灵敏度传感器阵列设计与制备，以实现复杂成分气体的检测。成分气体的检测。2、利用半导体工艺等技术，在本征硅片上阵列结构电利用半导体工艺等技术，在本征硅片上阵列结构电极和纳米气敏薄膜，有效提高气体测量的准确性、极和纳米气敏薄膜，有效提高气体测量的准确性、响应速度和灵敏度。响应速度和灵敏度。3、建立智能化的识别模式使之适应复杂环境中混合气建立智能化的识别模式使之适应复杂环境
8、中混合气体种类和含量测量。体种类和含量测量。高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析w后期目标后期目标本本项目初步得出阵列化的气敏传感器项目初步得出阵列化的气敏传感器,能够对混合气体能够对混合气体有良好的选择性。但是还存在一些不足，为了能够有良好的选择性。但是还存在一些不足，为了能够更有效更方便更准确的识别混合气体，在后续工作更有效更方便更准确的识别混合气体，在后续工作中我们准备在同一基底上阵列更多的气敏传感器，中我们准备在同一基底上阵列更多的气敏传感器，对其进行更加完善的测试。构建复式图，对比数据对其进行更加完善的测试。构建复式图，对比数据库相关信息得到更准确的信息。库相关信息得到更准确的
9、信息。高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析石墨烯石墨烯高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析本设计结合高性能气体传感器发展的需要本设计结合高性能气体传感器发展的需要和最新的研究成果，通过阵列结构、气敏薄膜和最新的研究成果，通过阵列结构、气敏薄膜和识别模式的不断完善，可实现国防、工业及和识别模式的不断完善，可实现国防、工业及日常生活发展对选择性强和测量精度高的新型日常生活发展对选择性强和测量精度高的新型气体传感器需求，对提高国民经济有很大的应气体传感器需求，对提高国民经济有很大的应用价值，具有很大的现实意义。用价值，具有很大的现实意义。高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析Thank you for your supportThank you for your supportUniversity students wishing to learn a happy life 高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析
