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1、丝网印刷和烧结工艺手冊电池一车间 2009年2月 目录 错误！未找到引用源。1目的规范丝网印刷和烧结端工艺的操作，为及时、准确和快速的解决问题提供指 导。2适用范围本工艺手册适用于电池一车间所有线别的丝网印刷和烧结工艺段。3丝网复机流程31原材料准备和工艺卫生清理丝网复机之前，要求产线准备新的网板、刮条、浆料和其它丝网工段所需的 原料，并要求生产进行丝网工艺卫生清理。清理时，要擦拭所有的Walking beam、 烘箱托盘、烘箱抓手、印刷台面、刮刀、刮浆板等，清理烘箱必需要用无尘布。32设备的确认在进行印刷调试之前，工艺人员应该先确认设备的状态，在没有确认设备 能正常印刷情况下，工艺不得擅自接
2、手调试，主要检查以下几项:设备能持续正常的运转，不出现报警；印刷机台能够正常的上下料，不会出现上下料时报警；在工艺参数可调的范围内，印刷机台能够正常的印刷，不出现印刷不良、 粘板和严重的印刷偏移等情况；检查两个烘箱设定的温度，并保证烘箱实际温度能够达到设定温度，每 个温区的实际温度和设定温度之间的偏差不能大于10C；检查两个烘箱设定的烘烤时间是否正确。3.3印刷调试确认设备一切正常后，工艺可以开始进行印刷调试。调试前，根据生产的产 品类型选择已存的相应的印刷程序。调试要使用假片，重点要关注是否会出现印 刷不良（包括虚印、粘板、栅线加粗、印刷模糊等）和印刷偏移（特别是1号机） 等情况，出现此类情
3、况的调试方法见第5节。注意：调试过程中，若出现严重印刷偏移导致浆料已经印刷到片外（2号机 和3号机容易出现）时，这些片子不得在Walking beam上走，更不能进入烘箱。3.4正常走片正常走片之前，工艺需要要求生产再次擦拭所有的Walking beam，更换脏了 的印刷台面衬纸。正常走片后，需要马上确认各台印刷机台的印刷重量，每台机 台需要连续确认两片，如果不在规定范围之内，需要立即进行调试（调试方法见 第5节），并继续确认，直到达到要求为止。4烧结炉复机流程41烧铝带和设备的确认如果烧结炉停机达到3天以上，再次复机之前，工艺需要要求设备对烧结炉 的铝带进行烘烤处理，烘烤时间为30分钟以上。
4、烘烤铝带有特定的烧结工艺参数，在烘烤铝带时，工艺应该同时确认烧结炉是否能够正常运行，确认设备不会报警。42烧结工艺参数的选择确认设备正常后，工艺要根据生产的产品类型选择相应的烧结工艺参数，工 艺参数的选择以最近一次调整后的该种产品类型的烧结工艺参数为准（在烧结工 艺参数更改记录表上有记录）。如果生产的是新产品，烧结参数的选择应选择与 该产品最接近的产品类型的烧结工艺参数。工艺参数选择好以后，等待各温区温度的稳定，在跑片之前，工艺人员应确 认各温区的实际温度和带速是否与设定值相同。各个温区的实际温度与设定温度 值之间的差别不得大于5 C,实际带速和设定带速之间的差别不得大于 2in （50mm）
5、,否则工艺需要要求设备进行处理，直到达到要求为止。待烧结炉温度稳定后，跑20片以上假片，以确认烧结炉内是否会产生碎片 和促进烧结炉内气体的交换。43试片和正常跑片在正常跑片之前，工艺应该进行试片，一般以20片为单位，需要检查正电 极和栅线是否有脱落、背电极和背场是否有脱落、起包、铝珠和铝粉产生，同时 要观察电性能。根据所观察到的情况，如果有必要，工艺需要对烧结工艺参数进 行适当调整（调整原则见第6节），直到达到外观和电性能要求，然后再确认20 片，如果正常，则可以连续跑片。连续跑片后，工艺人员应该再至少观察1 2 批，如果正常，则可以确认烧结工艺参数基本符合要求。最后，应该按照要求， 在烧结工
6、艺参数更改记录表上记录好调整后的烧结工艺参数，并签字。5丝网印刷和烧结异常问题的处理原则由于各个机台的状况不一样，所以丝网印刷和烧结的调整是一个很需要经验 的工序，以下的调整方法只是一种处理原则，具体到个别问题，还需要具体来分 析处理。51丝网印刷1号机调整原则异常 现象造成原因解决办法备注虚印印刷参数不话宜抬高丝网间距，适当加大压力观察刮条刮拭的网板 是否干净，加浆料时 米取少加多次的方式 进行加浆料刮条不平更换刮条网板使用时间太长更换网板异常 现象造成原因解决办法备注印刷 偏移衬纸脏导致相机自动 识别系统识别错误更换衬纸设备故障电机复位更换新的网板后没有 校准相机从新校准相机X/Y/Z轴或
7、角度发生偏 移调整X/Y/Z轴使得网板印刷 图形与硅片四边完全对称。粘板丝网间距太小加大丝网间距调大 snap-off 绝对值印刷刮条不平检查刮条的平整度可放在玻璃门 上检杳平整度硅片有厚薄不均检杳来料网板张力太小更换网板更换网板前后 测量网板张力丝网刮不干净增大刮条下降深度(调大 Down-stop绝对值)和印刷 压力 (Pressure )不建议增大印 刷压力硅片 吸附 不住印刷衬纸太脏更换干净的衬纸单台面出现 粘板时该可能 性较大台面太脏用干净的酒精无尘布擦拭台 面真空吸力太小调大真空吸力浆料 粘稠 度太 大搅拌时间太长减少搅拌时间网板内浆料不 要加的太多， 及时擦干净刮 浆板浆料在网板
8、内 停留时间过长经常用刮浆板刮浆料加完浆料未及 时盖上盖子，导 致有机溶剂挥 发加完浆料后及时盖上盖子漏浆轻微漏浆用干净的无尘布擦拭网板网板破更换网板隐裂台面上有碎屑清理碎屑或重新更换衬纸换纸后有不平重新更换衬纸网板上沾有碎屑用干净的无尘布将网板擦拭 干净压力偏大降低压力机械手夹的太紧检查机械手加紧状况实际压力比设定压力 大出很多刮刀高度上升刮条不平更换刮条网板使用时间太长更换网板异常 现象造成原因解决方法备注漏浆印刷偏移见上面（印刷偏移解决方 法）Working Beam 上定位 卡口处有浆料用干净的酒精布擦拭干净网板损坏更换网板印刷 模糊网板及刮条高度太高降低网板及刮条高度或降 低电机高度
9、wafer厚度不均匀检杳来料台面不平更换衬纸或调整台面刮条不平更换刮条Ag/Al 偏重减小snapoff；减小 down-s top；增大 pressure；减小 speed改变snap-off的 效果最明显，但 需注意snap off 值改变过大会出 现印刷不良Ag/Al 偏轻增大snap-off ；增大 down-s top；减小 pressure；增大 speed52丝网印刷2号机调整原则异常 现象造成原因解决方法备注Al浆 偏重减小snap-off；减小 down-s top；增大 pressure；减小 speed改变snap-off的 效果最明显，但 需注意snap off 值改变
10、过大会出 现印刷不良Al浆 偏轻增大snap-off ；增大 down-s top；减小 pressure；增大 speed翘曲铝浆重量偏重减小snap-off；减小 down-s top；增大pressure；减小 speed2号机烘箱后两区温 度太低升高后两区烘箱温度温度变化最好不 超过10度铝苞印刷的浆料有点薄减小压力，丝网间距拉大， 刮刀高度上升网板有破损、折痕更换网板划痕刮条不平更换刮条网板上有碎片擦拭网板异常 现象造成原因解决方法备注粘板丝网间距太小加大丝网间距调大snap-off绝 对值印刷刮条不平检查刮条的平整度可放在玻璃门上 检杳平整度硅片有厚薄不均检杳来料网板张力太小更换网
11、板更换网板前后测 量网板张力丝网刮不干净增大刮条下降深度(调大 Down-stop绝对值)和印 刷压力(Pressure )不建议增大印刷 压力硅片 吸附 不住印刷衬纸太脏更换干净的衬纸单一台面出现粘 板时 该可能性较大台面太脏用干净的酒精无尘布擦拭 台面真空吸力太小调大真空吸力浆料 粘稠 度太 大搅拌时间太长减少搅拌时间网板内浆料不要 加的太多，及时 擦干净刮浆板浆料在网板内 停留时间过长经常用刮浆板刮浆料加完浆料未及 时盖上盖子，导 致有机溶剂挥 发加完浆料后及时盖上盖子漏浆轻微漏浆用干净的无尘布擦拭网板网板破更换网板印刷 偏移衬纸脏导致相机自动 识别系统识别错误更换衬纸设备故障电机复位更
12、换新的网板后没有 校准相机从新校准相机X/Y/Z轴或角度发生 偏移调整X/Y/Z轴使得网板印 刷图形与硅片四边完全对 称。印刷偏移见上面（印刷偏移解决方 法）Working Beam 上定位 卡口处有浆料用干净的酒精布擦拭干净网板损坏更换网板异常 现象造成原因解决方法备注隐裂台面上有碎屑清理碎屑或重新更换衬纸换纸后有不平重新更换衬纸网板上沾有碎屑用干净的无尘布将网板擦 拭干净压力偏大降低压力机械手夹的太紧检查机械手加紧状况实际压力比设定压力 大出很多刮刀高度上升53丝网印刷3号机调整原则异常 现象造成原因解决方法备注粘板丝网间距太小加大丝网间距调大snap-off绝 对值印刷刮条不平检查刮条的
13、平整度可放在玻璃门上 检杳平整度硅片有厚薄不均检杳来料网板张力太小更换网板更换网板前后测 量网板张力丝网刮不干净增大刮条下降深度和印刷 压力不建议增大印刷 压力硅片 吸附 不住印刷衬纸太脏更换干净的衬纸单一台面出现粘 板时 该可能性较大台面太脏用干净的酒精无尘布擦拭 台面真空吸力太小调大真空吸力浆料 粘稠搅拌时间太长减少搅拌时间网板内浆料不要 加的太多，及时浆料在网板内经常用刮浆板刮浆料停留时间过长加完浆料未及 时盖上盖子，导 致有机溶剂挥 发加完浆料后及时盖上盖子轻微漏浆用干净的无尘布擦拭网板网板破更换网板度太 大漏浆擦干净刮浆板异常 现象造成原因解决方法备注印刷 偏移衬纸脏导致相机自 动识别系统识别错 误更换衬纸设备故障电机复位更换新的网板后没 有校准相机从新校准相机X/Y/Z轴或角度发 生偏移调整X/Y/Z轴使得网板印刷图 形与硅片四边完全对称。漏浆印刷偏移见上面（印刷偏移解决方法）Working Beam 上 定位卡口处有浆料用干净的酒精布擦拭干净网板损坏更换网板隐裂台面上有碎屑清理碎屑或重新更换衬纸换纸后有不平重新更换衬纸网板上沾有碎屑用干净的无尘布擦拭网板压力偏大降低压力实际压力比设定压 力大出很多刮刀高度上升虚印印刷参数不适宜抬高丝网间距，适当加大压力观察刮条刮拭的 网板是否干净， 加浆料时米取少 加多次的方式进行加浆料刮条不平更换刮条网板使用时间太长更换网板
