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1、 岗位培训测试卷OJT Certification Test Paper岗位Work Station：姓名 Name: 工号Employee No. 部门Department: 得分Score:一、 填空题（28）1、我们公司主要使用的太阳能电池材料是_单晶硅_。2、化学清洗中HCL的作用_去除金属离子_。3、我们公司生产的单晶硅片是N型还是P型硅_P型_。4、 制绒的目的是：去除表面污垢和金属杂质、去除硅片表面的损伤层、增加PN结的表面积、形成绒面减少反射增强阳光的吸收。5、制绒工艺化学反应方程式_SI+NAOHNA2SIO3+H2_。6、去PSG工艺化学总方程式_SIO2+HFH2SIF6
2、+H2O_。7、硅片在切割的过程中所造成的损伤层约_10um左右。8、制绒工艺主要控制点_减薄量_、_反射率_、_外观_、_绒面成活率_。9、单晶制绒是利用晶体硅的_100_、_111_不同晶向在_碱溶液_中进行_ 各向异性_腐蚀的特性。10、扩散过程中应用气体N2、O2、_小N_。11、扩散在电池片上主要目的是形成一层_PN结_。12、进入扩散间必须经过二次风淋，穿戴好_洁净服_、_静电鞋、口罩、 乳胶手套。13、扩散方块电阻不均匀度_10%_，同一硅片扩散方块电阻不均匀度_5%_。14、检测方块电阻用到_四探针_仪器，测试时扩散面向_上_。15、清洗石英器件所需要的化学品_HF_、_HCL
3、2_，清洗时应戴好积 防毒面具，防酸服，戴好乳胶手套、防酸长手套。16、POCl3在高温下（600）分解的反应式为_(5POCL3600 3PCL5+ P205)，其中生成的P2O5在扩散温度下与硅反应式为(2P2O5+5Si=5SiO2+4P)，在有氧气的存在时，POCl3热分解的反应式为(POCL3+O2=2 P205+6CL2)。17、PECVD的中文名称：等离子体增强化学气相沉积。18、PECVD镀膜方式有直接式、间接式两种。19、镀减反射膜需要用到SIH4、NH3、N2、压缩空气四种气体。20、镀膜是以 膜厚、折射率两个参数为工艺依据，影响镀膜质量的有：管内特气流量比、压强、功率、时
4、间（或传输速度）、温度。21、PECVD用椭偏仪仪器来检测其质量的好坏。22、丝网印刷机的压缩空气压强要求 0.60.8MPa ，真空压强要求 -0.65-0.7MPa 24、丝网印刷有 五 大要素组成，分别是 丝网、刮刀、浆料、工作台以及基片 25、丝网印刷添加浆料必须遵守 少量多次 26、烧结炉的作用是 烘干浆料，去除浆料中的有机成分；提高电池片的开路电压和填充因子，使其具有电阻特性；通过高温烧结，使上下电极形成良好的欧姆接触；提高电池片的转换效率。 27、烧结炉的流程有 上料区 、 烘干区 、 (预、主）烧结区 、 回温区（冷却区）、 下料区28、烧结炉的关机步骤需要注意的是 炉温降到2
5、00度以下时 ,才可以停止传送带。 29、测试条件要求光强 100050W/m2 、温度 2520C 、光谱分布 AM1.5 。二、选择题（12）1、清洗间所涉及的化学品有（ ABCD ）。A 氢氧化钠 B 氢氟酸 C 盐酸 D 硝酸2、磷硅玻璃是有（ BC ）组成。A CF4 B SiO2 C 磷 D SiF4 3、刻蚀工艺会影响电池片的哪项电性能？（ A ）A 并联电阻 B 开路电压 C 短路电流 D 串联电阻4、下列方程式中属于刻蚀工艺的是（ C ）A SiF4+2HFH2SiF6B CF4+SiO2 SiF4+CO2C CF4+SiO2 +O2 SiF4+CO2D SiO2+4HFSi
6、F4+2H2O5、单晶绒面呈（ B ）形。A 三角形 B 金字塔形 C 圆形 D 正方形 6、扩散洁净度要求是_C_。A 10万级 B 100万级 C 1万级 D 1000万级7、电阻测试_C_个点。A 4 B 3 C 5 D 68、硅片扩散工艺结束后应抽取_A_片来检测。A 5 B 6 C 3 D 49、POCl3是一种_D_液体。A 白色 B 红色 C 浮白色 D 无色 10、减反射膜的化学式是。（ A ）A、3SiH4+4NH3=Si3N4+12H2 B、CF4+Si+O2=SiF4+CO2C. Si+NaOH=Na2SiO3+H2 D. H2+O2=H2O11、电池片镀膜的厚度是利用光
7、学中的 原理来减少反射。（ C ）A、光程差。 B、相长干涉C、相消干涉 D、光的衍射12、电池片SiNx：H薄膜镀膜厚度和折射率一般控制在（ B ）A、65nm, 1.81.9 B. 75+5nm, 2.02.1C. 85+5nm, 2.2-2.3 D. 5060nm, 2.5-2.6三.连线题（3分） Snap-off 网版上升速度 Printing speed 回刮浆料速度 Pressure 丝网间距 Speed upward 压力 Flood speed 印刷速度四.判断题（5分） 1.在操作过程中可以裸手拿取硅片 。 ( ) 2.丝网间距的调整原则是:在保证印刷质量的前提下，网板间距
8、越大越好 。 ( ) 3.背电场印刷、背电极印刷和正电极印刷使用了三种不同的浆料，使用过程中要严格区分开，杜绝混用现象出现。 ( ) 4.烘箱的工艺数和烧结的工艺参数不允许随意更改。( ) 5.直视测试仪闪光灯对人眼伤害的危险。 ( )五、问答题（52分）1、写出太阳能电池片产业链的分布流程？答：太阳能级硅材料硅棒和硅片电池片组件系统和应用2、写出太阳能电池片的生产工艺制造过程？答：来料检验清洗制绒面扩散（制P/N结）（周边）刻蚀PECVD（镀减反射膜）丝网印刷（正负电极）烧结分类检测包装入库3、 刻蚀及去PSG的目的？答：刻蚀的目的：去除边缘的PN结，防止上下短路而造成的 并联电阻低。 去P
9、SG的目的：去除硅片表面含有磷原子的SIO2层。4、 边缘刻蚀冷热探针的工作原理？答：热探针和N型半导体接触时，传导电子将流向温度较低的区域，使得热探针处电子缺少，因而其电势相对于同一材料上的室温触点而言将是正的。同样道理，P型半导体热探针触点相对于室温触点而言将是负的。此电势差可以用简单的微伏表测量。5、 分别写出刻蚀及去PSG的工艺控制流程？答：刻蚀的流程; 预抽，主抽，送气，辉光，清洗，预抽，主抽 ，充气 去PSG的流程： 酸洗(HF)，溢流水洗，喷淋，甩干 6、 简述太阳能电池片制造PECVD的目的及原理？答：目的：在太阳电池表面沉积深蓝色减反膜-SiN膜。PECVD技术原理：是利用低
10、温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。7、 什么是等离子体？答：等离子体：由于物质分子热运动加剧，相互间的碰撞就会使气体分子产生电离，这样物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物。8、 磷源更换操作流程是什么？泄露应该怎么处理？答：源瓶更换的标准操作过程依次关闭进气阀门、出气阀门，拔出连接管道，更换源瓶，连接管道，打开出气阀门、进气阀门。液态源外溢了，要立即擦拭干净，并暂停工艺运行，仔细检查源瓶是否有破损。对泄漏物处
11、理必须戴好防毒面具和手套。液体泄漏用沙土混和,倒至大量水中以稀释。沾染皮肤时,要先用纸、棉花将液体吸去，然后再用清水冲至少15分钟。如用水过少，会在皮肤形成磷酸引起灼伤，按酸灼伤处理。9、 扩散间生产流程及返工流程是什么？操作时应注意哪些事项？答：生产流程：开机对硅片自检检查石英舟插片上浆运行工艺卸片测方块电阻返工片和碎片处理流程卡填写 返工流程：来料时检出不合格的片源制绒，扩散时中途故障导致清洗间扩散间反面扩散。 在生产操作时严禁裸手接触硅片，拿各种石英器件要轻拿轻放，工艺在运行时，时刻检查气体流量、温度、时间、设备是否有异常。10、分别写出丝网印刷背极、背场、正极的目的、作用和使用的浆料以
12、及烘箱的作用？ 答： 目的 背电极-在太阳电池背面丝网印刷印上引出电极 背电场-通过烧结穿透背面PN结，和P型硅形成良好的欧姆接触。 正电极-在太阳电池正面丝网印刷银浆形成正电极 作用 背电极- 易于焊接 背电场-收集载流子 正电极- 收集电流 浆料 背电极-银铝浆 背电场-铝浆 正电极-银浆 烘箱的作用-烘干浆料,去除浆料中的有机物,便于下一道印刷11、丝网印刷常见的问题有哪些?分别写出产生的原因及解决方法？( 至少写出5个问题)故障 现象造成原因解决方法粘板丝网间距太小加大丝网间距印刷刮条不平检查刮条的平整度硅片有厚薄不均检查来料网板张力太小更换网板丝网刮不干净增大刮条下降深度和印刷压力 真空吸力太小调大真空吸力浆料粘稠度太大搅拌时间太长减少搅拌时间浆料在网板内停留时间过长经常用刮浆板刮浆料加完浆料未及时盖上盖子，导致有机溶剂挥发加完浆料后及时盖上盖子印刷 偏移设备故障通知设备维修更换新的网板后没有校准相机从新校准相机X/Y/Z轴或角度发生偏移调整X/Y/
