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1、题目：压电式压力传感器的设计姓名：刘福 班级：3 学号：1003030321 专业：测控技术与仪器目录引言第一章 传感器基本原理第二章 传感器的基本要求第三章 传感器的结构设计第四章 传感器的参数计算第五章 测量电路信号处理电路总结参考文献一、引言此次压电式力传感器主要阐述了压电式力传感器的具体设计过程。设计过程主要包括设计格式、设计要求及设计过程中有关压电式力传感器的设计，还有在整个设计过程中的有关计算、与传感器相连的测试电路。本压电式传感器采用压缩型单项里传感器结构，利用纵向压电效应进行工 作，在设计中压电材料采用石英晶体。由于安装中需施加预紧力，以保证该传感器 的线性度良好，故留出一定的
2、过载量，本设计中重点考虑了各部分的面积、刚度等参数，未讨论预紧力的选用范围，可能还存在一些其他因素，如安装误差等可以影 响设计传感器的性能，属于正常范围内，使用中可忽略。压电式传感器的设计，主要是让同学们了解传感器的设计过程，知道如何计 算一些参数，如何设计尺寸，如何选择材料，把自己学到的知识熟练灵活的运用起 来，活学活用，加深对传感器这门课程的认知。第一章 传感器基本原理1、基本原理：压电效应压电式传感器是基于压电效应的传感器。是一种自发电式和机电转换式传感 器。它的敏感元件由压电材料制成。压电材料受力后表面产生电荷。此电荷经电荷 放大器和测量电路放大和变换阻抗后就成为正比于所受外力的电量输
3、出。常见有以 下几种压电效应模型（见图1） 纵向效应横向效应3）切向效应图1压电效应可分正压电效应和逆压电效应。正压电效应是指：当晶体受到某固 定方向外力的作用，内部就产生电极化，同时在某两个表面上产生符号相反的电荷； 当外力撤去后，晶体又恢复到不带电的状态；当外力作用方向改变时，电荷的极性 也随之改变；晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。压电式传感器大多是 利用正压电效应制成的。逆压电效应是指对晶体施加交变电场引起晶体机械变形的 现象，又称电致伸缩效应。用逆压电效应制造的变送器可用于电声和超声工程。压电敏感元件的受力变形有厚度变形型、长度变形型、体积变形型、厚度切变型、面 切变型5种形
4、式。（见图2）斥度1fc廉住1绘度童理眾（d 仲匕奄略唱1CT 亂理切畳e I殴圧电快豪元苒量力吏笊的几糟茬本赧宜图22、石英的晶体结构为六方晶体系，化学式为SiO2。定义：x：两平行柱面内夹角等分线，垂直此轴压电效应最强，称为电轴。 y :垂直于平行柱面，在电场作用下变形最大，称为机械轴。z :无压电效应，中心轴，也称光轴。当在电轴方向施加作用力时，在与电轴X垂直的平面上将产生电荷，其大小 为 Qx = dll Fx。式中：d11x方向受力的压电系数Fx作用力若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力Fy,则仍在与x轴垂直的平面 上产生电荷qy,其大小为Qy=d12Fy a/b式中：d12y轴
5、方向受力的压电系数d12=-d11a、b晶体切片长度和厚度（1）当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上, 形成三个互成120夹角的电偶极矩P1、P2、P3, P1+P2+P3 = 0,所以晶体表面 不产生电荷，即呈中性。（2）当石英晶体受到沿x轴方向的压力作用时，晶体沿x方向将产生压缩变 形，正负电荷重心不再重合，在x轴的正方向出现正电荷，电偶极矩在y方向上的分 量仍为零，不出现电荷。（3）当晶体受到沿y轴方向的压力作用时，在x轴上出现电荷，它的极性为 x轴正向为负电荷。在y轴方向上不出现电荷。（4）如果沿z轴方向施加作用力，因为晶体在x方向和y方向所产生的形变 完全相
6、同，所以正负电荷重心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这表明沿z轴方 向施加作用力，晶体不会产生压电效应。3、压电关系表达式：Q=d*F,其中d：压电常数更一般表达式：电荷密度q（用单位面积受力表示）其中：i=l,2,3表示晶体极化方向，指的是与产生电荷的面垂直的方向; j=l,2,3,4,5,6表示受力方向，13表示x,y.z向受力，46表示剪切力方向如q1表示法向矢量为x的两个面产生的电荷受x向（拉）力作用后在z方向产生电荷的表达式：受z向力作用后在z方向产生电荷的表达式:各表达式见图片:*压电关系表达式：Q = d-F d压电常数更般表达式：电荷翳度学=务 （用单住面积受力袈示1 黑枫i
7、- 1.23表示晶体故化方飢 指的是与严生电祷旳血垂宜的方詢； j=123,45表示曼为方向，17最示出啓向曼九4昧示剪切力方尙如qL就示达向矢量为X妁礴个面严生的电荷受Mr 推力柞囲后在工青囱产生电荷的表达式：=旳问受z窟力作用后在工方向产生电荷的表达式：如=如化第二章传感器的基本要求基本要求1. 工作在常温、常压、静态、环境良好2. 精度:0.1%FS3测量范围700kg4装配图一张，零件图一张5.电路图一张第三章传感器的结构设计传感器的结构设计及计算传感器的结构如下图1HT /24a/Mb、5图一1、顶盖2、敏感元件3、导电片4、基座5、外壁6、预紧螺钉该传感器由顶盖、敏感元件、导电片、
8、基座、外壁、预紧螺钉和输出插座组 成。通过预紧螺钉加预紧力，将顶盖、基座和外壁焊接为一体，输出插座可与同轴 低噪声电缆连接。第四章 传感器的参数计算1、压电晶体（石英）的几何尺寸石英片在机械强度上必须满足公式式中：s为石英晶片的受力面积F为传感器待测力的最大力为石英晶体的许用应力，为17.5本设计中传感器的额定负载为400，由于包括预紧力，并留出一定的过载量，取最大负载量为700，因而S40irm设计中取晶片的长为10mm，宽为6mtn，受力面积60irni22、石英片的晶片电容值这里取每片石英片的厚度为1.2nun，石英的 =4.5，每片石英片的电容=1.99Pl1为了提高传感器的灵敏度，取
9、两片石英片并联方式，所以总的电容大小为3.98PF。33、传感器刚度参数计算设在外力F的作用下，传感器的变形为，式中：为敏感部分的组合刚度为辅助部分组合刚度图二在晶片数一定时，+咫决定了传感器的精度，因此，在结构设计中应确保亠尽可能大。根据公式式中：E:弹性模量S:受力面积L:受力方向厚度石英片的弹性模量为80GPa，受力面积为60irni，厚度为2.4mtn，它的刚度=2.00xNiliii 丄导电片（银片）的弹性模量为71GPa，受力面积为60mm ，厚度为0.1mm，它的刚度Xl（f顶盖（铝合金）的弹性模量70GPa，受力面积为80irm2，厚度为1.0mtn，它的刚度为=5.60Xi（
10、r基座（钛合金）的弹性模量为120.2GPa，受力面积为70mm，厚度21mm，它的刚度=4.01x105丄预紧螺钉（钢质）的弹性模量为20.5GPa，受力面积352mm，厚度为12mm，它的刚度X1O4N/mui根据公式式中：E:弹性模量h:厚度a:直径n:材料的泊松系数顶盖的直径为12.1mtn，=0.33,所以顶盖的弹性部分刚度=5.37x10外壁的受力面积为7mm，弹性模量21GPa，受力方向厚度为39mtn，它的刚度x1小Niliii 丄敏感部分组合刚度 相当于顶盖，导电片，石英片，基座串联的刚度，即 1I 一 1111 + 一 + K气佩為=3.13x1()?N/nun辅助部分刚度
11、为顶盖弹性部分的抗弯刚度与基座外壁的刚度串联，再与预紧螺钉刚度并联：=6.03x104N/rmn传感器的总刚度为与的并联k=k+k2=3.73X105N/nun4、传感器的灵敏度式中：n为晶体片的数目=2.31pC/W=3.88pC/W5、传感器的谐振频率式中：m为传感器的顶盖质量m pv=(2.780 1)g=2.16x1(T二kll2第五章测量电路信号处理电路1、信号放大电路压电传感器用高保真高阻抗放大器(OPA6O4)I Ok1-13RIur100k在自控系统或一些检测系统中，常应用压电器件作为传感器，借以实现将非 电量变为电信号，这类传感器等效的信号源具有内阻极高且信号很微弱的特点，因
12、 而也必须配接高输入阻抗的放大电路，而且放大电路还必须具有精确放大微弱信号 的能力。如图给出了高保真运放OPA6O4构成的放大电路。该电路采用同相输入方 式后可有效地提高放大器的输入阻抗，为了防止交流干扰，压电信号采用屏蔽线输 入，该电路的电压放大倍数为：。Av - Vo/V; =(I + R4;R1)OPA604的主要参数:电 itVfU- ov昨穩事人曲杭捷廉却們比Vch=blVFF汗卓(tit庖灯阿览吕电EE航 fiWflru-i2v开耳绪出龍狙Vri - EV肃現电舐电压电呼电ElLfl电煽电頁cjfAaw/iP, ftv最丸IA口0|?.10吐1214VdhdB20111V1耳mA3
13、S40nlAV土电521V士乳J?d-fiehA2, 、调制电路只要用乘法器与测量信号x成正比的调制信号Ux= UxmCOSQ t与载波信号Uc= UcmCOSQ t相乘，就可以实现双边带调幅。3、相乘式相敏检波电路（带着低通滤波电路）如下:电路图如下:MC1496/MC1496B/MC1496P pdf datasheet振幅调制信号的解调过程称为检波。常用方法有包络检波和同步检波两种。由于有载波振幅调制信号的包络直接反映了调制信号的变化规律，可以用二极管包络 检波的方法进行解调。而抑制载波的双边带或单边带振幅调制信号的包络不能直接 反映调制信号的变化规律，所以无法用包络检波进行解调，必须采用同步检波方 法。同步检波又分为叠加型同步检波和乘积型同步检波。利用模拟乘法器的相乘原理，实现同步检波是很方便的，其工作原理如下：在乘法器的一个输入端输入振幅 调制信号如抑制载波的双边带信号us (t) = usmcoswctcosQ t，另一输入端输入 同步信号(即载波信号)uc (t) =ucmcoswc(t)，经乘法器相乘，由式(7-9)可 得输出 信号U0 (t)为% fl=( 2wc-5- Q ) tf7-t7)4+上式4第 观是
