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1、 技研示技研示时时时时时时间间间间间间:12/05/0712/05/0712/05/072021/3/111 技研示技研示2021/3/112不良表面特征: 短接处成弧形,低于线面 主要形成原因 1、磨板不良:板面磨板不净或 有点状氧化。 2、辘板不良:辘板参数有异常 或压辘有点状擦花。 相关改善对策: 1、检查磨板机磨痕有无异常 2、检查烘干后板面有无点状氧化 3、检查辘板参数有无异常 4、检查辘板机压辘有无点状擦花干菲林缺陷干菲林缺陷-渗镀渗镀 技研示技研示2021/3/113 主要形成原因 1、磨板不良:板面磨板不净或 烘干后有片状氧化。 2、辘板不良:辘板参数有异常 或压辘有条状擦花。
2、不良表面特征: 短接处多为一条线,且平于线面 相关改善对策: 1、检查磨板机磨痕有无异常 2、检查烘干后板面有无片状氧化 3、检查辘板参数有无异常 4、检查辘板机压辘有无条状擦花干菲林缺陷干菲林缺陷-菲林松菲林松 技研示技研示2021/3/114不良表面特征: 短接处为不规则状,且平于线面 主要形成原因 1、菲林问题:曝光菲林上有垃 圾。 2、曝光问题:曝光区域内不洁 净,有垃圾。 相关改善对策: 1、保证生产菲林清洁的品质。 2、把曝光玻璃台面、Mylar等处清洁干净 3、检查辘板机有无菲林碎不良,若有,通知维修部维修OK。 4、检查手动曝光框有无脱漆或密封圈有无老化脱胶等现象。 干菲林缺陷
3、干菲林缺陷-曝光垃圾曝光垃圾 技研示技研示2021/3/115不良表面特征: 短接处为一长条状,且横跨线 路,平于线面,多在孔边处。 主要形成原因 1、辘板机故障。 相关改善对策: 1、通知维修员对有故障之辘板机进行维修。干菲林缺陷干菲林缺陷-膜皱膜皱 技研示技研示2021/3/116 技研示技研示2021/3/117不良表面特征: 开路处在中间,周围有短路 主要形成原因 1、来料不良:黑孔来料板面 有片状胶迹。 2、干菲林磨板、显影运输有 片状胶迹或洗油板有胶。 相关改善对策: 1、检查黑孔来料板面有无胶迹 2、检查干菲林磨板机胶制运输辘有 无老化、脱落。 3、检查干菲林显影机运输有无胶迹
4、来源。 4、检查干菲林洗油板有无胶迹。 干菲林缺陷干菲林缺陷-片状残胶开路片状残胶开路 技研示技研示2021/3/118不良表面特征: 开路边缘部分较为粗糙 主要形成原因 1、来料不良:黑孔来料板面 有点状胶迹。 2、干菲林磨板、显影运输线有 点状胶迹或洗油板有胶。 相关改善对策: 1、检查黑孔烘干缸有无残胶。 2、检查干菲林磨板机烘干段之过滤棉 纱有无老旧、残破。 3、检查干菲林磨板烘干段之风刀、风 琴管有无黑渣。 4、检查干菲林洗油板有无洗油不净。干菲林缺陷干菲林缺陷-点状残胶开路点状残胶开路 技研示技研示2021/3/119不良表面特征: 胶迹开路区域为圆形。 主要形成原因 1、干膜板板
5、面污染:显影后干 菲林目检人员手套与图形电 镀上板员黑胶手套老旧或乱 放被污染,而后带于板面。 相关改善对策: 1、检查干菲林目检员工手套有无老旧、脏污。 2、检查图形电镀上板员工所用手套有无老旧、脏污,且检查其手套有无 乱放的现象。 干菲林缺陷干菲林缺陷-圆状残胶开路圆状残胶开路 技研示技研示2021/3/1110不良表面特征: 开路处很平滑、整齐。 主要形成原因 1、干菲林显影有蔽孔穿。 2、干菲林曝光有菲林擦花。 3、干菲林洗油板有洗油不净。 4、干菲林辘板有菲林超边板。 相关改善对策: 1、检查显影处有无蔽孔穿,并改善之。 2、检查生产菲林有无菲林擦花。 3、检查干菲林洗油板有无洗油不
6、净。 4、检查辘板处有无菲林超边。 5、检查辘板处有无盖半孔且半孔处被曝光之现象。干菲林缺陷干菲林缺陷-菲林碎开路菲林碎开路 技研示技研示2021/3/1111不良表面特征: 开路处有由粗变细之趋势,并 有短路部分。 主要形成原因 1、在曝光菲林与板之间有垃圾 ,在曝光的时候形成局部抽 真空不良,而致曝光不良。 相关改善对策: 1、对所用曝光菲林清洁干净,保证曝光菲林的洁净度。 2、检查所用四寸黄胶纸有无掉胶之现象。 3、检查辘板机有无辘板菲林碎之不良。干菲林缺陷干菲林缺陷-曝光垃圾开路曝光垃圾开路 技研示技研示2021/3/1112不良表面特征: 有多条线路由粗变细,直至开路 主要形成原因
7、1、所用菲林遮光度不够 2、曝光灯管老化或能量均匀性 差,或设定曝光能量过大。 3、曝光员赶气不到位。 相关改善对策: 1、若为定区域曝光不良,则需检查所用菲林的遮光度是否符合要求。 2、检查曝光灯管有无超期使用,检查设定能量是否符合要求,检查曝光能 量均匀性是否符合要求。 3、检查曝光员的赶气动作是否规范。 干菲林缺陷干菲林缺陷-曝光不良开路曝光不良开路 技研示技研示2021/3/1113不良表面特征: 线路为连续的缺口或开路 主要形成原因 1、含有油性的水分被喷到干膜 板上,而后形成溪流效应, 沿线路流动,对线路进行污 染。 相关改善对策: 1、检查图形电镀上料手臂处之气管有无漏气之现象。
8、 干菲林缺陷干菲林缺陷-油污开路油污开路 技研示技研示2021/3/1114 技研示技研示2021/3/1115图形电镀缺陷图形电镀缺陷-板面铜丝板面铜丝 技研示技研示不良表面特征: 铜面或线面上长出一根铜丝,板面铜丝可以造成短路。 主要形成原因 1、铜缸金属杂质过多。 相关改善对策: 1、检查铜缸过滤效果。 2021/3/1116图形电镀缺陷图形电镀缺陷-开路开路 技研示技研示不良表面特征: 线路的断开处还残留铜 主要形成原因 1、线路上有油污污染; 2、镀锡不良; 3、镀锡后水洗太脏。 相关改善对策: 1、检查图形电镀各药水缸有无油污现象; 2、检查镀锡后水洗是否太脏。 2021/3/11
9、17图形电镀缺陷图形电镀缺陷-针孔针孔不良表面特征: 孔环边、线路边或PAD边出现小圆形的凹点。 主要形成原因 1、搅拌不均匀或过滤机漏气; 2、镀液有机污染严重; 3、湿润剂偏底; 4、 D/F显影不良。 相关改善对策: 1、检查铜缸有无打气不均、过滤机漏气现象; 2、对镀液进行碳芯过滤或碳处理; 3、分析调整湿润剂浓度; 4、监控显影参数及显影后水洗效果。 技研示技研示2021/3/1118图形电镀缺陷图形电镀缺陷-夹膜短路夹膜短路 技研示技研示不良表面特征:夹膜是密线路间短路,在短路处的形状是比较平整且不光亮有点哑色,短路的铜比线路低。 主要形成原因 1、镀铜厚度偏厚。 相关改善对策:
10、1、检查整流机输出有无异常,并校正电流偏差在+/-5之内; 2、电流太大,重新试做FA; 3、镀铜均匀性差,调整镀铜均匀性大于85; 4、修改菲林线宽间距;并在线路独立处设计假铜位,以使电力分布均匀。 2021/3/1119不良表面特征:擦花干膜处呈条状短路。 主要形成原因 1、搬运不当; 2、上板员工操作不当或掉板。 相关改善对策: 1、规范员工搬运、上板动作; 2、前处理掉的板捞起后检查有无擦花干膜,如有需返洗油重做干膜。 图形电镀缺陷图形电镀缺陷-擦花干膜擦花干膜 技研示技研示2021/3/1120 技研示技研示2021/3/1121PTH、板電缺陷、板電缺陷-PTH後铜面擦穿後铜面擦穿
11、 技研示技研示不良表面特征:在擦穿的區域內是沒有電鍍銅的,直接可以看出基材。 主要形成原因 1、板角擦穿; 2、磨板機卡板; 相关改善对策: 1、规范员工搬运、上下板动作; 2、檢查磨板機運輸狀況。 2021/3/1122PTH、板電缺陷、板電缺陷-板電鍍銅不均板電鍍銅不均 技研示技研示不良表面特征:鍍銅不均在蝕刻時會有蝕刻不凈、殘銅、蝕刻毛邊現象。 主要形成原因 1、鍍銅均勻性差。 相关改善对策: 1、合理、均勻擺布鈦籃位置;加裝陽極擋板及浮架合理開孔; 2、檢查鈦籃內銅球有無空洞、銅缸有無打氣不均現象; 3、檢查夾子是否在同一條線; 4、上板時板與板不能間隔太大、疊板,在兩端上陪鍍銅條。
12、2021/3/1123PTH、板電缺陷、板電缺陷-板面燒焦板面燒焦 技研示技研示不良表面特征:燒焦處銅面結晶粗糙並呈顆粒狀,銅後嚴重偏厚,易出現在高電流區域。 主要形成原因 電流過大;鍍液溫度過低;硫酸、硫酸銅濃度低;光劑含量低。 相关改善对策: 1、重新試做FA,檢查整流機輸出有無異常; 2、檢查鍍液溫度是否在范圍內; 3、分析調整硫酸、硫酸銅、光劑濃度。 2021/3/1124PTH、板電缺陷、板電缺陷-板面銅粒板面銅粒 技研示技研示不良表面特征:板面附著微小顆粒,用手摸有刺手的感覺。 主要形成原因 1、鍍液臟;陽極袋破損;銅球含P量低;蝕夾不凈;缸中掉板過多;打空缸電流。 相关改善对策:
13、 1、倒槽清洗缸中雜物,對槽液進行過濾;更換破損的陽極袋; 2、化驗銅球含P量,標準含P為0.03-0.06; 3、提高硝掛槽硝酸濃度。 2021/3/1125PTH、板電缺陷、板電缺陷-疊板疊板無光澤無光澤不良表面特征:疊板位置無光澤,且銅厚偏薄,严重则导致孔内无铜。 主要形成原因 1、夾子螺絲鬆動; 2、掛具不齊。 相关改善对策: 1、上板時需鎖緊夾子螺絲; 2、調整更換不齊的掛具。 技研示技研示2021/3/1126PTH、板電缺陷、板電缺陷-孔口毛刺孔口毛刺不良表面特征:孔口要比旁边铜凸出。 主要形成原因1、钻孔参数不符合要求。 相关改善对策: 1、换掉钻咀或重磨钻咀; 2、减少钻咀在
14、孔中停留时间。 技研示技研示2021/3/1127PTH、板電缺陷、板電缺陷-铜渣塞孔铜渣塞孔不良表面特征:孔壁有凸出物,完全塞死的孔会导致开路。 主要形成原因1、孔内粉尘及孔边披峰去除不净;2、铜缸内铜渣杂质多。 相关改善对策: 1、改善钻孔吸尘及去毛刺效果; 2、倒槽并清洗铜缸内杂物。 技研示技研示2021/3/1128 技研示技研示2021/3/1129问题问题1. 1. 各镀铜层间附着力不良各镀铜层间附着力不良 技研示技研示2021/3/1130问题问题1. 1. 各镀铜层间附着力不良(續)各镀铜层间附着力不良(續) 技研示技研示2021/3/1131问题问题2. 2. 二次铜二次铜(
15、 (线路镀铜线路镀铜) )出现局部出现局部漏镀或阶梯镀漏镀或阶梯镀2021/3/1132问题问题2. 2. 二次铜二次铜( (线路镀铜线路镀铜) )出现局部出现局部漏镀或阶梯镀(續)漏镀或阶梯镀(續)2021/3/1133问题问题3. 3. 板子正反两面镀层厚度不均板子正反两面镀层厚度不均2021/3/1134问题问题4. 4. 镀层过薄镀层过薄2021/3/1135问题问题5. 5. 全板面镀铜之厚度分布不均全板面镀铜之厚度分布不均2021/3/1136问题问题5. 5. 全板面镀铜之厚度分布不均全板面镀铜之厚度分布不均(續)(續)2021/3/1137问题问题6. 6. 镀液槽面起泡镀液槽
16、面起泡2021/3/1138问题问题7. 7. 通孔铜壁出现破洞通孔铜壁出现破洞2021/3/1139问题问题7. 7. 通孔铜壁出现破洞(續)通孔铜壁出现破洞(續)2021/3/1140问题问题8. 8. 镀铜层烧焦镀铜层烧焦2021/3/1141问题问题8. 8. 镀铜层烧焦(續)镀铜层烧焦(續)2021/3/1142问题问题8. 8. 镀铜层烧焦(續)镀铜层烧焦(續)2021/3/1143问题问题9. 9. 镀铜层表面长瘤镀铜层表面长瘤( (尤以孔口最尤以孔口最易出现铜瘤易出现铜瘤) )2021/3/1144问题问题9. 9. 镀铜层表面长瘤镀铜层表面长瘤( (尤以孔口最尤以孔口最易出现
17、铜瘤易出现铜瘤) )(續)(續)2021/3/1145问题问题10. 10. 镀铜层出现凹点镀铜层出现凹点2021/3/1146问题问题11. 11. 镀层厚度分布不均匀镀层厚度分布不均匀2021/3/1147问题问题11. 11. 镀层厚度分布不均匀(續)镀层厚度分布不均匀(續)2021/3/1148问题问题11. 11. 镀层厚度分布不均匀(續)镀层厚度分布不均匀(續)2021/3/1149问题问题12. 12. 镀层出现条纹状镀层出现条纹状2021/3/1150问题问题12. 12. 镀层出现条纹状(續)镀层出现条纹状(續)2021/3/1151问题问题13. 13. 镀层脆裂镀层脆裂(
18、Brittle Copper (Brittle Copper Plating)Plating)2021/3/1152问题问题13. 13. 镀层脆裂镀层脆裂(Brittle Copper (Brittle Copper Plating)Plating)(續)(續)2021/3/1153问题问题14. 14. 镀层抗拉强度镀层抗拉强度(Tensile (Tensile Strength)Strength)过低过低2021/3/1154问题问题15. 15. 镀层晶格结构过大镀层晶格结构过大2021/3/1155问题问题16. 16. 无机物污染无机物污染2021/3/1156问题问题17. 17. 添加剂未能发挥应有功用添加剂未能发挥应有功用2021/3/11572021/3/1158