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1、HD-1B型低温等离子体结构示意图聚乙烯薄膜等离子体处理采用HD-1B型低温等离子体处理仪,中科常泰等 离子体科技有限公司生产。系统装置示意图见图2-1,装置由真空系统(真空泵 1 和真空泵 2),真空测量计,内平行电极电容耦合圆筒状反应室, SY 型 500W 射频功率源,SG-III型功率计,SP-II型射频匹配器,射频频率为13.56MHz, DK800-4型玻璃转子气体流量控制阀,ZD0-2型热偶真空测量计等组成。1,2 真空泵;3 热偶真空测量计;4 反应室;5 射频匹配器;6 射频功率源; 7,11 气体流量控制阀;8 氧气减压阀;9 氧气高压钢瓶;10 单体瓶图 2-1 低温等离
2、子体系统装置示意图Fig. 2-1 Schematic of the low temperature plasma equipment等离子体实验的操作步骤:(1)等离子体处理实验开始前,将等离子体反应 室内的电极及器壁等用无水乙醇清洗干净,使电极和反应室保持干净,无其它杂 物和灰尘;(2)将预先准备好的聚乙烯薄膜样品用棉线拴在玻璃棒上并置于等离 子体改性设备的中央,关闭反应室及各路针阀,启动真空泵1和真空泵2,抽本 底真空至0.1Pa以下;(3)关闭真空泵2,同时打开气体流量控制阀,使氧气通 入反应室,等待1min,先清洗反应室和管路中的残余气体,再调节气体流量使 反应室工作压力达到20Pa; (4)待反应室中的工作压力稳定后,启动射频电源 进行辉光放电(预热510min)。在处理功率为30W的条件下(通过调节匹配 电容使反射功率接近零,等离子体的有效功率最大),对样品分别处理10s、20s、 40s、60s、80s、120s、160s、200s和300s。(5)处理完毕后,先关闭射频电源, 然后再依次关闭气体流量控制阀、真空泵,反应室通空气,打开反应室上盖,取 出样品进行分析。