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1、压阻式压力传感器(一)压力的概念大气压力:地球表面的空气柱重量所产生的压力绝对压力:p=pH+pB,是气体所处空间的全部压力表压力: pB= p-pH,高于大气压的绝对压力与大 气压力之差。 一、应变式压力传感器压力传感器 压阻式压力传感器特点优点:灵敏度高、无迟滞、频响高、输出电平高、精度高、耐振及耐冲击性能好、功耗小、寿命长、设计及使用方便、可以小型化。缺点:零位温度漂移和灵敏度温度漂移。压阻式固态压力传感器压阻式固态压力传感器 利用扩散工艺制作的四个利用扩散工艺制作的四个半导体应变电阻处于同一硅片半导体应变电阻处于同一硅片上,上,工艺一致性好工艺一致性好,灵敏度相灵敏度相等等,漂移抵消漂
2、移抵消,迟滞、蠕变非,迟滞、蠕变非常小,动态响应快。常小,动态响应快。 压阻式固态压力传感器的隔离、承压膜片压阻式固态压力传感器的隔离、承压膜片 隔离、承隔离、承压压膜片膜片可以将可以将腐腐蚀性的气体蚀性的气体、液液体体与与硅膜片硅膜片 隔隔离离开来。开来。 压阻式固态压阻式固态 压力传感器压力传感器 内部结构内部结构信号处信号处理电路理电路p小型压阻式固态压力传感器小型压阻式固态压力传感器高压进气口高压进气口低压进气口低压进气口小型压阻式固态差压传感器小型压阻式固态差压传感器可用于呼吸、透析和注射泵等设备可用于呼吸、透析和注射泵等设备p1进气管进气管p2进气管进气管电缆引出电缆引出小型压阻式
3、固态压力传感器小型压阻式固态压力传感器表压压力传感器表压压力传感器p1进气管进气管投入式液位计投入式液位计 压阻式压力传感器安装在不锈钢壳体内,并用不锈钢支架固定放置于液体底部。压阻式压力传感器安装在不锈钢壳体内,并用不锈钢支架固定放置于液体底部。压阻式固态压力传感器的高压侧压阻式固态压力传感器的高压侧p1进气孔用进气孔用柔性不锈钢隔离膜片隔离柔性不锈钢隔离膜片隔离,并用硅油传,并用硅油传导压力,与液体相通。导压力,与液体相通。传感器的低压侧进气孔通过一根很长的橡胶“背压管”与大气相通,传感器的信号线、电源线也通过该“背压管”与外界的仪表接口相连接。投入式液位计外形投入式液位计外形 压阻式压阻
4、式固态压固态压力传感力传感器器 与水位成正与水位成正比的光柱比的光柱 橡胶橡胶 背压管背压管 进水孔进水孔 投入式液位传感器必须使用安装支架,适应于深度为 几米 至 几十米,且混有 大 量 污物、杂质的水或其他液体的液位测量。投入式液位传感器投入式液位传感器 投入式液位计液位的计算投入式液位计液位的计算: 安装高度安装高度h0处水的表压处水的表压 p1= gh1 所以:所以: h=h0+h1=h0+p1 /( g) 例:液位计安装高度为例:液位计安装高度为1m,测得压力为,测得压力为98kPa,求水的,求水的深深度度h。 压阻式压力传感器的用途很多,例如在汽车中,可用来测量进气压力、燃油压力、润滑油压力、刹车用的制动液压力等。休休 息息 一一 下下