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1、5.2 LED的防静电控制的防静电控制内容内容l一、静电的概念一、静电的概念 l二、静电的产生二、静电的产生 l三、带电电位与体电阻率三、带电电位与体电阻率 l四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静电措施l五、器件失效的原因五、器件失效的原因一、静电的概念一、静电的概念l什么是静电（什么是静电（ES，electrostatic），即由于电），即由于电荷和电场的存在而产生的一切现象。荷和电场的存在而产生的一切现象。l静电并非静止不动的电，而是缓慢移动的电荷。静电并非静止不动的电，而是缓慢移动的电荷。其磁效应可以忽略。其磁效应可以忽略。l静电与常用电从性质上是一样的，本质都是电静电与常用电从性
2、质上是一样的，本质都是电荷。荷。 1. 静电力学现象静电力学现象 一、静电的概念一、静电的概念一、静电的概念一、静电的概念2. 静电感应现象静电感应现象 一、静电的概念一、静电的概念一、静电的概念一、静电的概念3. 静电放电现象静电放电现象 一、静电的概念一、静电的概念一、静电的概念一、静电的概念二、静电的产生二、静电的产生物体摩擦带电情况物体摩擦带电情况 1. 物体摩擦带电的序列物体摩擦带电的序列l摩擦带电序列是：摩擦带电序列是：+ 玻璃、有机玻璃、尼龙、羊毛、丝绸、赛璐玻璃、有机玻璃、尼龙、羊毛、丝绸、赛璐珞、棉织品、纸、金属、黑橡胶、涤纶、维尼珞、棉织品、纸、金属、黑橡胶、涤纶、维尼纶、
3、聚苯乙烯、聚丙烯、聚乙烯、聚氯乙烯、纶、聚苯乙烯、聚丙烯、聚乙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯聚四氟乙烯 二、静电的产生二、静电的产生二、静电的产生二、静电的产生1. 物体摩擦带电的序列物体摩擦带电的序列 l不同材料的物体在相互摩擦的过程中，得失电不同材料的物体在相互摩擦的过程中，得失电子的能力不同，有的容易失去电子而带正电，子的能力不同，有的容易失去电子而带正电，有的容易得到电子而带负电。有的容易得到电子而带负电。l在上面所附的序列中，玻璃最容易失去电子，在上面所附的序列中，玻璃最容易失去电子，聚四氟乙烯最容易得到电子。序列中任何一物聚四氟乙烯最容易得到电子。序列中任何一物质与它后面的物质摩擦，前者
4、带正电，后者带质与它后面的物质摩擦，前者带正电，后者带负电。负电。l例如有机玻璃与丝绸摩擦，有机玻璃带正电，例如有机玻璃与丝绸摩擦，有机玻璃带正电，丝绸带负电；丝绸与涤纶摩擦，丝绸带正电，丝绸带负电；丝绸与涤纶摩擦，丝绸带正电，涤纶带负电。在序列中两物质相距越远，摩擦涤纶带负电。在序列中两物质相距越远，摩擦时带电的效果越好。时带电的效果越好。 二、静电的产生二、静电的产生二、静电的产生二、静电的产生2. 人在室内做出动作时所带的静电人在室内做出动作时所带的静电 二、静电的产生二、静电的产生二、静电的产生二、静电的产生三、带电电位与体电阻率三、带电电位与体电阻率体电阻与静电体电阻与静电l体电阻处
5、于体电阻处于10111014cm的绝缘体最易摩擦的绝缘体最易摩擦起电；起电；l体电阻体电阻1010cm的材料含杂质多，导电性较的材料含杂质多，导电性较好，产生静电可以很快消失。好，产生静电可以很快消失。 三、带电电位与体电阻率三、带电电位与体电阻率三、带电电位与体电阻率三、带电电位与体电阻率半导体电阻抗静电能力半导体电阻抗静电能力三、带电电位与体电阻率三、带电电位与体电阻率三、带电电位与体电阻率三、带电电位与体电阻率四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静电措施l硅片间的隔纸可达硅片间的隔纸可达2kVl芯片托盘为芯片托盘为6kV：l光刻车间塑料板地面：光刻车间塑料板地面：5001000V，l
6、清洗间的瓷质地面：清洗间的瓷质地面：01500Vl喷射清洗液的高压纯水：喷射清洗液的高压纯水：2kVl塑料顶棚：塑料顶棚： 01000Vl工作台面：工作台面：5002000V，最高可达，最高可达5kVl人和服装：人和服装：30kVl非接地操作人员：非接地操作人员：35kV，高时可达，高时可达10kV。1. 防静电车间防静电车间四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静电措施2. 防静电地板防静电地板四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静电措施3. 防静电工作台防静电工作台四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静电措施4. 防静电工作服防静电工作服四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静
7、电措施5. 防静电手套防静电手套四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静电措施6. 防静电手腕防静电手腕四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静电措施7. 防静电包装袋防静电包装袋四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静电措施8. 防静标识防静标识四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静电措施防静电措施防静电措施l9. 各环节要尽量减少接触这类各环节要尽量减少接触这类LED器件的人数，器件的人数，限制人员不必要的走动，搬推椅子。限制人员不必要的走动，搬推椅子。l10. 取出备用的取出备用的LED器件后不要堆叠在一起，器件后不要堆叠在一起，器件尽量不要互相接触。从包装袋中取出而暂器件尽量
8、不要互相接触。从包装袋中取出而暂时不用的器件，应用防静电袋包起来。时不用的器件，应用防静电袋包起来。 l11. 必须用手接触必须用手接触LED的器件时，应接触管壳的器件时，应接触管壳而避免接触而避免接触LED器件的引出端。要接触器件的引出端。要接触LED器器件前，应将手或身体接件前，应将手或身体接“地地”一下，把静电释一下，把静电释放干净。放干净。 四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静电措施防静电措施防静电措施l12. 电烙铁要求永久接地。电烙铁要求永久接地。 l13. 工作环境的相对湿度应保持在工作环境的相对湿度应保持在50%左右，左右，不穿容易产生静电的工作服。不穿容易产生静电的工作
9、服。l14. 在工作区域使用离子风扇防止静电积累，在工作区域使用离子风扇防止静电积累，因为离子风扇送出的负离子能与静电中和，不因为离子风扇送出的负离子能与静电中和，不会使静电积累成很高电压。会使静电积累成很高电压。 l15.车间里所用的设备都要有良好的接地，接车间里所用的设备都要有良好的接地，接地电阻不能大于地电阻不能大于10。车间入口处一定要有接。车间入口处一定要有接地金属球，人进入时先摸金属球，以释放身上地金属球，人进入时先摸金属球，以释放身上的静电。的静电。 四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静电措施新伦科技新伦科技防静电厂商防静电厂商四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静电措
10、施新伦科技新伦科技防静电厂商防静电厂商四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静电措施新伦科技新伦科技防静电厂商防静电厂商四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静电措施新伦科技新伦科技防静电厂商防静电厂商四、生产环境及防静电措施四、生产环境及防静电措施五、器件失效的原因五、器件失效的原因静电静电l制造、筛选、测试、包装、储运、安装使用等制造、筛选、测试、包装、储运、安装使用等环节。环节。l干燥季节、洁净环境下尤为突出。干燥季节、洁净环境下尤为突出。不同不同LED抗静电能力抗静电能力l红色、橙色、黄色红色、橙色、黄色LED材料是材料是GaP与与GaAs及及其混晶其混晶GaAsP，抗静电能力好一些，抗静电能力好一些 。l绿色、蓝色、白色绿色、蓝色、白色LED材料是材料是InGaN或者或者AlGaNlGaN，抗静电能力差一些，抗静电能力差一些 。五、器件失效的原因五、器件失效的原因五、器件失效的原因五、器件失效的原因
